回收装置和清洗系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体清洗设备技术领域，提供了一种回收装置和清洗系统，回收装置包括：多个相互套设环形回收组件，环形回收组件包括壳体，壳体包括工作腔；第一导流组件，设置于工作腔内，第一导流组件包括第一通道；第二导流组件，设置于工作腔内，第二导流组件包括第二通道；其中，第一通道和第二通道为环形通道，第一通道和第二通道相互独立设置，第一通道用于对工作腔内的废气进行回收，第二通道用于对工作腔内的废液进行回收。通过设置多个相互套设环形回收组件，即设置多重气液回收装置，能够根据不同的工序使用不同的气液回收通道，实现了不同工序的废液、废气的分开收集及排放，实现不同成分的气液回收，提高了回收气液的利用率。液的利用率。液的利用率。

【技术实现步骤摘要】
回收装置和清洗系统


[0001]本技术涉及半导体清洗设备
，具体而言，涉及一种回收装置和一种清洗系统。

技术介绍

[0002]相关技术中，现有的单晶圆清洗设备侧重对废液的收集，而不注重废气的收集，主要体现在清洗设备仅有废液收集装置，没有废气收集装置，即使清洗设备设置废气收集装置，但是多道工序采用同一个废气收集装置，导致不同的气液混合物在气体回收装置内混杂在一起，造成人员或机台的伤害，并且还会增加处理回收气体的难度。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
[0004]为此，本技术第一方面提供了一种回收装置。
[0005]本技术的第二方面提出了一种清洗系统。
[0006]有鉴于此，本技术提供了一种回收装置，包括：多个相互套设环形回收组件，环形回收组件包括：壳体，壳体包括工作腔；第一导流组件，设置于工作腔内，第一导流组件包括第一通道；第二导流组件，设置于工作腔内，第二导流组件包括第二通道；其中，第一通道和第二通道为环形通道，第一通道和第二通道相互独立设置，第一通道用于对工作腔内的废气进行回收，第二通道用于对工作腔内的废液进行回收。
[0007]本技术提供的回收装置包括多个相互套设环形回收组件，其中，环形回收组件包括壳体、第一导流组件和第二导流组件。其中，壳体包括工作腔，以实现将第一导流组件和第二导流组件设置在工作腔内。进一步地，第一导流组件设置在工作腔内，以形成第一通道，由于回收装置包括多个相互套设环形回收组件，这样，壳体的工作腔内设置有多条第一通道。同时，第二导流组件设置在工作腔内，以形成第二通道，由于回收装置包括多个相互套设环形回收组件，这样，壳体的工作腔内设置有多条第二通道。其中，第一通道和第二通道均为环形通道，环形通道能够起到包裹作用，有效防止气体或液体飞溅或流出，有利于废气或废液的导出。且第一通道和第二通道之间相互独立设置，以实现第一通道与第二通道互不干扰，独立运行，实现废液与废气的同时独立回收。这样，回收装置在回收废气和废液的过程中，通过第一通道对废气进行回收，通过第二通道对废液进行回收，由于第一通道和第二通道独立设置，这样废气和废液会单独进行回收，避免气液混合物在回收装置内混杂在一起，无法回收利用。并且，由于回收装置包括多个相互套设环形回收组件，环形回收组件中包括多个第一通道和多个第二通道，因此，通过在壳体的工作腔设置多条第一通道和多条第二通道，即设置多重气液回收装置，能够根据不同的工序使用不同的气液回收通道，实现了不同工序的废液、废气的分开收集及排放，实现不同成分的气液回收，提高了回收气液的利用率，降低了加工的生产成本。
[0008]根据本技术上述技术方案的回收装置，还可以具有以下附加技术特征：
[0009]在上述技术方案中，进一步地，第一导流组件还包括：第一导流板，第一导流板设置于壳体的内壁上，第一导流板与壳体的内壁围设出第一通道。
[0010]在该技术方案中，第一导流组件还包括第一导流板。其中，第一导流板设置在壳体的内壁上，即第一导流板与壳体内壁相连接，并且第一导流板与壳体的内壁之间围设出第一通道，以实现回收装置在工作过程中，通过第一通道对工序中产生的废气进行收集和排放。使废气可以及时被完全回收，避免废气对后道工序产生影响，提高使用回收装置的安全性和可靠性。
[0011]在上述任一技术方案中，进一步地，第二导流组件还包括：第二导流板，第二导流板设置于壳体内，位于第一导流板的下方，第二导流板与第一导流板之间围设出第二通道。
[0012]在该技术方案中，第二导流组件还包括第二导流板。其中，第二导流板设置在壳体内，并且位于第一导流板的下方，这样，第二导流板、壳体与第一导流板之间围设出第二通道。以实现回收装置在工作过程中，通过第二通道对工序中产生的废液进行收集和排放。使废液能够及时被完全回收，避免废液对后道工序产生影响，提高使用回收装置的安全性和可靠性。
