一种微线齿轮微细电解加工平台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种微线齿轮微细电解加工平台。该加工平台包括大理石基座、XY轴位移台、Z轴升降台、旋转主轴、主轴导电装置、电解加工槽、循环冲液系统、显微镜模块、控制系统、脉冲电源、加工过程监测系统。该平台的电极工具接脉冲电源负极，工件接脉冲电源正极，电解加工过程中，循环冲液系统将电解液输送在电极工具与工件的加工间隙中，旋转主轴带动电极工具高速旋转，用显微镜和加工过程监测系统进行对刀和观察加工情况，通过三个方向上的高精度位移实现加工。利用本微细电解加工平台进行加工，能够有效减少电解加工过程中的杂散腐蚀，可实现直槽、环槽、微线齿轮等微结构的微细电解加工，并且能够达到微米甚至亚微米级别加工精度。精度。精度。

【技术实现步骤摘要】
一种微线齿轮微细电解加工平台


[0001]本技术涉及一种微线齿轮微细电解加工平台，属于电化学加工领域。

技术介绍

[0002]微细电解加工是基于电化学反应使阳极工件发生溶解以加工微结构的一种加工方式。微细电解加工适用于任何导电材料的高精度加工，加工电极工具无损耗，被加工工件物理化学性能良好，加工精度高；可以加工特殊几何形状和复杂表面轮廓的零件，易于实现加工过程自动化和智能化控制。
[0003]线齿轮是根据空间共轭曲线啮合原理而设计的一类齿轮。线齿轮传动的本质是一对空间共轭曲线终始保持点接触状态的连续啮合过程，由于线齿的理论齿形是“线”，所以理论上线齿轮的尺度可以做到无限小，易于微小化和纳米化。
[0004]采用激光烧蚀加工的微线齿轮，存在热变形、表面重铸层及飞溅颗粒等缺陷，因此，需要设计一种能够加工出足够精度微线齿轮的微细电解加工平台。

技术实现思路

[0005]针对目前微线齿轮的高精密制造难题，本技术提供一种微线齿轮微细电解加工平台，能够通过控制电极工具与加工工件的三维移动，加工出高精密的空间曲线结构微三维形貌。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微线齿轮微细电解加工平台，其特征在于：包括大理石基座（1）、XY轴位移台、Z轴升降台（2）、主轴Z字支撑架（6）、旋转主轴（9）、主轴导电装置（18）、电解加工槽（5）、循环冲液系统、电源和控制系统；所述XY轴位移台包括Y轴位移台（3）和X轴位移台（4）；所述大理石基座（1）上设置有Y轴位移台（3）、X轴位移台（4）、Z轴升降台（2）与循环冲液系统，所述XY轴位移台上设置有电解加工槽（5），工件（7）固定在电解加工槽（5）上，Z轴升降台（2）上设有旋转主轴（9）；所述旋转主轴（9）下方连接有电极工具（8）；通过控制系统用于控制XY轴位移台和Z轴升降台（2），所述电源的正负极分别与工件（7）和电极工具（8）连接；所述旋转主轴通过主轴（9）通过主轴Z字支撑架（6）和Z轴升降台（2）相连；所述主轴导电装置（18）和主轴Z字支撑架（6）相连。2.根据权利要求1所述微线齿轮微细电解加工平台，其特征在于：所述XY轴位移台通过螺钉固定在大理石基座（1）上；所述Z轴升降台（2）和Z轴安装板（17）连接，再和大理石基座（1）固定。3.根据权利要求1所述微线齿轮微细电解加工平台，其特征在于：所述电源为脉冲电源（12）；加工时，脉冲电源阴极连接电极工具，阳极连接加工工件，通过循环冲液系统将电解液以0.25m/s的速度输送在电极工具与加工工件的间隙中，阴极、阳极与离子溶液形成通路；所述脉冲电源为高频窄脉宽脉冲电源，所述电极工具（8）为柱状电极（24），尖端部分尺寸在10μm~100μm。4.根据权利要求3所述微线齿轮微细电解加工平台，其特征在于：所述电解液为15g/L~30g/L的硝酸钠溶液或者0.1mol/L~0.3mol/L的稀硫酸溶液。5.根据权利要求1所述微线齿轮微细电解加工平台，其特征在于：所述循环冲液系统由电解液池、水...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈扬枝，肖海飞，曾昭呼，肖小平，
申请(专利权)人：华南理工大学，
类型：新型
国别省市：