【技术实现步骤摘要】
一种谐振传感器的检测工装
[0001]本技术涉及谐振传感器检测
,特别涉及一种谐振传感器的检测工装。
技术介绍
[0002]利用谐振元件把被测参量转换为频率信号的传感器,又称频率式传感器。当被测参量发生变化时,振动元件的固有振动频率随之改变,通过相应的测量电路,就可得到与被测参量成一定关系的电信号。70年代以来谐振式传感器在电子技术、测试技术、计算技术和半导体集成电路技术的基础上迅速发展起来。其优点是体积小、重量轻、结构紧凑、分辨率高、精度高以及便于数据传输、处理和存储等。按谐振元件的不同,谐振式传感器可分为振弦式、振筒式、振梁式、振膜式和压电谐振式等(见振弦式传感器、振筒式传感器、振梁式传感器、振膜式传感器、石英晶体谐振式传感器)。谐振式传感器主要用于测量压力,也用于测量转矩、密度、加速度和温度等。
[0003]专利号CN201821854965.7的一种谐振式压力传感器,包括硅晶圆,薄膜部分,谐振部分,谐振部分固定点,背孔,盖帽,吸气剂层,支撑硅层,埋层氧化层,顶层硅薄膜,多晶硅薄膜和氧化层薄膜交替淀积膜; ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种谐振传感器的检测工装,包括按钮盒(1),其特征在于:所述按钮盒(1)的顶端可拆卸连接有外壳(2),且外壳(2)下方的按钮盒(1)内安装有信号采集板(3),所述外壳(2)的表面安装有启动按钮(4)和数码显示管(5),所述启动按钮(4)一侧的外壳(2)表面固定连接有活动触头(6)的底端垂座,且活动触头(6)的顶部板体后端与外壳(2)之间安装有弹簧(7),所述活动触头(6)的顶部板体前端设置有活动探针(8),且活动探针(8)下方的外壳(2)表面开设有检测口(11),所述检测口(11)的内部嵌入有传感器(9),所述按钮盒(1)的一端开设有电源接口(10)。2.根据权利要求1所述的一种谐振传感器的检测工装...
【专利技术属性】
技术研发人员:石德成,陶思良,
申请(专利权)人:宝锐生物科技泰州有限公司,
类型:新型
国别省市:
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