唑类的处理制造技术

公开了处理包含唑类的CMP废水的方法。该方法包括提供具有第一唑浓度的废水；将废水引入到废水处理系统的入口，该废水处理系统被构造和布置成产生自由基并且将自由基引入到废水中；以及激活废水处理系统，以产生自由基并且将自由基引入到废水中，所述自由基的量足以降低废水中的唑浓度并且产生具有小于第一唑浓度的第二唑浓度的经处理的水。公开了通过提供水处理系统来促进包含唑类的CMP废水的处理的方法，该水处理系统被构造和布置成产生自由基并且将自由基引入到废水中。基并且将自由基引入到废水中。基并且将自由基引入到废水中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】唑类的处理
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请根据35 U.S.C.
§
119(e)要求2019年8月26日提交的标题为“Treatment of Azoles”的美国临时专利申请序号62/891,580的优先权，该临时专利申请的全部公开内容出于所有目的据此通过引用以其整体并入本文。


[0003]本文公开的方面和实施方案涉及降低废水中的唑类(azoles)的浓度的系统和方法。
[0004]概述
[0005]根据一个方面，提供了一种处理包含唑类的化学机械抛光(CMP)废水的方法。该方法可以包括提供具有第一唑浓度的废水。该方法还可以包括将废水引入到废水处理系统的入口。废水处理系统可以被构造和布置成产生自由基并且将自由基引入到废水中。该方法可以另外包括激活废水处理系统，以产生自由基并且将自由基引入到废水中，所述自由基的量足以降低废水中的唑浓度并且产生具有小于第一唑浓度的第二唑浓度的经处理的水。
[0006]在一些实施方案中，第一唑浓度可以是从约20mg/L至约200mg/L。例如，第一唑浓度可以是从约20mg/L至约60mg/L、约30mg/L至约80mg/L、约40mg/L至约100mg/L、约50mg/L至约120mg/L、约60mg/L至约150mg/L、约70mg/L至约160mg/L、约80mg/L至约180mg/L或约100mg/L至约200mg/L。在某些实施方案中，第一唑浓度可以是从约40mg/L至约150mg/L。在另外的实施方案中，第一唑浓度可以是从约80mg/L至约100mg/L。
[0007]在一些实施方案中，第二唑浓度可以小于约10mg/L。
[0008]在一些实施方案中，在经处理的水中的唑浓度，即小于约10mg/L，足以用于至少一个下游水处理工艺的操作。
[0009]在一些实施方案中，提供废水包括提供具有唑类的混合物的废水。例如，构成唑类的混合物的唑类可以选自由以下组成的组：咪唑、吡唑、噁唑、异噁唑、噻唑、异噻唑、硒唑、1,2,3
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三唑、1,2,4
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三唑、1,2,5
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噁二唑、1,3,4
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噁二唑、1,2,3
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噻二唑、1,2,4
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噻二唑、1,3,4
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噻二唑、四唑、1,2,3,4
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噻三唑、苯并三唑、邻甲苯基三唑、间甲苯基三唑、对甲苯基三唑、5
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乙基苯并三唑、5
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正丙基苯并三唑、5
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异丁基苯并三唑和4
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甲基苯并三唑，及其组合。在某些实施方案中，构成唑类的混合物的唑类可以选自由以下组成的组：咪唑、吡唑、噁唑、2,3
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三唑、1,2,4
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三唑、1,2,5
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噁二唑、苯并三唑、邻甲苯基三唑、间甲苯基三唑、对甲苯基三唑和5
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乙基苯并三唑。在特定的实施方案中，具有唑类的混合物的废水可以包含至少1,2,4
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三唑，但不限于此。
[0010]在另外的实施方案中，该方法可以包括使用离子交换处理系统处理废水和经处理的水中的至少一种。
[0011]在另外的实施方案中，该方法可以包括在将废水引入到废水处理系统的入口之前测量在废水中的唑浓度和总有机碳(TOC)浓度中的至少一种。
[0012]在一些实施方案中，将废水引入到废水处理系统的入口可以包括将废水引入到选
