本实用新型专利技术提供一种等离子去胶机的加热装置，包括底台；所述底台为矩形结构，底台顶部四周侧立面处固定连接有四组侧壁；所述前端侧壁内部固定连接有控制部；所述控制部后端固定连接有温度传感器；所述底台顶面固定连接有加热管，加热管电性与控制部相连接；顶液压缸伸缩部向下平移过程中，承接圆板顶部的四组垂直杆可以带动杆顶端固定的铰接件向下平移，四组铰接件向下平移可带动其顶部铰连接的L型架底部突出部以其拐角处为圆心向下翻转，从而可以使L型架顶部弧形侧槽向内侧并拢，从而对到达额定高度的晶圆外曲侧面进行夹持固定，从而可以使晶圆顶面与底面悬空，在加热过程中可以防止因其顶面与底面与外物接触造成受热不均。止因其顶面与底面与外物接触造成受热不均。止因其顶面与底面与外物接触造成受热不均。
【技术实现步骤摘要】
一种等离子去胶机的加热装置
[0001]本技术属于光刻胶去胶
，更具体地说，特别涉及一种等离子去胶机的加热装置。
技术介绍
[0002]通过高频信号发生器产生高频信号，使石英管内形成强的电磁场，使氧气电离，形成等离子体辉光柱，活化氧可以迅速地将聚酰亚胺膜氧化成为可挥发性气体，被机械泵抽走，这样就把硅片上的聚酰亚胺膜去除，等离子去胶过程中需要对晶圆周围空气进行加热。
[0003]如公开号为：CN211017022U的专利中，公开了了一种等离子去胶机的加热盘，解决了目前现有的常用的加热盘为平坦式与沟槽式，平坦式由于加热盘与晶圆的背面直接接触，导致晶圆受热过快，使刻蚀光刻胶的均匀度较差，沟槽式加热盘的表面具有多个沟槽，晶圆受热应力影响会发生断裂，尤其是弯曲晶圆，更易断裂的问题，其包括盘体，所述盘体内侧开设有加热槽，盘体内位于加热槽下方设有加热层，加热槽内固定安装有数量为四组的支撑杆，支撑杆上端固定安装有支撑导热块，加热槽内活动放置有晶圆，晶圆与支撑导热块活动连接，盘体上面位于加热槽上方固定安装有保温罩；本技术整个的晶圆会保持受热平衡，这样晶圆表面可以去胶均匀。
[0004]基于上述，传统的等离子去胶机的加热装置主要为盘形结构，一般未设置可以对晶圆曲侧面进行夹持固定的结构，不能使晶圆顶面与底面悬空，不能避免在加热过程中可以防止因晶圆顶面与底面与外物接触造成受热不均情况的发生，未设置可以使加热去胶后的晶圆便捷自动托运出去胶机的装置的结构。
技术实现思路
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供一种等离子去胶机的加热装置，以解决传统的等离子去胶机的加热装置主要为盘形结构，一般未设置可以对晶圆曲侧面进行夹持固定的结构，不能使晶圆顶面与底面悬空，不能避免在加热过程中可以防止因晶圆顶面与底面与外物接触造成受热不均情况的发生，未设置可以使加热去胶后的晶圆便捷自动托运出去胶机的装置的结构的问题。
[0006]本技术一种等离子去胶机的加热装置的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：
[0007]一种等离子去胶机的加热装置，包括底台；
[0008]所述底台为矩形结构，底台顶部四周侧立面处固定连接有四组侧壁；所述四组侧壁顶部固定连接有矩形顶板，矩形顶板中部垂直贯穿有顶滑槽；所述侧壁左侧顶部固定连接有延伸部；所述底台左端侧壁内部水平方向贯穿有出料槽，出料槽内部通过铰连接设置有箱门；
[0009]所述前端侧壁内部固定连接有控制部；
[0010]所述控制部后端固定连接有温度传感器；
[0011]所述底台顶面固定连接有加热管，加热管电性与控制部相连接；
[0012]所述底台顶部设置有去胶承接结构。
[0013]进一步的，所述去胶承接结构包括：
[0014]顶液压缸，顶液压缸通过滑动连接设置于顶滑槽上方，其伸缩杆曲侧面位于顶滑槽内侧；
[0015]一级支架，一级支架固定连接于顶液压缸伸缩杆底部，一级支架为“工”字型结构。
[0016]进一步的，所述去胶承接结构还包括：
[0017]承接条，承接条数量设置为四组，其每两组固定连接于一级支架左右两侧底端；
[0018]圆槽，圆槽固定连接于承接条顶部。
[0019]进一步的，所述去胶承接结构还包括：
[0020]往复丝杠，往复丝杠固定连接于右端侧壁右端立面处；
[0021]推杆，推杆右端固定连接于往复丝杠滚珠螺母座左侧立面处，推杆左端与顶液压缸右侧立面相固定。
[0022]进一步的，所述去胶承接结构还包括：
[0023]弧形瓣，弧形瓣固定连接于底台顶端处，弧形瓣数量设置为六组；
[0024]进一步的，所述去胶承接结构还包括：
[0025]底液压缸，底液压缸数量设置为六组，底液压缸固定连接于底台底端；
[0026]承接圆板，承接圆板固定连接于底液压缸伸缩部顶端；
[0027]垂直杆，垂直杆数量设置为四组，其固定连接于承接圆板顶端。
