一种旋转取料装置及取料方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种旋转取料装置，包括转盘、安装在所述转盘上的若干取料组件和弹性元件，所述转盘由第一驱动机构驱动进行旋转运动；所述取料组件包括扩张块和取料元件，所述扩张块活动安装在转盘上，所述取料元件安装在所述扩张块的第一端部，所述第一端部远离所述转盘的中心；还包括推动件和第二驱动机构，所述推动件在第二驱动机构的驱动下与所述扩张块的接触端相抵并对所述扩张块施力，使所述扩张块沿所述转盘的径向方向移动扩张；所述弹性元件的一端与所述扩张块的第一端部相连，另一端与所述转盘相连，用于使处于扩张状态的所述扩张块自动复位。本发明专利技术另外公开一种取料方法，所述取料方法能够同时且不间断的取料、放料，工作效率高。效率高。效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种旋转取料装置及取料方法


[0001]本专利技术属于半导体检测
，具体涉及一种旋转取料装置及取料方法。

技术介绍

[0002]在半导体器件的生产过程中，需要经过多个工艺流程，半导体器件在各个工艺流程中的流转需要依赖于取料机构。取料机构用于吸取工件，并将工件交接给下游机构。
[0003]现有的取料机构是利用垂直位移模组带动取料部件向下移动并吸取工件，然后取料部件上升一定高度并旋转，等待机械手抓取取料部件取得的工件。上述取料机构必须在机械手取得工件之后才能重新下降进行下一次取料，取料和放料不能同时进行；其次，取料机构通过垂直位移模组往返于取料位和放料位之间，当取料位和放料位距离较大时，其移动需花费较多时间。因此，上述取料机构取料、放料节拍慢、效率低，不适用于对生产节拍要求较高的工艺流程。

技术实现思路

[0004]鉴于以上所述现有技术的不足，本专利技术的目的在于：本专利技术提供一种旋转取料装置，所述旋转取料装置可同时不间断的进行取料和放料，减少等待时间，加快取料节拍；本专利技术另外还提供一种取料方法，所述取料方法作业本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋转取料装置，其特征在于，包括转盘（1）、安装在所述转盘（1）上的若干取料组件（2）和弹性元件（4），所述转盘（1）由第一驱动机构驱动进行旋转运动；所述取料组件（2）包括扩张块（201）和取料元件（202），所述扩张块（201）活动安装在所述转盘（1）上，所述取料元件（202）安装在所述扩张块（201）的第一端部，所述第一端部远离所述转盘（1）的中心；还包括推动件（7）和第二驱动机构（6），所述推动件（7）在第二驱动机构（6）的驱动下与所述扩张块（201）的接触端相抵并对所述扩张块（201）施力，使所述扩张块（201）沿所述转盘（1）的径向方向移动扩张；所述弹性元件（4）的一端与所述扩张块（201）的第一端部相连，另一端与所述转盘（1）相连，用于使处于扩张状态的所述扩张块（201）自动复位。2.根据权利要求1所述的旋转取料装置，其特征在于，所述取料组件（2）设有多个，所述多个取料组件（2）围绕所述转盘（1）的中心排列。3.根据权利要求2所述的旋转取料装置，其特征在于，所述转盘（1）轴向方向上开设有供所述推动件（7）穿过的第一通孔，所述推动件（7）穿过所述第一通孔与至少一个扩张块（201）的接触端相抵。4.根据权利要求3所述的旋转取料装置，其特征在于，所述推动件（7）设有一个圆锥、圆柱或棱柱结构的推动端（701），所述推动端（701）同时与多个扩张块（201）的接触端相抵。5.根据权利要求2所述的旋转取料装置，其特征在于，所述推动件（7）位于所述扩张块（201）的侧方，所述推动件（7）具有多个与所述接触...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑海龙，肖治祥，朱涛，
申请(专利权)人：武汉精测电子集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：