一种磁悬浮电机定子组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种磁悬浮电机定子组件，包括中空的定子壳体，定子壳体的外圆周上设置有散热翅，定子壳体从左往右依次具有第一腔体、第二腔体和第三腔体，定子壳体的内腔设置有挡环，第一腔体和第二腔体通过挡环隔开，第二腔体和第三腔体连通，第一腔体内安装有径向磁轴承定子，第二腔体内安装有径向位移检测组件，第三腔体内安装有轴向位移调节组件。本实用新型专利技术的有益效果是：定子壳体上设置有散热翅，散热效果好，径向位移检测组件将固定壳、塑封模块和径向位移探测器塑封在一起并形成一个整体，从而使得径向位移检测组件结构紧凑，占用空间小。占用空间小。占用空间小。

【技术实现步骤摘要】
一种磁悬浮电机定子组件


[0001]本技术涉及芯片制作领域，主要为芯片制造过程中的氦气输送泵，特别是一种磁悬浮电机定子组件。

技术介绍

[0002]目前，光刻机是芯片制作时需要使用到的设备，全球的光刻机处于垄断状态，而且国外还对国内进行了技术封锁，导致国内的光刻机需要突破层层封锁，才有可能制造出高端的芯片。
[0003]光刻机在制作芯片时，为保证芯片的光刻的质量，通常会在氦气环境中进行光刻，并且氦气在一个密闭的通道中进行流动，而为了使氦气流动，则需要给氦气动力，因此则需要氦气输送泵，但是光刻机对氦气要求比较高，特别是在洁净度方面，因此对氦气输送泵也就要求无油、无尘、无噪音等。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种磁悬浮电机定子组件。
[0005]本技术的目的通过以下技术方案来实现：一种磁悬浮电机定子组件，包括中空的定子壳体，定子壳体的外圆周上设置有散热翅，定子壳体从左往右依次具有第一腔体、第二腔体和第三腔体，定子壳体的内腔设置有挡环，第一腔体和第二腔体通过挡环隔开，第二腔体和第三腔体连通，第一腔体内安装有径向磁轴承定子，第二腔体内安装有径向位移检测组件，第三腔体内安装有轴向位移调节组件。
[0006]可选的，径向位移检测组件包括塑封模块和固定壳，固定壳的中心具有转轴穿过的通孔，固定壳的一端面上开设有环形槽a，固定壳上还径向开设有径向穿孔，径向穿孔与通孔连通，塑封模块呈环形状，且塑封模块上径向设置有径向柱，塑封模块的环形部配合安装在环形槽a内，塑封模块的径向柱配合安装在径向穿孔内，且靠近通孔的径向柱内安装有检测转轴径向位移的径向位移探测器。
[0007]可选的，固定壳上还开设有引出线缺口，塑封模块上设置有凸起部，凸起部配合安装在引出线缺口内，定子壳体上开设有出线孔，径向位移探测器的导线从凸起部引出，并从出线孔引出。
[0008]可选的，径向穿孔为两个，且两个径向穿孔互成角度设置。
[0009]可选的，第二腔体的内侧壁上轴向开设有第二止转槽，固定壳的外侧壁上轴向开设有卡槽，第二止转槽和卡槽组成定位槽，定位槽内安装有第二止转轴。
[0010]可选的，轴向位移调节组件包括左磁感应组件、衬套、推力盘和右磁感应组件，左磁感应组件、衬套和右磁感应组件通过螺栓连接，衬套位于左磁感应组件和右磁感应组件之间，且左磁感应组件和右磁感应组件之间形成调节腔，推力盘套装在转轴上，且推力盘的外缘位于调节腔内，且推力盘的左端面与左磁感应组件具有间隙，推力盘的右端面与右磁感应组件具有间隙。
[0011]可选的，左磁感应组件包括左外壳和左端盖，左外壳的右端面上开设有环形槽b，该环形槽b内安装有线圈，左端盖安装在左外壳的右端面上，左端盖上具有通孔，通孔的直径大于环形槽b的小径。
[0012]可选的，右磁感应组件包括右外壳和右端盖，右外壳的左端面上开设有环形槽c，该环形槽c内安装有线圈，右端盖安装在右外壳的左端面上，右端盖上具有通孔，通孔的直径大于环形槽c的小径。
[0013]可选的，左磁感应组件、衬套和右磁感应组件的外缘齐平，且左磁感应组件、衬套和右磁感应组件的外侧壁上轴向安装有第一止转轴，第三腔体的内侧壁上轴向开设有第一止转槽，部分第一止转轴卡在第一止转槽内。
[0014]本技术具有以下优点：本技术的磁悬浮电机定子组件，定子壳体上设置有散热翅，散热效果好，径向位移检测组件将固定壳、塑封模块和径向位移探测器塑封在一起并形成一个整体，从而使得径向位移检测组件结构紧凑，占用空间小。
附图说明
[0015]图1 为本技术的结构示意图；
[0016]图2 为本技术的剖视示意图；
[0017]图3 为定子壳体的结构示意图；
[0018]图4 为定子壳体的剖视示意图；
[0019]图5 为径向位移检测组件的结构示意图；
[0020]图6 为径向位移检测组件的爆炸示意图；
[0021]图7 为轴向位移调节组件的结构示意图
[0022]图8 为轴向位移调节组件的剖视示意图
[0023]图9 为线圈的安装示意图
[0024]图中，10
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定子壳体，11
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散热翅，12
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第一腔体，13
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第二腔体，14
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第三腔体，15
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挡环，16
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第一止转槽，17
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出线孔，18