[0028]进一步的，所述去胶承接结构还包括：
[0029]铰接件，铰接件固定连接于垂直杆顶端；
[0030]L型架，L型架底部突出部末端通过铰连接设置于铰接件顶部，其底部拐角处通过铰连接设置于弧形瓣内侧立面处。
[0031]进一步的，所述去胶承接结构还包括：
[0032]弧形侧槽，弧形侧槽固定连接于L型架顶部侧立面处；
[0033]底承接槽，底承接槽固定连接于L型架顶端处。
[0034]本技术至少包括以下有益效果：
[0035]1、本技术通过设置L型架，将晶圆放置在两组承接条顶部的圆槽内侧后，通过控制部按键控制往复丝杠运转，可以使往复丝杠内部滚珠螺母座侧面固定的推杆带动顶液压缸沿顶滑槽向右侧平移，可以使顶液压缸伸缩部底端的承接条向右侧平移至底台正上方，通过控制部控制顶液压缸伸缩部向下延伸，可以使晶圆垂直下降，当晶圆垂直下降至额定高度时，通过控制部控制底液压缸同步运行，可以使其伸缩部向下收缩，在其伸缩部向下收缩过程中，可以带动顶部的承接圆板向下垂直平移，向下平移过程中承接圆板顶部的四组垂直杆可以带动杆顶端固定的铰接件向下平移，四组铰接件向下平移可带动其顶部铰连接的L型架底部突出部以其拐角处为圆心向下翻转，从而可以使L型架顶部弧形侧槽向内侧并拢，从而对到达额定高度的晶圆外曲侧面进行夹持固定，从而对晶圆进行自动夹持固定，通过控制部控制顶液压缸伸缩部持续向下延伸，可以使承接条持续下降至晶圆下方，可以使承接条顶面与晶圆底面脱离接触，从而可以使晶圆顶面与底面悬空，在加热过程中可以防止因其顶面与底面与外物接触造成受热不均。
[0036]2、本技术通过设置顶液压缸，通过其与底液压缸配合，在加热去胶结束后，通过控制部控制顶液压缸伸缩部向上收缩，可以使承接条向上平移至晶圆底部，通过控制部同步控制底液压缸伸缩部向上抬升，可以解除L型架顶部对晶圆曲侧面的夹持固定，可以使晶圆进入承接条顶部的圆槽内侧，通过控制部控制顶液压缸与往复丝杠配合，可以使加热去胶后的晶圆便捷自动托运出去胶机的装置。
附图说明
[0037]图1是本技术整体的立体结构示意图。
[0038]图2是本技术加热管的立体结构示意图。
[0039]图3是本技术中一级支架的立体结构示意图。
[0040]图4是本技术中弧形瓣的侧剖面立体结构示意图。
[0041]图5是本技术图4中A的局部放大示意图。
[0042]图中，部件名称与附图编号的对应关系为：
[0043]1、底台；
[0044]101、侧壁；102、顶滑槽；103、延伸部；104、出料槽；
[0045]2、控制部；
[0046]201、温度传感器；
[0047]3、顶液压缸；
[0048]301、一级支架；302、承接条；303、圆槽；304、往复丝杠；3041、推杆；
[0049本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种等离子去胶机的加热装置，其特征在于：包括底台(1)；所述底台(1)为矩形结构，底台(1)顶部四周侧立面处固定连接有四组侧壁(101)；四组所述侧壁(101)顶部固定连接有矩形顶板，矩形顶板中部垂直贯穿有顶滑槽(102)；所述侧壁(101)左侧顶部固定连接有延伸部(103)；所述底台(1)左端侧壁(101)内部水平方向贯穿有出料槽(104)，出料槽(104)内部通过铰连接设置有箱门；前端所述侧壁(101)内部固定连接有控制部(2)；所述控制部(2)后端固定连接有温度传感器(201)；所述底台(1)顶面固定连接有加热管(4)，加热管(4)电性与控制部(2)相连接；所述底台(1)顶部设置有去胶承接结构。2.如权利要求1所述一种等离子去胶机的加热装置，其特征在于，所述去胶承接结构包括：顶液压缸(3)，顶液压缸(3)通过滑动连接设置于顶滑槽(102)上方，其伸缩杆曲侧面位于顶滑槽(102)内侧；一级支架(301)，一级支架(301)固定连接于顶液压缸(3)伸缩杆底部，一级支架(301)为“工”字型结构。3.如权利要求2所述一种等离子去胶机的加热装置，其特征在于，所述去胶承接结构还包括：承接条(302)，承接条(302)数量设置为四组，其每两组固定连接于一级支架(301)左右两侧底端；圆槽(303)，圆槽(303)固定连接于承接条(302)顶部。4.如权利要求3所述一种等离子去胶机的加热装置，其特征在于，所述去胶承接结构还包括：往复丝杠(30...
【专利技术属性】
技术研发人员：程书萌，刘婷婷，
申请(专利权)人：苏州芯德瑞思电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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