【技术实现步骤摘要】
氢回收及纯化系统
[0001]本技术涉及一种氢回收及纯化系统,特别是一种包含聚合物膜纯化装置及钯膜纯化装置的氢回收及纯化系统。
技术介绍
[0002]针对金属有机化学气相沉积(Metal organic chemical vapor deposition,MOCVD)程序中所产生的废气,现有技术先使用局部湿式洗涤器(local wet scrubber)处理,然后再用中央湿式洗涤器(central wet scrubber)处理,再用空气稀释,并将其释放到大气中。
[0003]上述方法的缺点在于,所有在MOCVD程序中使用的氢气(H2)都将随着废气排放,无法藉由回收及纯化而再次利用。而氢的生产主要基于蒸汽
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甲烷重整程序,该程序需要使用天然气,且因此导致CO和温室气体CO2的释放。
[0004]如上所述,氢的生产程序是不环保的,因此,有必要提供一种氢回收及纯化系统,藉由回收及纯化氢,来减少对于氢的生产的需求,以减少对于环境的影响。
技术实现思路
[0005]有鉴于上述现有技术的不 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种氢回收及纯化系统,其特征在于,包含:预处理装置;聚合物膜纯化装置,其与该预处理装置流体连接;第二气体压缩装置,其与该聚合物膜纯化装置流体连接;以及钯膜纯化装置,其与该第二气体压缩装置流体连接。2.根据权利要求1所述的氢回收及纯化系统,其特征在于,进一步包含:第一气体压缩装置,其与该预处理装置流体连接;以及第三气体压缩装...
【专利技术属性】
技术研发人员:柯亚瑟,庄雅洁,简调源,
申请(专利权)人:镫锋绿能科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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