本实用新型专利技术提出了一种弹性件、定位装置和处理设备，弹性件包括：弹性连接部，弹性连接部呈弧形；至少两个弹性抵接部，位于弹性连接部靠近弧形的圆心的一侧，弹性抵接部设置于弹性连接部的两端。本实用新型专利技术所提供的弹性件通过具有弹性的弹性连接部和至少两个弹性抵接部，使得在使用弹性件进行抵接固定时，可以产生弹性形变而更好的与所固定的工件进行贴合，产生更好的固定效果，避免与工件发生硬接触而造成工件损坏的现象发生，且弹性件具有一定的韧性，从而降低了安装难度，提高了使用其进行固定的便捷性。定的便捷性。定的便捷性。
【技术实现步骤摘要】
弹性件、定位装置和处理设备
[0001]本技术涉及加工设备领域，具体而言，涉及一种弹性件、一种定位装置和一种处理设备。
技术介绍
[0002]相关技术中，晶圆夹紧定位装置主要是通过气缸或电机带动两件或多件带弹簧的夹紧片对晶圆进行夹紧定位，而采用弹簧夹紧片定位，装置较复杂，易损伤晶圆。
技术实现思路
[0003]为了解决上述技术问题至少之一，本技术的第一个目的提出了一种弹性件。
[0004]本技术的第二个目的，还提出了一种定位装置。
[0005]本技术的再一个目的，还提出了一种处理设备。
[0006]有鉴于此，根据本技术的第一个目的，本技术提出了一种弹性件，包括：弹性连接部，弹性连接部呈弧形；至少两个弹性抵接部，位于弹性连接部靠近弧形的圆心的一侧，弹性抵接部设置于弹性连接部的两端。
[0007]本技术提供的弹性件包括弹性连接部和至少两个弹性抵接部。其中，弹性连接部呈弧形，弹性连接部本身具有弹性。弹性是指物体在外力作用下发生形变，当外力撤消后能恢复原来大小和形状的性质，弧形的弹性连接部可以在夹持时产生形变，进而变得弯曲。具体地，在弹性抵接部与工件接触，在接触区域附近产生变形，进而使弹性连接部产生形变，
[0008]若相对设置的两个弹性件同时夹持工件，一方面即可以实现工件的位置调整，另一方面上述的弹性件结构简单，安装难度低，避免对工件产生损伤，即避免了相关技术中，采用弹簧作为弹性件导致的安装不良，从而引起的夹紧不到位或过度夹紧而对工件造成损伤的问题。
[0009]至少两个弹性抵接部，位于弹性连接部靠近弧形的圆心的一侧，弹性抵接部设置于弹性连接部的两端。弹性连接部对至少两个弹性抵接部在夹持工件时，起到支撑与连接的作用，使得弹性抵接部在与工件抵接时，因工件提供的反向接触力和连接部的支撑而产生形变，形变后的弹性抵接部与工件之间有更多的接触点。这样，既可以更好的与工件紧密接触，对工件产生更好的固定效果，又可以避免与工件发生硬接触而造成工件损坏的现象发生。
[0010]进一步地，至少两个弹性抵接部，位于弹性连接部靠近弧形的圆心的一侧，弹性抵接部设置于弹性连接部的两端。这样，当使用弹性件与工件接触进行夹持定位时，首先接触到工件的是弹性抵接部，弹性连接部不与工件产生接触，避免与工件发生硬接触而造成工件损坏的现象发生。
[0011]另外，本技术提供的上述技术方案中的弹性件还可以具有如下附加技术特征：
[0012]在上述技术方案中，弹性抵接部远离弹性连接部的一侧为内凹的弧面，弹性抵接部长度沿弧面所在的圆周方向延伸。
[0013]在该技术方案中，弹性抵接件采用非金属材质，或者弹性件为非金属材质，避免金属隔离杂质污染工件；工件可以为晶圆，相关技术中，采用弹簧夹紧片定位时，弹簧一般为金属材质，颗粒较多，存在金属污染晶圆的风险。
[0014]在该技术方案中，弹性抵接部远离弹性连接部的一侧为内凹的弧面。使得弹性抵接部与工件的接触面具有一定的斜度，工件为圆形工件时，弧面对应的半径应与圆形工件的半径一致，进而与工件的接触点变多，使得弹性抵接部可以以更贴合的姿态与工件的边缘接触。产生更好的调节与定位效果。
[0015]工件为晶圆，弧面对应的半径根据晶圆大小的不同更改尺寸。弹性件的弹性受材质、弹性件连接部的厚度，弹性件连接部的长度影响。不同材质的弹性模量不同，所以在采用不同的材质时，弹性件的尺寸(弹性件连接部的厚度，弹性件连接部的长度)也需进行调整。
[0016]进一步地，弹性抵接部长度沿弧面所在的圆周方向延伸。对于非规整的工件，其四周可能存在缺角或切边，通过弹性抵接部可沿弧面所在的圆周方向进行长度延伸。具有一定长度的弹性抵接部，与工件的接触点更多，在夹持时使得弹性抵接部与工件的接触点更多。进而在夹持时使得弹性抵接部可以与工件的规则部分相接触，避开了工件存在缺角与切边的部分，使得非规则的工件也可以被弹性抵接部所牢固的固定。
