本发明专利技术涉及硅材料加工技术领域，且公开了一种单晶硅生产用硅锭滚磨装置，滑槽的外侧滑动套接有套座，螺纹环槽正面活动套接有转环，调节轴块的端部活动安装有滚轮，调节槽内部活动安装有磁铁，驱动轴中部固定安装有导线，顶头端部内开设有液压传递孔且外圈处与固定座之间采用旋转接头式安装，顶头的中部开设有与液压传递孔连通的液压调节孔，负压槽内活动套接有端部伸入到液压调节孔内部的负压杆，离心槽内部活动套接有球杆，液压调节孔内部位于与离心槽连通处活动套接有滑塞，通过在固定座外圈设置套座并在其正面安装有滚轮等结构，在顶头内部设置有负压杆和密封垫块，并配合有球杆使得硅锭装夹更方便、更稳定。更稳定。更稳定。
【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅生产用硅锭滚磨装置
[0001]本专利技术涉及硅材料加工
，具体为一种单晶硅生产用硅锭滚磨装置。
技术介绍
[0002]单晶硅通常指的是硅原子的一种排列形式形成的物质，目前生产的单晶硅主要用在半导体材料和太阳能光伏发电领域，其生产加工工艺比较复杂，要经过拉晶、研磨、切片、抛光等过程，其中研磨就是为了将从单晶炉拉出来的硅锭进行初步的滚磨从而使得硅锭的外圈处的直径保持一样，一般采用的设备的滚磨机，滚磨机使用时将硅锭两端固定住操作磨轮在硅锭的外圈进行磨削，但是其还有一些需要注意的地方：
[0003]在使用滚磨机的时候需要先将硅锭夹持在工作台两顶尖之间，在夹持的时候要保证硅锭的中心与顶尖对准，这样才能保证后续的磨削量小同时保证硅锭的外圈磨削均匀，但是一般采用人工去安装夹持硅锭需要调整多次才能对准，而且还容易出现失误从而导致装夹效果差进而影响到后续的磨削，同时现有的滚磨机对于无法对进行磨削的硅锭进行测量，一般需要磨削的量都是很少的，因此这样如果在限制了磨轮的磨削深度情况下就导致一些直径较大的硅锭被白磨削了一部分，造成了浪费。
[0004]同时，对于硅锭的夹持是通过在工作台两端上设置顶尖将其夹紧，这样在进行滚磨的时候由于磨轮是位于硅锭外圈的一侧，在磨轮往复运动进给的时候就会对硅锭产生振动，同时硅锭本身与顶尖一起就会转动，这样在转速上来了之后就导致在硅锭侧边受到力的作用下断裂甚至脱落的情况，同时顶尖在硅锭转动的时候不仅要保证夹紧力还需要能稳定的转动，对于顶尖的要求较高，这种安装方式并不是很适合硅锭滚磨的夹持固定。
技术实现思路
[0005]针对上述
技术介绍
的不足，本专利技术提供了一种单晶硅生产用硅锭滚磨装置，具备夹持定位方便、稳定性好的优点，解决了
技术介绍
提出的问题。
[0006]本专利技术提供如下技术方案：一种单晶硅生产用硅锭滚磨装置，包括固定座，所述固定座的外圈呈环状均匀开设有滑槽，所述滑槽的外侧滑动套接有套座，所述固定座背面的中部活动套接有与电机连接的驱动轴，所述固定座正面的中部活动套接有与驱动轴固定连接的顶头，所述套座的正面开设有螺纹环槽，所述螺纹环槽正面螺纹套接有转环，所述转环的内圈设置有螺纹槽与螺纹环槽内壁之间螺纹套接，所述转环的正面呈环状均匀安装有套接头，所述套接头的内部开设有液压腔且液压腔的一端开口开设在套接头的内侧面，所述液压腔的外端开口活动套接有调节轴块，所述调节轴块的端部活动安装有滚轮，所述转环的内部开设有调节环槽，所述调节环槽内部活动安装有与液压腔内部连通的第一波纹管，所述螺纹环槽的中圈位置固定安装有顶杆，所述调节环槽内部活动安装有一端与第一波纹管固定连接的环块；
[0007]所述套座两侧内部对称开设有调节槽，所述调节槽内部活动安装有磁铁，所述调节槽与螺纹环槽之间开设有连通的第二液压孔，所述第二液压孔靠近螺纹环槽一端活动套
接有伸入到螺纹环槽内部的调节杆，所述驱动轴中部固定安装有导线，所述驱动轴外圈中部固定安装有导电滑环。
[0008]优选的，所述顶头端部内开设有液压传递孔且外圈处与固定座之间采用旋转接头式安装，所述滑槽内部端面与套座之间固定连接有第二波纹管，所述固定座内部开设有连通第二波纹管与液压传递孔的第一液压孔，所述顶头的中部开设有与液压传递孔连通的液压调节孔，所述液压调节孔的正面开设有与液压调节孔连通的负压槽，所述负压槽内活动套接有端部伸入到液压调节孔内部的负压杆，所述顶头正面位于负压槽外圈位置活动套接有密封垫块，所述密封垫块内端部抵到负压杆的侧壁，所述顶头外圈呈环状均匀开设有与液压调节孔连通的离心槽，所述离心槽内部活动套接有球杆，所述液压调节孔内部位于与离心槽连通处活动套接有滑塞。
[0009]优选的，所述环块呈环状套接在调节环槽内部并保持底部与顶杆光滑的接触，所述滚轮的个数为N个且N≥3，所述转环至少可以转动360
°
/N。
