本申请提供一种显影液喷吐量称量装置，所述称量装置包括：显影液喷嘴，被配置为喷吐显影液；称量工具，设置于所述显影液喷嘴正下方；升降装置，与所述显影液喷嘴相连，被配置为控制所述显影液喷嘴升降；距离传感器，设置于所述称量工具面向所述显影液喷嘴的一面，被配置为测量所述显影液喷嘴与所述称量工具之间的距离；处理器，与所述距离传感器通讯连接，被配置为接收所述距离传感器的测量结果并根据所述测量结果控制所述升降装置。本申请所述的一种显影液喷吐量称量装置，可以避免显影液喷嘴与称量工具发生碰撞，导致喷嘴发生形变而报废。废。废。
【技术实现步骤摘要】
一种显影液喷吐量称量装置
[0001]本申请涉及半导体
，尤其涉及一种显影液喷吐量称量装置。
技术介绍
[0002]在光刻工艺中需要先在晶圆表面均匀涂覆一层光刻胶，晶圆经过曝光后必须经过显影，才能将掩模版上的电路图案显示在晶圆表面。显影的过程是一种化学反应过程，是使用化学药品和曝光后的光刻胶进行反应，使得曝光后的胶膜转变为可溶性物质然后被洗掉。如果显影液喷吐量过低，易造成图案不能完全显开；反之如果显影液喷吐量过多，则造成图案显影过界。因此每次机台维护时需使用称量工具检查显影液喷吐实际量。在测量显影液量时，首先手动点击操作界面上的升降按钮将显影液喷嘴升起来，然后将钢制称量工具架设在喷嘴淋浴室上，并设定喷吐时间，最后使显影液从喷嘴吐到称量工具中。
[0003]然而目前在称量过程中，操作界面时，容易再次误点升降按钮，使得显影液喷嘴从上升切换到下降状态，以致喷嘴直接压在钢制称量工具上而发生碰撞，导致喷嘴发生形变而报废。每次更换一个显影喷嘴，需耗费1.6万人民币，故而造成重大经济损失；每次更换显影喷嘴，都需要调整喷嘴位置、水平、流量，需要浪费大量的时间，严重影响机台的工作效率。
[0004]因此，有必要提供更有效、更可靠的技术方案。
技术实现思路
[0005]本申请提供一种显影液喷吐量称量装置，可以避免显影液喷嘴与称量工具发生碰撞，导致喷嘴发生形变而报废。
[0006]本申请提供一种显影液喷吐量称量装置，包括：显影液喷嘴，被配置为喷吐显影液；称量工具，设置于所述显影液喷嘴正下方，所述称量工具面向所述显影液喷嘴的一面设置有容纳腔，被配置为容纳显影液喷嘴喷吐的显影液，所述称量工具被配置为称量显影液喷嘴喷吐到所述容纳腔中的显影液的量；升降装置，与所述显影液喷嘴相连，被配置为控制所述显影液喷嘴升降；距离传感器，设置于所述称量工具面向所述显影液喷嘴的一面，被配置为测量所述显影液喷嘴与所述称量工具之间的距离；处理器，与所述距离传感器通讯连接，被配置为接收所述距离传感器的测量结果并根据所述测量结果控制所述升降装置。
[0007]在本申请的一些实施例中，所述称量工具面向所述显影液喷嘴的一面为柔性材料。
[0008]在本申请的一些实施例中，所述柔性材料包括橡胶。
[0009]在本申请的一些实施例中，所述距离传感器设置于所述称量工具面向所述显影液喷嘴的一面的边缘位置。
[0010]在本申请的一些实施例中，所述处理器根据所述测量结果控制所述升降装置包括：当所述测量结果小于等于距离阈值时，控制所述升降装置停止运行。
[0011]在本申请的一些实施例中，所述称量装置还包括：数据采集卡和A/D转换器，所述
数据采集卡与所述距离传感器通讯连接，所述A/D转换器与所述数据采集卡通讯连接，所述距离传感器的测量结果通过数据采集卡和A/D转换器从模拟信号转换为数字信号后发送给处理器。
[0012]在本申请的一些实施例中，所述容纳腔底部设置有重量传感器，被配置为称量显影液喷嘴喷吐到所述容纳腔中的显影液的重量。
[0013]在本申请的一些实施例中，所述称量装置还包括：显影液喷嘴清洗装置，设置于所述称量工具正下方承托所述称量工具，所述显影液喷嘴清洗装置面向称量工具的一面设置有清洗腔，被配置为清洗所述显影液喷嘴。
[0014]在本申请的一些实施例中，所述清洗腔周围设置有淋浴孔，所述显影液喷嘴清洗装置通过所述淋浴孔喷洒清洗液体清洗所述显影液喷嘴。
[0015]在本申请的一些实施例中，还包括：报警装置，与所述处理器通讯连接，当所述测量结果小于等于距离阈值时，所述处理器控制所述报警装置发出警报。
[0016]本申请提供一种显影液喷吐量称量装置，使用距离传感器监测显影液喷嘴和称量工具之间的距离，当所述距离过小时使显影液停止下降，可以避免显影液喷嘴与称量工具发生碰撞，导致喷嘴发生形变而报废。
附图说明
