【技术实现步骤摘要】
一种三辊金刚线多线切割机
[0001]本专利技术属于金刚线切割
，具体地说涉及一种三辊金刚线多线切割机。
技术介绍
[0002]晶硅切片领域向高切割效率、大片化、细线化、高速化、大装载量的方向发展，目前主要采用双主辊金刚线切割方式，大片化的需求使得切割辊的直径越来越大，增大了切割辊的转动惯量，影响切割辊同步控制的动态性能。同时，随着切割辊的直径增大，轴距随之增大，导致硅片切割质量下降。此外，在大装载量和切割效率提高的同时使得切削负荷不断增大，细线化和高速化导致金刚线可使用张力下降、同步控制困难。
[0003]申请号为CN201910969518.9，名称为金刚石多线电火花放电切削方法及线切割装置，在传统两辊切割方式下，增加第三辊(进电辊)为金刚线线网供电，金刚线经一侧排线轮、张力轮和导向轮，缠绕到两个加工辊，再经过导向轮、张力轮和排线轮，最后缠绕到另一侧收放线轮上。三辊式结构增大了切割空间，使得切割辊的直径可以小于被切割硅棒的直径，从而为减小转动惯量提供空间，但是，现有的复合加工方式存在以下问题：1、增设进电辊...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种三辊金刚线多线切割机，其特征在于，包括床身，所述床身上设有切割组件，所述切割组件包括三个辊体，且其中一个辊体相对于另外两个辊体倾斜设置，三个辊体所在区域形成切割室，且所述切割室的顶部具有用于进给待切割件的进给组件，所述床身上安装有并排设置的收线装置和放线装置，所述放线装置放出的金刚线依次通过三个辊体并在三个辊体上均匀缠绕形成线网后与收线装置连接。2.根据权利要求1所述的一种三辊金刚线多线切割机，其特征在于，所述三个辊体包括第一切割辊、第二切割辊及导电辊，所述第一切割辊、第二切割辊平行设置，所述导电辊在平面内倾斜的设置于第一切割辊、第二切割辊的下方，保证金刚线走线方向与导电辊表面的过渡线槽相契合。3.根据权利要求2所述的一种三辊金刚线多线切割机，其特征在于，所述导电辊的轴线与第一切割辊的轴线夹角为
ɑ
，且α>0
°
，所述过渡线网在平行线网所在面的投影与平行线网的夹角为β，且β>0
°
。4.根据权利要求3所述的一种三辊金刚线多线切割机，其特征在于，所述第一切割辊上开设与其轴线相垂直的第一线槽，所述第二切割辊上开设与其轴线相垂直的第二线槽，所述过渡线槽与导电辊的轴线相垂直。5.根据权利要求4所述的一种三辊金刚线多线切割机，其特征在于，所述第一线槽、第二线槽和过渡线槽均平行且等间隔的设有多个。6.根据权利要求5所述的一种三辊金刚线多线切割机，其特征在于，所述线网包括过渡线网以及用于形成切割区的平行线网，且过渡线网在平行线网所在面的投影与平行线网存在夹角。7.根据权利要求6所述的一种三辊金刚线多线切割机，其特征在于，金刚线首先导入第一线槽，然后倾斜导入过渡线槽，并经过渡线槽倾斜导入下一个第二线槽，金刚线经第二线...
【专利技术属性】
技术研发人员：仇健，张善保，葛任鹏，王海超，
申请(专利权)人：青岛高测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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