一种掩膜板甩干装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种掩膜板甩干装置，包括旋转机构，所述旋转机构包括驱动电机、旋转轴以及安装架；所述安装架安装于所述旋转轴上，具有多个围绕所述旋转轴并用于安装工件的安装位；所述驱动电机可通过其输出轴驱动所述安装架围绕着所述旋转轴的轴心方向旋转。本实用新型专利技术的掩膜板甩干装置，装置结构简单，运行稳定可靠，甩干效率高；通过驱动电机来驱动安装架围绕着旋转轴的轴心方向旋转，利用安装架旋转时产生离心力，通过离心力使掩膜板和晶片表面粘附残留的液体往外甩干。面粘附残留的液体往外甩干。面粘附残留的液体往外甩干。

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜板甩干装置


[0001]本技术属于掩膜板清理
，尤其涉及一种掩膜板甩干装置。

技术介绍

[0002]在真空镀膜过程中，晶片装入掩膜板后，通常需要使用湿法对掩膜板进行清洗，因此需要对清洗后的掩膜板和晶片表面残留的粘附液体进行清除。
[0003]而现有技术用于对掩膜板表面残留的粘附液体进行去除的装置主要采用酒精蒸汽方式或者加热氮气吹干方式；其中，采用酒精蒸汽方式时，酒精蒸气对操作员构成危害，同时酒精使用和蒸气排放亦不利环保；而采用加热氮气吹干方式，由于掩膜板是带夹层结构，晶片与掩膜板之间亦存在缝隙，在吹干过程中难以保证掩膜板夹层和缝隙内残留液体被充分有效去除。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于至少一定程度上解决现有技术中的不足，提供一种掩膜板甩干装置。
[0005]为实现上述目的，本技术提供了一种掩膜板甩干装置，包括旋转机构，所述旋转机构包括驱动电机、旋转轴以及安装架，所述安装架安装于所述旋转轴上，具有多个围绕所述旋转轴并用于安装工件的安装位；所述驱动电机可通过其输出轴驱动所述安装架围绕着所述旋转本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板甩干装置，其特征在于，包括旋转机构，所述旋转机构包括驱动电机、旋转轴以及安装架；所述安装架安装于所述旋转轴上，具有多个围绕所述旋转轴并用于安装工件的安装位；所述驱动电机可通过其输出轴驱动所述安装架围绕着所述旋转轴的轴心方向旋转。2.根据权利要求1所述的掩膜板甩干装置，其特征在于，所述安装架包括固定圆盘和多个支架，所述固定圆盘与所述旋转轴同轴固定连接，多个所述支架圆周均匀分布的安装在所述固定圆盘上，且每个支架上具有至少一个所述安装位。3.根据权利要求2所述的掩膜板甩干装置，其特征在于，所述输出轴的上端固定在所述固定圆盘的底部，所述旋转轴的下端固定在所述固定圆盘的顶部，且所述输出轴和所述旋转轴处于同一中心轴线上。4.根据权利要求2所述的掩膜板甩干装置，其特征在于，所述支架包括固定条和两个定位条，所述固定条的一端固定连接于所述固定圆盘，另一端沿所述固定圆盘的径向向外延伸，两个所述定位条间隔设置且下端垂直连接于所述固定条上，两个所述定位条的相对内侧分别开设有竖向的导向滑槽以形成所述安装位，以使所述掩膜板可呈竖直状态插入安装到所述安装位中。5.根据权利要求4所述的掩膜板甩干装置，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋振声，陈兴国，黄涛，蔡家坤，麦文泰，
申请(专利权)人：深圳市深汕特别合作区应达利电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：