本实用新型专利技术公开了一种大宗气体供应的氧气纯化装置，包括底座、吸附罐和处理罐，所述底座顶部设有固定板，所述固定板底部四角处均固定连接有支撑柱，多个所述支撑柱之间固定连接有支撑板，所述吸附罐内壁设有绝热层。本实用新型专利技术通过筛板和过滤板将原料气过滤后，均匀接触到导流板，交替排列的导流板能够延长原料气与吸附剂的接触时间，同时电热管能够对吸附罐内部进行加热，绝热层有效隔绝热量，加热均匀，使反应更加充分，提高气体纯度，然后通过处理罐内部的活性炭过滤网和第一过滤网进行二次过滤，第一过滤网具有均匀的微孔结构，从而实现对空气的纯化，结构简单，实用性强，具有多重过滤效果，能够更好的纯化气体。能够更好的纯化气体。能够更好的纯化气体。
【技术实现步骤摘要】
一种大宗气体供应的氧气纯化装置
[0001]本技术涉及氧气纯化
，具体涉及一种大宗气体供应的氧气纯化装置。
技术介绍
[0002]随着社会发展，经济越来越进步，工业逐渐从粗加工转化为精密制造，对高纯气体的需求也越来越大，高纯氧气在电子、对晶硅等行业的应用越来越广泛，高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积，作为氧化源与产生高纯水的反应剂，干法氧化，与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀，氧气纯化需要用到氧气纯化装置。
[0003]现有的气体纯化装置不能一次去除大部分杂质，因此需要多个纯化器同时工作，并且需要在每个纯化器中装入不同的吸附剂，所需时间较长，且加热不均匀、隔热性不好，从而导致气体的纯化过程比较繁杂。
[0004]因此，专利技术一种大宗气体供应的氧气纯化装置来解决上述问题很有必要。
技术实现思路
[0005]本技术的目的是提供一种大宗气体供应的氧气纯化装置，通过筛板和过滤板将原料气过滤后，均匀接触到导流板，同时电热管能够对吸附罐内部进行加热，绝热层有效隔绝热量，然后通过处理罐内部的活性炭过滤网和第一过滤网进行二次过滤，第一过滤网具有均匀的微孔结构，从而实现对空气的纯化，以解决技术中的上述不足之处。
[0006]为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种大宗气体供应的氧气纯化装置，包括底座、吸附罐和处理罐，所述底座顶部设有固定板，所述固定板底部四角处均固定连接有支撑柱，多个所述支撑柱之间固定连接有支撑板；
[0007]所述吸附罐内壁设有绝热层，所述吸附罐内壁两侧均固定连接有筛板，所述筛板外壁一侧设有过滤板，两个所述筛板之间设有保温层，所述保温层外壁固定连接有导流板，所述导流板的数量设置为多个，所述保温层外壁设有吸附剂，所述导流板顶部设有活性炭吸附板，所述保温层内壁设有电热管；
[0008]所述处理罐内壁设有真空层，所述处理罐内壁两侧均固定连接有隔板，两个所述隔板之间设有引流管，所述引流管外壁设有干燥剂，一个所述隔板底部设有活性炭过滤网，所述活性炭过滤网底部设有第一过滤网。
[0009]优选的，所述支撑柱与底座固定连接，所述吸附罐与处理罐贯穿固定板和支撑板。
[0010]优选的，所述吸附罐内壁顶端设有进气管，所述处理罐内壁顶端设有排气管，所述吸附罐和处理罐顶端一侧均设有气压表。
[0011]优选的，所述吸附罐与处理罐底部固定连接有导气管，所述导气管内壁设有气动阀。
[0012]优选的，所述吸附剂位于导流板外壁，所述保温层底部设有温度传感器。
[0013]优选的，另一所述隔板顶部设有第二过滤网，所述第二过滤网顶部设有筛网。
[0014]在上述技术方案中，本技术提供的技术效果和优点：
[0015]通过筛板和过滤板将原料气过滤后，均匀接触到导流板，交替排列的导流板能够延长原料气与吸附剂的接触时间，同时电热管能够对吸附罐内部进行加热，绝热层有效隔绝热量，防止烫伤操作人员，加热均匀，使反应更加充分，提高气体纯度，然后通过处理罐内部的活性炭过滤网和第一过滤网进行二次过滤，第一过滤网具有均匀的微孔结构，从而实现对空气的纯化，结构简单，实用性强，具有多重过滤效果，能够更好的纯化气体。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本技术的整体结构剖视图；
[0018]图2为本技术的正视图；
[0019]图3为本技术的吸附罐俯剖图；
[0020]图4为本技术图1的A处结构放大图；
[0021]图5为本技术图1的B处结构放大图。