[0010]优选的，所述密封垫块呈环状均匀套接在负压杆外圈且其外端部处连接在一起构成一圈，所述负压杆中部的直径由内端向外端逐渐变大，所述负压杆、滑塞、球杆与液压调节孔之间均采用活塞密封，所述滑塞在套座未滑动调节时恰好将离心槽与液压调节孔连通口处封堵住。
[0011]本专利技术具备以下有益效果：
[0012]1、通过在固定座的外圈设置有套座并且在其正面呈环状安装有滚轮等结构，相较于现有技术来说，在进行硅锭装夹的时候将其直接放置到滚轮之间即可，通过转动转环可以带动滚轮对硅锭进行居中定位并且贴合其表面进行检测直径，通过在转环内部带动调节杆调节磁铁之间的位置，从而在转动时可以检测出来电路中电流的大小情况，根据电流的大小情况就可以得到转环的转动深度进而反映出来调节轴块和滚轮的变化调节，因此这样就可以通过转环、套座、滚轮等配合实现硅锭的定位和粗直径的检测，方便后续的磨削加工精度更高。
[0013]2、通过在顶头内部设置有负压杆和密封垫块，并且外圈位置配置有球杆等结构，相较于现有技术来说，利用套座滑动时可以配合固定座实现液压传递从而使得顶头内部的液压向外流动，实现了带动负压杆的移动使得硅锭与顶头的端部之间吸附的更加紧密，并且在顶头转动到过快的速度会进一步的带动球杆向外甩动从而也使得液压调节孔内部的液压减小，这样也会使得负压杆向内收缩的更多从而在负压槽形成较大的负压保证了硅锭的夹持更加的稳定，避免了因为磨削时不稳定性造成的影响。
附图说明
[0014]图1为本专利技术结构整体侧视图；
[0015]图2为图1中A
‑
A剖面图；
[0016]图3为图1中B
‑
B剖面图；
[0017]图4为本专利技术结构侧向半剖图；
[0018]图5为图3中的C
‑
C剖面图；
[0019]图6为图3中D处放大图。
[0020]图中：1、固定座；101、滑槽；102、第一液压孔；2、套座；201、螺纹环槽；202、调节槽；
203、第二液压孔；3、驱动轴；4、顶头；401、液压调节孔；402、负压槽；403、液压传递孔；404、离心槽；5、转环；501、调节环槽；502、螺纹槽；6、套接头；601、液压腔；7、调节轴块；8、滚轮；9、顶杆；10、环块；11、第一波纹管；12、磁铁；13、调节杆；14、导线；15、导电滑环；16、密封垫块；17、负压杆；18、滑塞；19、第二波纹管；20、球杆。
具体实施方式
[0021]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0022]请参阅附图1、附图2、附图3、附图4、附图5，一种单晶硅生产用硅锭滚磨装置，包括固定座1，固定座1的外圈呈环状均匀开设有滑槽101，滑槽101的外侧滑动套接有套座2，套座2可以沿着滑槽101前后滑动，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅生产用硅锭滚磨装置，包括固定座(1)，其特征在于：所述固定座(1)的外圈呈环状均匀开设有滑槽(101)，所述滑槽(101)的外侧滑动套接有套座(2)，所述固定座(1)背面的中部活动套接有与电机连接的驱动轴(3)，所述固定座(1)正面的中部活动套接有与驱动轴(3)固定连接的顶头(4)，所述套座(2)的正面开设有螺纹环槽(201)，所述螺纹环槽(201)正面螺纹套接有转环(5)，所述转环(5)的内圈设置有螺纹槽(502)与螺纹环槽(201)内壁之间螺纹套接，所述转环(5)的正面呈环状均匀安装有套接头(6)，所述套接头(6)的内部开设有液压腔(601)且液压腔(601)的一端开口开设在套接头(6)的内侧面，所述液压腔(601)的外端开口活动套接有调节轴块(7)，所述调节轴块(7)的端部活动安装有滚轮(8)，所述转环(5)的内部开设有调节环槽(501)，所述调节环槽(501)内部活动安装有与液压腔(601)内部连通的第一波纹管(11)，所述螺纹环槽(201)的中圈位置固定安装有顶杆(9)，所述调节环槽(501)内部活动安装有一端与第一波纹管(11)固定连接的环块(10)；所述套座(2)两侧内部对称开设有调节槽(202)，所述调节槽(202)内部活动安装有磁铁(12)，所述调节槽(202)与螺纹环槽(201)之间开设有连通的第二液压孔(203)，所述第二液压孔(203)靠近螺纹环槽(201)一端活动套接有伸入到螺纹环槽(201)内部的调节杆(13)，所述驱动轴(3)中部固定安装有导线(14)，所述驱动轴(3)外圈中部固定安装有导电滑环(15)。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产用硅锭滚磨装置，其特征在于：所述顶头(4)端部内开设有液...
【专利技术属性】
技术研发人员：段海刚，
申请(专利权)人：段海刚，
类型：发明
国别省市：
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