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第二止转槽，100
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转轴，200
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径向磁轴承定子，300
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径向位移检测组件，400
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轴向位移调节组件，301
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塑封模块，302
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固定壳，303
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径向柱，304
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径向位移探测器，305
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凸起部，306
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环形槽a，307
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引出线缺口，308
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第二止转轴，401
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左外壳，402
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左端盖，403
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衬套，404
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右端盖，405
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右外壳，406
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推力盘，407
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环形槽b，408
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调节腔，409
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环形槽c，410
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第一止转轴。
具体实施方式
[0025]为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施方式的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0026]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。
[0027]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施方式及实施方式中的特征可以相互组合。
[0028]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0029]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁悬浮电机定子组件，其特征在于：包括中空的定子壳体，所述定子壳体的外圆周上设置有散热翅，所述定子壳体从左往右依次具有第一腔体、第二腔体和第三腔体，所述定子壳体的内腔设置有挡环，所述第一腔体和第二腔体通过挡环隔开，所述第二腔体和第三腔体连通，所述第一腔体内安装有径向磁轴承定子，所述第二腔体内安装有径向位移检测组件，所述第三腔体内安装有轴向位移调节组件。2.根据权利要求1所述的一种磁悬浮电机定子组件，其特征在于：所述径向位移检测组件包括塑封模块和固定壳，所述固定壳的中心具有转轴穿过的通孔，所述固定壳的一端面上开设有环形槽a，所述固定壳上还径向开设有径向穿孔，所述径向穿孔与所述通孔连通，所述塑封模块呈环形状，且所述塑封模块上径向设置有径向柱，所述塑封模块的环形部配合安装在所述环形槽a内，所述塑封模块的径向柱配合安装在径向穿孔内，且靠近所述通孔的径向柱内安装有检测转轴径向位移的径向位移探测器。3.根据权利要求2所述的一种磁悬浮电机定子组件，其特征在于：所述固定壳上还开设有引出线缺口，所述塑封模块上设置有凸起部，所述凸起部配合安装在所述引出线缺口内，所述定子壳体上开设有出线孔，所述径向位移探测器的导线从所述凸起部引出，并从所述出线孔引出。4.根据权利要求3所述的一种磁悬浮电机定子组件，其特征在于：所述径向穿孔为两个，且两个所述径向穿孔互成角度设置。5.根据权利要求4所述的一种磁悬浮电机定子组件，其特征在于：所述第二腔体的内侧壁上轴向开设有第二止转槽，所述固定壳的外侧壁上轴向开设有卡...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋启权，王代明，
申请(专利权)人：凯磁科技宁波有限公司，
类型：新型
国别省市：