硅片的制绒清洗方法及晶硅太阳能电池的制备方法技术

本发明专利技术涉及一种硅片的制绒清洗方法及晶硅太阳能电池的制备方法，包括如下步骤：将硅片依次进行粗抛处理、酸洗处理、第一碱洗处理、制绒处理、第二碱洗处理、圆滑处理、钝化处理及干燥处理；所述酸洗处理所用的酸洗液中含有臭氧、HCl和HF；所述第一碱洗处理所用的第一碱洗液中含有可溶性碱金属氢氧化盐和H2O2。本发明专利技术在粗抛处理和制绒处理之间，增加依次进行的酸洗处理和第一碱洗处理；二者组合可大大提高清洗效果，进而可省略后续圆滑处理和钝化处理之间的后清洗步骤，使得双氧水和盐酸的消耗量大大减少，节约了生产成本，同时工艺流程效率无明显差异。明显差异。明显差异。

【技术实现步骤摘要】
硅片的制绒清洗方法及晶硅太阳能电池的制备方法


[0001]本专利技术涉及晶硅太阳能电池
，特别是涉及一种硅片的制绒清洗方法及晶硅太阳能电池的制备方法。

技术介绍

[0002]晶硅太阳能电池是以硅片为基体材料的太阳能电池。将硅片制绒是制造晶硅电池的第一道工艺，又称“表面织构化”，有效的绒面结构可使入射光在硅片表面多次反射和折射，增加了光的吸收率，降低了反射率，有助于提高电池的性能。
[0003]异质结电池，又称HJT电池(Hereto
‑
junction with Intrinsic Thin
‑
layer)，被誉为PERC(Passivated Emitter and Rear Cell)之后最有前景的太阳能电池技术。相对于传统晶硅技术，由于非晶硅薄膜的引入，硅异质结太阳电池的晶硅衬底前后表面实现了良好的钝化，因而其表面钝化更趋完善。且非晶硅薄膜隔绝了金属电极与硅材料的直接接触，其载流子复合损失进一步降低，可以提升转换效率。
[0004]HJT电池有着高效率和高发电量的天然优势，和目前主本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片的制绒清洗方法，其特征在于，包括如下步骤：将硅片依次进行粗抛处理、酸洗处理、第一碱洗处理、制绒处理、第二碱洗处理、圆滑处理、钝化处理及干燥处理；所述酸洗处理所用的酸洗液中含有臭氧、HCl和HF；所述第一碱洗处理所用的第一碱洗液中含有可溶性碱金属氢氧化盐和H2O2。2.如权利要求1所述的制绒清洗方法，其特征在于，所述酸洗液中的臭氧的浓度为30～50ppm；和/或所述酸洗液中，HCl的质量浓度为0.02％～0.05％，HF的质量浓度为0.9％～1.2％。3.如权利要求1所述的制绒清洗方法，其特征在于，所述酸洗处理的温度为20～30℃，时间为180～280s，循环流量为30～40L/min。4.如权利要求1所述的制绒清洗方法，其特征在于，所述第一碱洗液中，所述可溶性碱金属氢氧化盐的质量浓度为0.9％～1.2％，H2O2的质量浓度为4％～5％。5.如权利要求1所述的制绒清洗方法，其特征在于，所述第一碱洗处理的温度为60～70℃，时间为210～280s，循环流量为35～45L/min。6.如权利要求1至5任一项所述的制绒清洗方法，其特征在于，所述粗抛处理所用的试剂为碱溶液；和/或所述粗抛处理的温度为75℃～90℃，时间为120s～200s，循环流量为30～40L/min。7.如权利要求1至5任一项所述的制绒清洗方法，其特征在于，所述制绒处理所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张乔林，周守亮，王永洁，余义，苏世杰，
申请(专利权)人：通威太阳能安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：