电激元器件光信号采集装置、光参数测试装置及设备、光参数测试方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种电激元器件光信号采集装置。所述电激元器件光信号采集装置包括，固定连接于机架的测试电极，用于对电激元器件导通电流；支撑部，沿第一方向正对应所述测试电极并沿第一方向运动连接于所述测试电极；采用将电激元器件主动靠近测试电极并导入电荷的方式，便于保证电激元器件相对于测试电极的平整度，从而保证测试的准确度。从而保证测试的准确度。从而保证测试的准确度。

【技术实现步骤摘要】
电激元器件光信号采集装置、光参数测试装置及设备、光参数测试方法
[0001]

[0002]本专利技术涉及电激元器件光信号采集装置、光参数测试装置及设备、光参数测试方法。

技术介绍

[0003]电激元器件是指利用电能实现特定功能的零部件、装置或设备；对于具有光功能的电激元器件的光信号测试，需要将电激元器件导通电流，再收集其发出的光线。
[0004]LED芯粒为利用电能发光的电极元器件，常规的测试为将LED芯粒粘附于蓝膜，将该蓝膜粘附有LED芯粒的区域贴附于水平设置的载片台；但是，随着LED晶圆尺寸越来越大，LED芯粒粘附于蓝膜的面积越来越大，造成承载载片台的面积需要设置得更大，使载片台平整度加工难度增大；同时，LED芯粒越来越小，载片台的平整度需要继续提高，以保证LED芯粒的测试准确性。
[0005]常规对电激元器件进行测试，采用测试电极主动抵靠电激元器件的焊盘；对于大量电激元器件的测试难以保证所有电激元器件相对于测试电极的平整，从而影响测试。

技术实现思路

[0006]为至少部分解决上述技术问题，本专利技术提出一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电激元器件光信号采集装置，其特征在于：固定连接于机架的测试电极，用于对电激元器件导通电流；支撑部，沿第一方向正对应所述测试电极并沿第一方向运动连接于所述测试电极。2.根据权利要求1所述的电激元器件光信号采集装置，其特征在于：所述电激元器件光信号采集装置包括第一光信号采集部，所述第一光信号采集部 正对应所述电激元器件发光侧设置。3.根据权利要求2所述的电激元器件光信号采集装置，其特征在于：所述第一光信号采集部为设置有收光口的积分球，光线通过收光口进入积分球，所述收光口朝向支撑部；所述支撑部包括导光部，所述导光部设置于积分球和测试电极之间；导光部的出光口连通于积分球的收光口；所述导光部运动连接于积分球。4.根据权利要求3所述的电激元器件光信号采集装置，其特征在于：所述导光部包括，导光管，所述导光管的一端为出光口；以及与所述导光管连接的透光止抵部，所述透光止抵部的一端连通于出光口，所述透光止抵部的面积小于出光口面积。5.根据权利要求4所述的电激元器件光信号采集装置，其特征在于：所述导光管穿过收光口伸入积分球内部。6.根据权利要求4所述的电激元器件光信号采集装置，其特征在于：所述导光管设置有导光通道，所述导光通道一端连接于透光止抵部，所述导光通道远离透光止抵部的一端为出光口。7.根据权利要求6所述的电激元器件光信号采集装置，其特征在于：所述导光通道内壁粘附有漫反射涂层。8.根据权利要求6所述的电激元器件光信号采集装置，其特征在于：所述导光通道为从靠近透光止抵部到出光口逐渐变大的喇叭口状结构。9.根据权利要求3所述的电激元器件光信号采集装置，其特征在于：所述导光部与积分球之间通过滑轨滑槽连接。10.根据权利要求9所述的电激元器件光信号采集装置，其特征在于：所述滑轨滑槽限定的直线运动方向平行于导光部中光线传输方向。11.根据权利要求4所述的电激元器件光信号采集装置，其特征在于：导光部的出光口正对应积分球的收光口。12.根据权利要求11所述的电激元器件光信号采集装置，其特征在于：所述导光部的出光口面积小于积分球的收光口面积。13.一种光参数测试装置，其特征在于：所述光参数测试装置包括权利要求1-12任意一项所述的电激元器件光信号采集装置，以及通过光纤连接于所述电激元器件光信...

【专利技术属性】
技术研发人员：韦日文，杨应俊，沈杰，刘振辉，
申请(专利权)人：矽电半导体设备深圳股份有限公司，
类型：发明
国别省市：