一种放电离子化检测器制造技术

本发明专利技术公开了一种放电离子化检测器，包括：弧形电极组件、检测器主体和平行电极组件；检测器主体一端设有一放电室，另一端设有电离室，放电室的体积是电离室的体积的5倍以上，电离室的体积小于0.5毫升；弧形电极组件的电极位于放电室中；平行电极组件位于电离室中，且与外部的信号采集电路电性连接；检测器主体上还加工有进气孔Ⅰ、进气孔Ⅱ和排气孔11；进气孔Ⅰ与放电室4连通，通入放电气体；进气孔Ⅱ和排气孔均与电离室连通，进气孔Ⅱ用于通入样品气体，排气孔用于排出混合的放电气体和样品气体；本发明专利技术灵敏度高，可应用于精密制造、半导体、航天航空等领域的气体纯度和杂质含量检测，确保使用的高纯气体符合技术指标要求。确保使用的高纯气体符合技术指标要求。确保使用的高纯气体符合技术指标要求。

【技术实现步骤摘要】
一种放电离子化检测器


[0001]本专利技术属于气相色谱分析仪器
，具体涉及一种放电离子化检测器。

技术介绍

[0002]随着我国武器装备、航天领域的飞速发展和技术的提升，高纯气体纯度要求也越来越高，对高纯气体分析检测方法和设备也提出了更高的要求，检测限从最早的ppm级已经发展到ppb级，甚至是ppt级；气相色谱仪可以对多组分的复杂混合物进行定性和定量分析，但是常规的气相色谱仪已经不能满足高纯气体检测的要求，为了满足高纯气体检测的要求，保证气体纯度测量结果的准确性，迫切需要研制自主可控的适用于气相色谱仪的检测器，提升气相色谱用检测器检的出限，确保使用的高纯气体符合技术指标要求。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本专利技术提供了一种放电离子化检测器，用于高纯气体、痕量和微量气体的纯度分析和杂质含量检测从而提升气相色谱用检测器检出限，保证气体纯度测量结果的准确性，确保使用的高纯气体符合技术指标要求。
[0004]本专利技术是通过下述技术方案实现的：
[0005]一种放电离子化检测器，包括：检测器主体、弧形电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种放电离子化检测器，其特征在于，包括：检测器主体(1)、弧形电极组件(2)及平行电极组件(3)；所述检测器主体(1)一端设有一放电室(4)，另一端加工有一个倒置的T形孔(7)，T形孔(7)的大孔段加工有内螺纹，小孔段作为电离室(5)，放电室(4)和电离室(5)通过针形孔(6)连接；检测器主体(1)上还加工有进气孔Ⅰ(9)、进气孔Ⅱ(10)和排气孔(11)；所述进气孔Ⅰ(9)与放电室(4)连通，所述进气孔Ⅱ(10)和排气孔(11)均与电离室(5)连通；从进气孔Ⅰ(9)通入放电气体，从进气孔Ⅱ(10)通入样品气体，从排气孔(11)排出混合的放电气体和样品气体；所述放电室(4)的体积是电离室(5)的体积的5倍以上，电离室(5)的体积小于0.5毫升；所述弧形电极组件(2)的电极所在一端安装在放电室(4)中，用于放电激发放电气体至亚稳态；所述平行电极组件(3)位于电离室(5)中，且与外部的信号采集电路电性连接，用于收集杂质分子和输出信号。2.如权利要求1所述一种放电离子化检测器，其特征在于，所述针形孔(6)的长度小于其直径。3.如权利要求2所述一种放电离子化检测器，其特征在于，所述放电室(4)、和电离室(5)均为圆柱形结构，二者与针形孔(6)连接的一端均为圆锥形，用于直径的过渡，每个圆锥形的圆锥角为135
°
；放电室(4)、电离室(5)和针形孔(6)位于同一轴线上。4.如权利要求1
‑
3任意一项所述一种放电离子化检测器，其特征在于，所述弧形电极组件(2)包括两个圆形电极柱(12)和一个法兰(13)；两个所述圆形电极柱(12)贯穿法兰(13)且与法兰(13)固定连接，电极组件(2)通过法兰(13)安装在检测器主体上放电室(4)所在端，每个圆形电极...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢仕兆，卜芳，任春波，张迪，沈兆欣，郭力振，
申请(专利权)人：北京航天计量测试技术研究所，
类型：发明
国别省市：