一种增大MEMS
【技术实现步骤摘要】
一种增大MEMS-OCT扫描成像视场角的探头
[0001]本专利技术涉及的是一种增大MEMS-OCT扫描成像视场角的探头，属于医疗机械领域。
技术介绍
[0002]光学相干断层扫描技术（Optical Coherence Tomography， OCT）是近年来新兴的一种医学成像技术，它具有无损伤、非介入和高分辨率等优点，且已经广泛应用于眼科、皮肤等体外疾病的诊断。为实现体内组织成像，现有技术（CN103040428B）已经公开了一种微机电系统（MEMS）与光学相干断层扫描技术相结合的微型化OCT内窥扫描探头(外径≤5mm)，实现了OCT在人体内多种内脏器官或内部组织的无创检测。而现有MEMS-OCT因受到探头整体尺寸的限制，MEMS微镜的扫描范围比较有限，限制了MEMS-OCT的视场范围，且OCT探头中的MEMS微镜暴露在空气中，会因水汽的毛细凝聚作用容易发生断裂。
技术实现思路
[0003]本专利技术所解决的技术问题是现有MEMS-OCT探头扫描视场小的技术问题。
[0004]本专利技术采用的技术方案：一种增大MEMS-OCT扫描成像视场角的前扫探头，包括光纤1、透镜2、反射器件3、MEMS微镜4、第一光学窗口5-1和密闭腔室6，密闭腔室6内填充有液态物质7，MEMS微镜4浸入液态物质7内，光纤1出射的光线依次通过透镜2、反射器件3、MEMS微镜4，经液态物质7到达第一光学窗口5-1折射后射出。
[0005]优选地，所述液态物质7是液体或者液体和纳米材料的混合物。
[0006]一种增大MEMS-OCT扫描成像视场角的侧扫探头，其特征在于包括光纤1、透镜2、MEMS微镜4、第二光学窗口5-2和密闭腔室6，密闭腔室6内填充有液态物质7，MEMS微镜4浸入液态物质7内，光纤1出射的光线依次通过透镜2和MEMS微镜4，经液态物质7到达第二光学窗口5-2折射后射出。
[0007]优选地，还包括MEMS封装体8，该侧扫探头的前端和MEMS封装8作为所述密闭腔室6的侧壁。
[0008]优选地，所述液态物质7是液体或者液体和纳米材料的混合物。
[0009]优选地，所述液态物质7包括第一液态物质7-1和第二液态物质7-2，其中第一液态物质7-1和第二液态物质7-2互不相溶。
[0010]优选地，所述密闭腔室6内的液态物质7不填满。
[0011]优选地，所述密闭腔室6位于该侧扫探头内，密闭腔室6上有供光线射入和射出的第三光学窗口5-3和第四光学窗口5-4。
[0012]本专利技术的优点：本专利技术的专利技术点是通过液体的折射效应，既提高MEMS探头的扫描视场，同时又通过液体的阻尼效应保护MEMS微镜。
附图说明
[0013]图1是一种增大MEMS-OCT扫描成像视场角的前扫探头结构示意图1。
[0014]图2是一种增大MEMS-OCT扫描成像视场角的前扫探头结构示意图2。
[0015]图3是图2的前扫探头成像视场角的原理示意图。
[0016]图4是现有MEMS-OCT前扫探头成像的原理示意图。
[0017]图5是一种增大MEMS-OCT扫描成像视场角的侧扫探头结构示意图1。
[0018]图6是一种增大MEMS-OCT扫描成像视场角的侧扫探头结构示意图2。
[0019]图7是图6成像视场角的原理示意图。
[0020]图8是现有MEMS-OCT侧扫探头成像的原理示意图。
[0021]图9是液态物质未填满密闭腔室状态1。
[0022]图10是液态物质未填满密闭腔室状态2。
[0023]图11是液态物质为两种互不相容的混合液体状态1。
[0024]图12是液态物质为两种互不相容的混合液体状态2。
[0025]图13是仅将MEMS微镜密封的状态图1。
[0026]图14是仅将MEMS微镜密封的状态图2。
[0027]图中，1是光纤，2是透镜，3是反射器件，4是MEMS微镜，5-1是第一光学窗口，5-2是第二光学窗口，5-3是第三光学窗口，5-4是第四光学窗口，6是密闭腔室，7是液态物质，7-1是第一液态物质，7-2是第二液态物质，8是MEMS封装体。
具体实施方式