自高级氧化工艺(advanced oxidation process)(AOP)和溶解铁处理工艺(dissolved iron treatment process)中的至少一种的废水处理系统的入口。对于AOP，将废水引入到AOP的入口可以包括将废水引入到紫外(UV)
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AOP的入口。在另外的实施方案中，该方法可以包括在引入到UV
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AOP中之前用过滤系统处理废水。
[0013]在一些实施方案中，将废水引入到紫外(UV)
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AOP的入口可以包括将废水引入到UV
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过硫酸盐AOP(UV
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persulfate AOP)的入口。例如，将废水引入到UV
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过硫酸盐AOP的入口可以包括基于在废水中的至少唑浓度将过硫酸根离子引入到废水。在一些实施方案中，激活UV
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过硫酸盐AOP包括将在废水中的过硫酸根离子暴露于UV光以产生过硫酸根自由基。
[0014]在一些实施方案中，将废水引入到紫外(UV)
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AOP的入口包括将废水引入到UV
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过氧化物AOP的入口。例如，将废水引入到UV
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过氧化物AOP的入口可以包括基于在废水中的至少唑浓度将过氧化物引入到废水。在一些实施方案中，激活UV
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过氧化物AOP包括将废水中的过硫酸根离子暴露于UV光以产生羟基自由基或过氧羟基自由基。
[0015]在一些实施方案中，将废水引入到废水处理系统的入口可以包括将废水引入到溶解铁处理工艺的入口。对于溶解铁工艺，该方法还可以包括在将废水引入到溶解铁处理工艺之前降低废水的pH。在一些实施方案中，将废水引入到溶解铁处理工艺的入口包括将溶解铁化合物和氧化剂引入到处于酸性pH的废水。氧化剂可以是来自过硫酸盐的过硫酸根离子或过氧化物，例如过氧化氢，其中过硫酸根离子产生过硫酸根自由基并且过氧化物分子产生羟基自由基和/或过氧羟基自由基。在另外的实施方案中，该方法可以包括通过升高废水的pH从废水中沉淀含铁化合物以产生经处理的水。
[0016]在另外的实施方案中，该方法可以包括测量在经处理的水中的唑浓度和TOC浓度中的至少一种。测量的TOC浓度可以与在经处理的水中的测量的第二唑浓度相关联，即第二唑浓度与TOC浓度可以是线性相关的。
[0017]在另外的实施方案中，该方法可以包括将经处理的水引入到下游处理工艺。下游处理工艺可以包括生物处理工艺，但不限于此。
[0018]在另外的实施方案中，该方法可以包括在没有进一步处理的情况下排放经处理的水。
[0019]根据一个方面，提供了一种促进包含唑类的CMP废水的处理的方法。该方法可以包括提供废水处理系统，该废水处理系统具有与具有第一唑浓度的废水源的连接部(connection)。废水处理系统可以是如本文描述的废水处理系统，其被构造和布置成产生自由基并且将自由基引入到废水中。该方法可以包括提供控制器，该控制器被配置成响应于在废水中的至少唑类的浓度来调节至少废水向处理系统中的引入和自由基的产生，以产生具有第二唑浓度的经处理的水，所述第二唑浓度小于第一唑浓度。
[0020]在一些实施方案中，第一唑浓度可以是从约20mg/L至约200mg/L。例如，第一唑浓度可以是从约20mg/L至约60mg/L、约30mg/L至约80mg本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种处理包含唑类的化学机械抛光(CMP)废水的方法，所述方法包括：提供具有第一唑浓度的废水；将所述废水引入到废水处理系统的入口，所述废水处理系统被构造和布置成产生自由基并且将所述自由基引入到所述废水中；以及激活所述废水处理系统，以产生所述自由基并且将所述自由基引入到所述废水中，所述自由基的量足以降低所述废水中的所述唑浓度并且产生具有第二唑浓度的经处理的水，所述第二唑浓度小于所述第一唑浓度。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一唑浓度是从约20mg/L至约200mg/L。3.根据权利要求2所述的方法，其中所述第一唑浓度是从约40mg/L至约150mg/L。4.根据权利要求3所述的方法，其中所述第一唑浓度是从约80mg/L至约100mg/L。5.根据权利要求1所述的方法，其中所述第二唑浓度小于约10mg/L。6.根据权利要求1所述的方法，其中在所述经处理的水中的所述唑浓度足以用于至少一个下游水处理工艺的操作。7.根据权利要求1所述的方法，其中提供所述废水包括提供具有唑类的混合物的废水。8.根据权利要求7所述的方法，其中提供具有唑类的混合物的所述废水包括提供具有选自由以下组成的组的唑类的混合物的废水：咪唑、吡唑、噁唑、异噁唑、噻唑、异噻唑、硒唑、1,2,3
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三唑、1,2,4
