一种高真空环境使用的五轴电动高精度位移平台制造技术

技术编号:33012810 阅读:31 留言:0更新日期:2022-04-09 13:27
本申请公开了一种高真空环境使用的五轴电动高精度位移平台,包括工作台、固定机构和调节机构;所述固定机构包括五轴位移台本体,所述五轴位移台本体底部固定连接有搭接板,所述搭接板搭接在工作台上,所述搭接板底部固定连接有固定块,所述固定块插接贯穿固定插孔,所述固定块内固定设有固定空腔,所述固定空腔内转动连接有第二螺纹杆,所述第二螺纹杆另一端贯穿固定空腔延伸至外部。本申请通过第二螺纹杆转动带动两个第二移动套筒运动,第二移动套筒在导向杆上滑动,第二移动套筒运动带动转动板转动,转动板转动推动两个推板向开口外运动,推板运动至顶端与工作台底端接触,从而将五轴移动台本体固定住。五轴移动台本体固定住。五轴移动台本体固定住。

【技术实现步骤摘要】
一种高真空环境使用的五轴电动高精度位移平台


[0001]本申请涉及五轴电动位移台领域,尤其是一种高真空环境使用的五轴电动高精度位移平台。

技术介绍

[0002]五轴位移台又名五轴微移台,将手轮转动转换成位移动作,由机械完成,五轴移台有多种,其中最简单一种是机械式,全部功能都是由机构完成,还有一种是压电式,精度高,可以通过计算机控制,响应速度快但是行程很小,用在高精密定位。
[0003]在使用五轴位移台时,需要实现在超真空环境中的各种分析研究,五轴位移台只能进行精度位移的调整,不便于对整体的位移进行大幅调整后对五轴位移台的位置进行固定,使用较为不便。因此,针对上述问题提出一种高真空环境使用的五轴电动高精度位移平台。

技术实现思路

[0004]在本实施例中提供了一种高真空环境使用的五轴电动高精度位移平台用于解决现有技术中的不便于对五轴位移台的位置进行固定的问题。
[0005]根据本申请的一个方面,提供了一种高真空环境使用的五轴电动高精度位移平台,包括工作台、固定机构和调节机构;
[0006]所述固定机构包括五本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高真空环境使用的五轴电动高精度位移平台,其特征在于:包括工作台(3)、固定机构和调节机构;所述固定机构包括五轴位移台本体(1),所述五轴位移台本体(1)底部固定连接有搭接板(13),所述搭接板(13)搭接在工作台(3)上,所述搭接板(13)底部固定连接有固定块(14),所述固定块(14)插接贯穿固定插孔(2),所述固定块(14)内固定设有固定空腔(15),所述固定空腔(15)内转动连接有第二螺纹杆(19),所述第二螺纹杆(19)另一端贯穿固定空腔(15)延伸至外部,所述第二螺纹杆(19)上螺纹套接有两个第二移动套筒(18),两个所述第二移动套筒(18)滑动套接在导向杆(20)上,两个所述导向杆(20)两端分别固定连接在固定空腔(15)两侧,两个所述第二移动套筒(18)两端均转动连接有转动板(17),四个所述转动板(17)另一端分别转动连接在两个推板(16)上,所述推板(16)顶端与工作台(3)底端处于同一水平线。2.根据权利要求1所述的一种高真空环境使用的五轴电动高精度位移平台,其特征在于:所述固定插孔(2)的个数为若干个,所述固定插孔(2)等距均匀分布在工作台(3)上。3.根据权利要求1所述的一种高真空环境使用的五轴电动高精度位移平台,其...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴波
申请(专利权)人:苏州笃学科正智能科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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