一种保护IE514分离规不受湿度影响的装置及方法制造方法及图纸

本申请涉及超高真空比对校准系统技术领域，具体而言，涉及一种保护IE514分离规不受湿度影响的装置及方法，所述保护IE514分离规不受湿度影响的装置包括真空室、以及分别与所述真空室连接的第一截止阀、第二截止阀、以及第三截止阀，其中：真空室通过第一截止阀连接用于真空室内气体置换的高纯氮气瓶；真空室通过第二截止阀连接用于真空室抽真空的机械泵；IE514分离规放置于真空室内，真空室经第三截止阀接校准系统。本申请通过将IE514分离规放置于真空室内，并将真空室的湿度控制在IE514分离规允许的湿度范围内，实现IE514分离规不受外界湿度的影响，为提供IE514分离规提供良好工作环境，进而解决了相关技术中IE514分离规受湿度影响严重的技术问题。规受湿度影响严重的技术问题。规受湿度影响严重的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种保护IE514分离规不受湿度影响的装置及方法


[0001]本申请涉及超高真空比对校准系统
，具体而言，涉及一种保护IE514分离规不受湿度影响的装置及方法。

技术介绍

[0002]超高真空比对校准系统上，只有分离规能够很好地抑制软X射线效应(电子撞击电极时产生软X射线，软X光子照射离子收集集，发生光电子发射，产生正离子流，导致收集极接收气相离子流时存在本底干扰)和电子激励脱附效应(当电子收集极表明吸附一层化学活性气体时，受到电子碰撞，解吸出正离子和中性分子等，造成电离规的测量误差)，因而通常用IE514型分离规作参考标准对超高热阴极电离真空计进行比对校准，能够确保国防科技工业在超高真空区域真空量值的传递和统一。超高真空比对往往在实验室进行，而实验室具有良好的恒温、恒湿环境，对IE514分离规的性能没有影响，但是一旦脱离了实验室环境，发现IE514分离规受湿度影响严重。
[0003]申请人自主研制的远程传输共底检测设备长期服务于西昌卫星发射中心长征三号系列火箭，用于对三级共底贮箱进行抽真空和气体成份分析及监测。设备中的全量程冷阴本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种保护IE514分离规不受湿度影响的装置，其特征在于，包括：真空室、以及分别与所述真空室连接的第一截止阀、第二截止阀、以及第三截止阀，其中：所述真空室通过所述第一截止阀连接用于所述真空室内气体置换的高纯氮气瓶；所述真空室通过所述第二截止阀连接用于所述真空室抽真空的机械泵；IE514分离规放置于所述真空室内，所述真空室经所述第三截止阀接校准系统。2.如权利要求1所述的保护IE514分离规不受湿度影响的装置，其特征在于，还包括：与所述真空室连接用于测量所述真空室内真空度的真空规；与所述真空室连接用于监测所述真空室内温湿度的温湿度计。3.如权利要求1所述的保护IE514分离规不受湿度影响的装置，其特征在于，还包括穿墙法兰接插件，所述穿墙法兰接插件一端用于将置于所述真空室内的IE514分离规数据线联通，另一端用于连接IE514分离规的显示单元。4.如权利要求1所述的保护IE514分离规不受湿度影响的装置，其特征在于，所述第一截止阀与所述高纯氮气瓶之间可拆卸连接有减压阀。5.如权利要求4所述的保护IE514分离规不受湿度影响的装置，其特征在于，所述第一截止阀、第二截止阀、第三截止阀均采用焊接的方式固定在所述真空室上。6.如权利要求2所述的保护IE514分离规不受湿度影响的装置，其特征在于：所述真空规为皮拉尼真空规，所述温湿度计为高精度电子数显探头温湿度计；所述真空规及所述温湿度计与所述真空室的连接方式为KF快接卡箍。7.如权利要求2所述的保护IE514分离规不受湿度影响的装置，其特征在于，还包括用于对所述真空室各部位进行检漏的氦质谱检漏仪。8.如权利要求1所述的保护IE514分离规不受湿度影响的装置，其特征在于，所述真空室设置有用于打开所述真空室放置IE514分离规的真空室盖板。9.一种应用权利要求1
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8中任一项所述的保护IE514分离规不受湿度影响的装置的分离规保护方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将IE514分离规装入...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁栋，成永军，孙雯君，
申请(专利权)人：兰州空间技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：