[0013]在上述任一技术方案中，进一步地，第二导流板上开设有多个凹槽，第一导流板和第二导流板固定连接，第一导流板与凹槽构成第二通道。
[0014]在该技术方案中，通过在第二导流板上开设有多个凹槽，再通过第一导流板和第二导流板固定连接，以实现第一导流板与凹槽形成第二通道。这样，利用第一导流板与凹槽构成第二通道对废液进行回收，进而实现对多重工序的废液分开进行收集，提高单独回收废液的利用价值。
[0015]在上述任一技术方案中，进一步地，第二导流组件还包括承液台，承液台与第二导流板固定连接，用于将承载的废液导流至第二通道。
[0016]在该技术方案中，设置第二导流组件还包括承液台，其中，承液台与第二导流板固定连接，以实现通过承液台将承液台承载的废液导流至第二通道。这样，能够有效的将清洗过程中产生的废液导流到第二通道，实现对多重工序的废液分开进行收集，提高单独回收废液的利用价值。
[0017]在上述任一技术方案中，进一步地，第二导流板的数量为多个，相邻两个第二导流板之间围设出多个第二通道。
[0018]在该技术方案中，通过设置第二导流板的数量为多个，以实现相邻两个第二导流板之间围设出多个第二通道。这样，利用在壳体的工作腔内设置多重第二通道，通过多重第二通道以实现对多重工序的废液分开进行收集，提高单独回收废液的利用价值。
[0019]在上述任一技术方案中，进一步地，第一导流板的数量为多个；其中，多个第一导流板与多个第二导流板依次交替间隔设置，以形成多个第一通道和多个第二通道。
[0020]在该技术方案中，通过设置第一导流板和第二导流板的数量为多个，且多个第一导流板与多个第二导流板依次交替间隔设置，以实现回收装置中包含多个第一通道和多个第二通道。其中，第一通道和第二通道均为环形通道，环形通道能够起到包裹作用，有效防止气体或液体飞溅或流出，有利于废气或废液的导出。且第一通道和第二通道之间相互独立设置，这样，利用在壳体环形结构的工作腔内设置多重第一通道和多重第二通道，以实现对多道工序的不同成分的废液和废气的分别回收，提高单独回收废液、废气的利用价值。
[0021]具体地，设置第一导流板和第二导流板的数量为多个，以在壳体的工作腔体内形成多个第一通道和多个第二通道，其中，第一通道和第二通道均为环形通道，且第一通道和第二通道之间相互独立设置，这样回收装置设置为多重废液分开收集，多重废气分开收集的回收装置，通过这样的设置，能够将多道工序的不同成分的废液和废气的分别进行回收，解决了现有技术中，由于无法准确回收工艺工序产生的废液、废气，导致不同的气液混杂在一起，造成人员或机台的伤害，以及增加处理回收气体的难度的问题。提高了回收废气和废液的利用率，以及提升了回收装置使用安全性和可靠性。
[0022]在上述任一技术方案中，进一步地，第一导流组件还包括：出气接头，出气接头设置于壳体的外壁上，出气接头与第一通道的出气端相连通；风机组件，风机组件与出气接头相连接，用于吸取气体；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种回收装置，其特征在于，包括：多个相互套设环形回收组件，所述环形回收组件包括：壳体，所述壳体包括工作腔；第一导流组件，设置于所述工作腔内，所述第一导流组件包括第一通道；第二导流组件，设置于所述工作腔内，所述第二导流组件包括第二通道；其中，所述第一通道和所述第二通道为环形通道，所述第一通道和所述第二通道相互独立设置，所述第一通道用于对所述工作腔内的废气进行回收，所述第二通道用于对所述工作腔内的废液进行回收。2.根据权利要求1所述的回收装置，其特征在于，所述第一导流组件还包括：第一导流板，所述第一导流板设置于所述壳体的内壁上，所述第一导流板与所述壳体的内壁围设出所述第一通道。3.根据权利要求2所述的回收装置，其特征在于，所述第二导流组件还包括：第二导流板，所述第二导流板设置于所述壳体内，位于所述第一导流板的下方，所述第二导流板与所述第一导流板之间围设出所述第二通道。4.根据权利要求3所述的回收装置，其特征在于，所述第二导流板上开设有多个凹槽，所述第一导流板和第二导流板固定连接，所述第一导流板与所述凹槽构成第二通道。5.根据权利要求3所述的回收装置，其特征在于，所述第二导流组件还包括承液台，所述承液台与所述第二导流板固定连接，用于将承载的废液导流至所述第二通道。6.根据权利要求1至5中...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，谈丽文，成旭，申斌，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：