一种微纳多孔节流静压气浮止推轴承制造技术

本发明专利技术公开了一种微纳多孔节流静压气浮止推轴承装置，其特征在于：气浮止推轴承下表面布置一个或者多个微纳多孔节流器。微纳多孔节流器为薄片结构，厚度为0.1

【技术实现步骤摘要】
一种微纳多孔节流静压气浮止推轴承


[0001]本专利技术涉及一种微纳多孔节流静压气浮止推轴承，能够显著提高承载能力和稳定性，同时可以降低气浮止推轴承自激振动，主要应用于集成电路制造和精密光学等领域。

技术介绍

[0002]气浮止推轴承具有高速度、高精度、无摩擦发热和超洁净等优点，广泛应用于微纳加工与制造等领域。 然而，气体轴承存在承载力低、刚度弱和微振动等问题：一方面高速气体的湍流流动引发的微振动会影响超精密运动系统的动力学特性。另一方面，传统气浮支承阻尼弱，难以快速衰减外界扰动。 传统气浮止推轴承节流方式主要包括小孔节流，狭缝节流和多孔介质节流。狭缝节流对加工要求精度高，价格昂贵；多孔节流中的多孔材料小孔大小及分布均不理想，材料的差异性会导致气浮止推轴承的稳定性不一致。由此可见，小孔节流是传统气浮止推轴承的主要节流方式。 但是，随着超精密加工和超精密定位要求越来越苛刻，小孔节流存在的湍流自激振动逐渐制约超紧密加工和超精密定位的提升。因此，需要设计一种高稳定性且自激振动小的气体轴承。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微纳多孔节流静压气浮止推轴承，包括气浮止推轴承本体（1）、微纳多孔节流器（2）和基座（6），其特征在于：气浮止推轴承的本体（1）下表面和基座（6）的上表面均为光滑的平面，气浮止推轴承本体（1）设有气体通道（5），高压气体由进气口（6）通过气体通道（5）进入气腔（3），再通过微纳多孔节流器（2）中的微纳多孔（4），然后扩散到气浮止推轴承本体（1）下表面和基座（6）上表面之间的间隙（7），形成一层具有一定压力的气体润滑薄膜（8），气膜内的气体最后经外部边界排出，从而构成了静压气体润滑支承，实现被支承物体无刚性接触地悬浮。2.根据权利要求1所述的微纳多孔节流静压气浮止推轴承，其特征在于：气浮止推轴承本体（1）的下表面和基座（6）的上表面为光滑的平面。3.根据权利要求1所述的微纳多孔节流静压气浮止推轴承，其特征在于：气浮止推轴承本体（1）的横截面积可以采用圆形、矩形、三角形、正方形等。4.根据权利要求1所述的微纳多孔节流静压气浮止推轴承，其特征在于：气浮止推轴承本体（1）的微纳多孔（4）的分布可以采用十字型、米字形...

【专利技术属性】
技术研发人员：于普良，胡回，罗强，夏巨兴，姜庆，
申请(专利权)人：武汉科技大学，
类型：发明
国别省市：