[0022]附图标记说明：
[0023]1、底座；2、固定板；3、支撑柱；4、支撑板；5、吸附罐；6、处理罐；7、进气管；8、气压表；9、绝热层；10、筛板；11、过滤板；12、保温层；13、电热管；14、吸附剂；15、导流板；16、活性炭吸附板；17、导气管；18、温度传感器；19、真空层；20、隔板；21、引流管；22、干燥剂；23、活性炭过滤网；24、第一过滤网；25、第二过滤网；26、筛网；27、排气管；28、气动阀。
具体实施方式
[0024]为了使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面将结合附图对本技术作进一步的详细介绍。
[0025]本技术提供了如图1
‑
5所示的一种大宗气体供应的氧气纯化装置，包括底座1、吸附罐5和处理罐6，所述底座1顶部设有固定板2，所述固定板2底部四角处均固定连接有支撑柱3，多个所述支撑柱3之间固定连接有支撑板4；
[0026]所述吸附罐5内壁设有绝热层9，所述吸附罐5内壁两侧均固定连接有筛板10，所述筛板10外壁一侧设有过滤板11，两个所述筛板10之间设有保温层12，所述保温层12外壁固定连接有导流板15，所述导流板15的数量设置为多个，所述保温层12外壁设有吸附剂14，所述导流板15顶部设有活性炭吸附板16，所述保温层12内壁设有电热管13；
[0027]所述处理罐6内壁设有真空层19，所述处理罐6内壁两侧均固定连接有隔板20，两个所述隔板20之间设有引流管21，所述引流管21外壁设有干燥剂22，一个所述隔板20底部设有活性炭过滤网23，所述活性炭过滤网23底部设有第一过滤网24。
[0028]进一步的，在上述技术方案中，所述支撑柱3与底座1固定连接，所述吸附罐5与处理罐6贯穿固定板2和支撑板4。
[0029]进一步的，在上述技术方案中，所述吸附罐5内壁顶端设有进气管7，所述处理罐6内壁顶端设有排气管27，所述吸附罐5和处理罐6顶端一侧均设有气压表8。
[0030]进一步的，在上述技术方案中，所述吸附罐5与处理罐6底部固定连接有导气管17，所述导气管17内壁设有气动阀28。
[0031]进一步的，在上述技术方案中，所述吸附剂14位于导流板15外壁，所述保温层12底部设有温度传感器18。
[0032]进一步的，在上述技术方案中，另一所述隔板20顶部设有第二过滤网25，所述第二过滤网25顶部设有筛网26。
[0033]本实用工作原理：
[0034]参照说明书附图1
‑
5，本技术在使用时，首先将原料气从进气管7进入吸附罐5内部，然后经过筛板10和过滤板11过滤后，均匀接触到导流板15，交替排列的导流板15能够延长原料气与吸附剂14的接触时间，同时配合活性炭吸附板16对原料气进行净化，同时电热管13能够对吸附罐5内部进行加热，绝热层9有效隔绝热量，防止烫伤操作人员，加热均匀，使反应更加充分，提高气体纯度，然后由气动阀28根据设定的纯化工序使净化后的原料气从导气管17进入到处理罐6内部，通过活性炭过滤网23和第一过滤网24进行二本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种大宗气体供应的氧气纯化装置，包括底座（1）、吸附罐（5）和处理罐（6），其特征在于：所述底座（1）顶部设有固定板（2），所述固定板（2）底部四角处均固定连接有支撑柱（3），多个所述支撑柱（3）之间固定连接有支撑板（4）；所述吸附罐（5）内壁设有绝热层（9），所述吸附罐（5）内壁两侧均固定连接有筛板（10），所述筛板（10）外壁一侧设有过滤板（11），两个所述筛板（10）之间设有保温层（12），所述保温层（12）外壁固定连接有导流板（15），所述导流板（15）的数量设置为多个，所述保温层（12）外壁设有吸附剂（14），所述导流板（15）顶部设有活性炭吸附板（16），所述保温层（12）内壁设有电热管（13）；所述处理罐（6）内壁设有真空层（19），所述处理罐（6）内壁两侧均固定连接有隔板（20），两个所述隔板（20）之间设有引流管（21），所述引流管（21）外壁设有干燥剂（22），一个所述隔板（20）底部设有活性炭过滤网（23），所述活性炭过滤网（23）底部设有第一过滤网...
【专利技术属性】
技术研发人员：白久，赵颖毅，林晨，陈龙，王虎林，蔡明哲，
申请(专利权)人：宏芯气体上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。