[0017]以下附图详细描述了本申请中披露的示例性实施例。其中相同的附图标记在附图的若干视图中表示类似的结构。本领域的一般技术人员将理解这些实施例是非限制性的、示例性的实施例，附图仅用于说明和描述的目的，并不旨在限制本申请的范围，其他方式的实施例也可能同样的完成本申请中的技术意图。应当理解，附图未按比例绘制。其中：
[0018]图1为本申请实施例所述的显影液喷吐量称量装置的结构示意图；
[0019]图2为本申请实施例所述的显影液喷吐量称量装置中称量工具和距离传感器的俯视图。
具体实施方式
[0020]以下描述提供了本申请的特定应用场景和要求，目的是使本领域技术人员能够制造和使用本申请中的内容。对于本领域技术人员来说，对所公开的实施例的各种局部修改是显而易见的，并且在不脱离本申请的精神和范围的情况下，可以将这里定义的一般原理应用于其他实施例和应用。因此，本申请不限于所示的实施例，而是与权利要求一致的最宽范围。
[0021]下面结合实施例和附图对本技术技术方案进行详细说明。
[0022]对于在称量过程中，作业人员容易误操作导致显影液喷嘴与称量工具发生碰撞，导致喷嘴发生形变而报废的问题，目前的方法只是加强对作业人员的培训，经常对作业人员宣导相关注意事项。然而这样的效果并不理想，操作人员仍然避免不了误操作。因此必须提供更有效的办法，从根本上解决问题。
[0023]针对上述问题，本申请提供一种显影液喷吐量称量装置，使用距离传感器监测显影液喷嘴和称量工具之间的距离，当所述距离过小时使显影液停止下降，可以避免显影液喷嘴与称量工具发生碰撞，导致喷嘴发生形变而报废。
[0024]图1为本申请实施例所述的显影液喷吐量称量装置的结构示意图。
[0025]本申请实施例提供一种显影液喷吐量称量装置，参考图1所示，包括：显影液喷嘴100，被配置为喷吐显影液；称量工具110，设置于所述显影液喷嘴100正下方，所述称量工具110面向所述显影液喷嘴100的一面设置有容纳腔111，被配置为容纳显影液喷嘴100喷吐的显影液，所述称量工具110被配置为称量显影液喷嘴100喷吐到所述容纳腔111中的显影液的量；升降装置，与所述显影液喷嘴相连，被配置为控制所述显影液喷嘴升降；距离传感器120，设置于所述称量工具110面向所述显影液喷嘴100的一面，被配置为测量所述显影液喷嘴100与所述称量工具110之间的距离；处理器，与所述距离传感器通讯连接，被配置为接收所述距离传感器的测量结果并根据所述测量结果控制所述升降装置。
[0026]参考图1所示，本申请所述的显影液喷吐量称量装置包括：显影液喷嘴100，被配置为喷吐显影液。
[0027]光刻工艺中需要经过显影才能将掩模版上的电路图案显示在晶圆表面。显影的过程是一种化学反应过程，是使用化学药品和曝光后的光刻胶进行反应，使得曝光后的胶膜转变为可溶性物质然后被洗掉。所述与光刻胶进行反应的化学药品被称为显影液。所述显影液喷嘴100就是用来喷吐显影液的。所述显影液喷嘴100中存储本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种显影液喷吐量称量装置，其特征在于，包括：显影液喷嘴，被配置为喷吐显影液；称量工具，设置于所述显影液喷嘴正下方，所述称量工具面向所述显影液喷嘴的一面设置有容纳腔，被配置为容纳显影液喷嘴喷吐的显影液，所述称量工具被配置为称量显影液喷嘴喷吐到所述容纳腔中的显影液的量；升降装置，与所述显影液喷嘴相连，被配置为控制所述显影液喷嘴升降；距离传感器，设置于所述称量工具面向所述显影液喷嘴的一面，被配置为测量所述显影液喷嘴与所述称量工具之间的距离；处理器，与所述距离传感器通讯连接，被配置为接收所述距离传感器的测量结果并根据所述测量结果控制所述升降装置。2.如权利要求1所述的称量装置，其特征在于，所述称量工具面向所述显影液喷嘴的一面为柔性材料。3.如权利要求2所述的称量装置，其特征在于，所述柔性材料包括橡胶。4.如权利要求1所述的称量装置，其特征在于，所述距离传感器设置于所述称量工具面向所述显影液喷嘴的一面的边缘位置。5.如权利要求1所述的称量装置，其特征在于，所述处理器根据所述测量结果控制所述升降装置包括：当所述测量结果小于等...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈家柱，叶勋，蒋文昌，姚宏忠，高涛，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：
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