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三唑、1,2,5
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噁二唑、1,3,4
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噁二唑、1,2,3
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噻二唑、1,2,4
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噻二唑、1,3,4
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噻二唑、四唑、1,2,3,4
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噻三唑、苯并三唑、邻甲苯基三唑、间甲苯基三唑、对甲苯基三唑、5
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乙基苯并三唑、5
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正丙基苯并三唑、5
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异丁基苯并三唑和4
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甲基苯并三唑。9.根据权利要求7所述的方法，其中提供具有唑类的混合物的所述废水包括提供具有选自由以下组成的组的唑类的混合物的废水：咪唑、吡唑、噁唑、2,3
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三唑、1,2,4
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三唑、1,2,5
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噁二唑、苯并三唑、邻甲苯基三唑、间甲苯基三唑、对甲苯基三唑和5
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乙基苯并三唑。10.根据权利要求9所述的方法，其中提供具有唑类的混合物的所述废水包括提供包含至少1,2,4
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三唑的废水。11.根据权利要求1所述的方法，还包括使用离子交换处理系统处理所述废水和经处理的水中的至少一种。12.根据权利要求1所述的方法，还包括在将所述废水引入到所述废水处理系统的所述入口之前测量所述废水中的所述唑浓度。13.根据权利要求1所述的方法，还包括在将所述废水引入到所述废水处理系统的所述入口之前测量所述废水中的总有机碳(TOC)浓度。14.根据权利要求1所述的方法，其中将所述废水引入到所述废水处理系统的所述入口包括将所述废水引入到选自高级氧化工艺(AOP)和溶解铁处理工艺中的至少一种的废水处理系统的入口。15.根据权利要求14所述的方法，其中将所述废水引入到所述AOP的所述入口包括将所述废水引入到紫外(UV)
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AOP的所述入口。16.根据权利要求15所述的方法，还包括在引入到所述UV
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AOP中之前用过滤系统处理所述废水。17.根据权利要求15或16所述的方法，其中将所述废水引入到所述紫外(UV)
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AOP的所述入口包括将所述废水引入到UV
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过硫酸盐AOP的所述入口。
18.根据权利要求17所述的方法，其中将所述废水引入到所述UV
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过硫酸盐AOP的所述入口包括基于在所述废水中的至少所述唑浓度将过硫酸根离子引入到所述废水。19.根据权利要求18所述的方法，其中激活所述UV
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过硫酸盐AOP包括将所述废水中的所述过硫酸根离子暴露于UV光以产生过硫酸根自由基。20.根据权利要求15或16所述的方法，其中将所述废水引入到所述紫外(UV)
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AOP的所述入口包括将所述废水引入到UV
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过氧化物AOP的所述入口。21.根据权利要求20所述的方法，其中将所述废水引入到所述UV
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过氧化物AOP的所述入口包括基于在所述废水中的至少所述唑浓度将过氧化物引入到所述废水。22.根据权利要求21所述的方法，其中激活所述UV
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过氧化物AOP包括将所述废水中的过氧化物离子暴露于UV光以产生羟基自由基或过氧羟基自由基。23.根据权利要求14所述的方法，其中将所述废水引入到所述废水处理系...

【专利技术属性】
技术研发人员：艾伦，
申请(专利权)人：懿华水处理技术有限责任公司，
类型：发明
国别省市：