[0028]一种增大MEMS-OCT扫描成像视场角的前扫探头，包括光纤1、透镜2、反射器件3、MEMS微镜4、第一光学窗口5-1和密闭腔室6，密闭腔室6内填充有液态物质7，MEMS微镜4浸入液态物质7内，光纤1出射的光线依次通过透镜2、反射器件3、MEMS微镜4，经液态物质7到达第一光学窗口5-1折射后射出。
[0029]优选地，所述液态物质7是液体或者液体和纳米材料的混合物。
[0030]一种增大MEMS-OCT扫描成像视场角的侧扫探头，其特征在于包括光纤1、透镜2、MEMS微镜4、第二光学窗口5-2和密闭腔室6，密闭腔室6内填充有液态物质7，MEMS微镜4浸入液态物质7内，光纤1出射的光线依次通过透镜2和MEMS微镜4，经液态物质7到达第二光学窗口5-2折射后射出。
[0031]优选地，还包括MEMS封装体8，该侧扫探头的前端和MEMS封装8作为所述密闭腔室6的侧壁。
[0032]优选地，所述液态物质7是液体或者液体和纳米材料的混合物。
[0033]优选地，所述液态物质7包括第一液态物质7-1和第二液态物质7-2，其中第一液态物质7-1和第二液态物质7-2互不相溶。
[0034]优选地，所述密闭腔室6内的液态物质7不填满。
[0035]优选地，所述密闭腔室6位于该侧扫探头内，密闭腔室6上有供光线射入和射出的第三光学窗口5-3和第四光学窗口5-4。
[0036]实施例1如图1-图4所示，一种增大MEMS-OCT扫描成像视场角的前扫探头，包括光纤1、透镜2、反射器件3、MEMS微镜4、第一光学窗口5-1和密闭腔室6，密闭腔室6内填充有液态物质7，MEMS微镜4浸入液态物质7内，光纤1出射的光线依次通过透镜2、反射器件3、MEMS微镜4，经液态
物质7到达第一光学窗口5-1折射后射出。
[0037]其中，MEMS微镜4使用电热驱动，其驱动方式参考专利（CN201210363551.5），反射器件3是反射镜。液态物质7是液体或者液体和纳米材料的混合物，液体可以是甘油（1.4730）、矿物油（1.467)、橄榄油（1.4763）、甲基硅油（1.410）、茚（1.5764）的一种，纳米材料可以是二氧化钛、二氧化锆（1.525），增加纳米材料的目的是减少黏度对MEMS微镜的影响。
[0038]其中，封闭腔室6由MEMS封装体8、前扫探头的侧壁和第一光学窗口5-1围成。光纤1穿过MEMS封装体8。
[0039]具体原理是：探头是一个密封的管壳，填充了液体或者液体和纳米材料的混合物。光纤1出射的光束经透镜2聚焦后进入液体7并通过反射镜3反射后，入射到以45
°
倾斜的MEMS微镜4镜面上，MEMS微镜4再将光线反本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种增大MEMS-OCT扫描成像视场角的前扫探头，其特征在于包括光纤（1）、透镜（2）、反射器件（3）、MEMS微镜（4）、第一光学窗口（5-1）和密闭腔室（6），密闭腔室（6）内填充有液态物质（7），MEMS微镜（4）浸入液态物质（7）内，光纤（1）出射的光线依次通过透镜（2）、反射器件（3）、MEMS微镜（4），经液态物质（7）到达第一光学窗口（5-1）折射后射出。2.根据权利要求1所述的一种增大MEMS-OCT扫描成像视场角的前扫探头，其特征在于所述液态物质（7）是液体或者液体和纳米材料的混合物。3.一种增大MEMS-OCT扫描成像视场角的侧扫探头，其特征在于包括光纤（1）、透镜（2）、MEMS微镜（4）、第二光学窗口（5-2）和密闭腔室（6），密闭腔室（6）内填充有液态物质（7），MEMS微镜（4）浸入液态物质（7）内，光纤（1）出射的光线依次通过透镜（2）和MEMS微镜（4），经液态物质（7）到达第二光学窗口（5-2）折射后射出。4.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：安妍，谢会开，赵晖，
申请(专利权)人：佛山光微科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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