[0017]根据本技术的第二个目的，本技术提出了一种定位装置，用于调整工件位置，包括：第一夹持组件；第二夹持组件，第二夹持组件包括第二夹持部，第二夹持部为如上述任一技术方案中的弹性件，第二夹持组件与第一夹持组件相对设置，第一夹持组件和第二夹持组件围设出一空间，工件位于空间内，驱动件，与第一夹持组件和第二夹持组件相连接，驱动件用于驱动第二夹持组件和第一夹持组件相对于工件运动，以使第二夹持组件和第一夹持组件与工件相抵接。
[0018]本技术提供的定位装置包括第一夹持组件、第二夹持组件和驱动件。其中，第二夹持组件包括第二夹持部，第二夹持部为如上述任一技术方案中的弹性件，弹性件本身具有弹性，其可与需要调整位置或固定的工件相抵接，以控制工件的运动或静止状态。
[0019]第二夹持组件与第一夹持组件相对设置。在定位过程中，第一夹持组件和第二夹持组件围设出一空间，工件位于该空间内。通过第二夹持组件与第一夹持组件的相互配合，共同实现对晶圆的定位。工件受到第一夹持组件与第二夹持组件从不同方向传递的夹紧作用，使得定位的结构更稳定，保证了工件位置的准确性。
[0020]进一步地，定位组件中还包括驱动件，驱动件与第一夹持组件和第二夹持组件相连接。驱动件用于驱动第二夹持组件和第一夹持组件相对于工件运动，以使弹性抵接部与工件相抵接。
[0021]具体地，当对工件进行定位固定时，驱动件驱动第一夹持组件与第二夹持组件相对于工件做靠近运动，进而第一夹持组件和第二夹持组件靠近工件，并与工件的圆周接触面发生接触。在接触的过程中，第二夹持组件中本身具有弹性的弹性件在驱动件的作用下与工件紧密接触。弹性件与工件的接触面接触时，因工件抵抗夹持所产生的作用力使得第二弹性夹持部发生形变而产生弹性回复力，进而使得第二夹持组件压靠在工件的接触面
上，且接触的形式为软接触，使得既可以牢固的夹持晶圆工件，避免了晶圆工件与夹持件之间发生摩擦，又可以依靠产生的形变抵消部分夹紧力，避免因夹紧力过大而导致晶圆在固定过程中表面损伤的现象发生，第一夹持组件抵接在工件的另一侧，进而与第二夹持组件配合在多个方向对工件进行了固定，牢固地夹持了工件。保证了工件位置的准确性。
[0022]进一步地，定位组件中的第一夹持组件和第二夹持组件在靠近工件至抵接，即完成定位后，第一种情况是：第一夹持组件和第二夹持组件与工件分离，即驱动件再驱动第一夹持组件和第二夹持组件做反方向运动；第二种情况是：第一夹持组件和第二夹持组件维持抵接状态不动，使得工件被夹持的更加牢固和稳定。
[0023]其中，第一种情况体现的是定位组件对工件的调节作用，用于规整工件的位置；第二种情况体现的是定位组件的调节以及定位作用，即将工件的位置进行规整，然后保持规整后的状态不动。
[0024]在二种情况下，存在的一种状态是：当工件进入下一步工序，例如清洗或加工时，如机械手等的外部操作件对工件进行转移。驱动件驱动第一夹持组件与第二夹持组件做反方向运动，第一夹本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种弹性件，其特征在于，包括：弹性连接部，所述弹性连接部呈弧形；至少两个弹性抵接部，位于所述弹性连接部靠近所述弧形的圆心的一侧，所述弹性抵接部设置于所述弹性连接部的两端。2.根据权利要求1所述的弹性件，其特征在于，所述弹性抵接部远离所述弹性连接部的一侧为内凹的弧面，所述弹性抵接部的长度沿所述弧面所在的圆周方向延伸。3.一种定位装置，用于调整工件的位置，其特征在于，包括：第一夹持组件；第二夹持组件，包括第二夹持部，所述第二夹持部为如权利要求1或2所述的弹性件，所述第二夹持组件与第一夹持组件相对设置，所述第一夹持组件和所述第二夹持组件围设出一空间，所述工件位于所述空间内；驱动件，与所述第一夹持组件和所述第二夹持组件相连接，所述驱动件用于驱动所述第二夹持组件和第一夹持组件相对于所述工件运动，以使所述第一夹持组件和所述第二夹持组件与所述工件抵接。4.根据权利要求3所述的定位装置，其特征在于，所述第一夹持组件包括：第一支撑部和第一夹持部，第一夹持部通过第一支撑部连接于所述驱动件；所述第二夹持组件还包括：第二支撑部，所述第二夹持部通过所述第二支撑部连接于所述驱动件；在所述驱动件的驱动下运动，以使所述第一夹持部和所述第二夹持部与所述工件抵接。5.根据权利要求4所述的定位装置，其特征在于，所述第一夹持部为如权利要求1或2所述的弹性件。6.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，谈丽文，成旭，申斌，任金枝，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：
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