升降机构以及承接装置制造方法及图纸

一种升降机构以及承接装置，其中所述升降机构包括：至少两个支撑板，与安装板相连，且至少两个支撑板的顶面位于同一平面内；支撑板包括与安装板相接触的第一部分以及沿支撑板延伸方向与第一部分相背的第二部分，沿垂直于待承接部件表面的方向，第二部分的宽度小于第一部分的宽度；多个支撑杆，分立于支撑板上，且在可动端沿垂直于待承接部件的方向且朝向远离固定端的方向移动时，多个支撑杆能够穿过卡孔并凸出于卡盘且用于承接待承接部件；在可动端沿垂直于待承接部件的方向且朝向靠近固定端的方向移动时，多个支撑杆的顶面能够低于卡盘的顶面。本实用新型专利技术实施例有利于提高对所述待承接部件支撑的稳固性。承接部件支撑的稳固性。承接部件支撑的稳固性。

【技术实现步骤摘要】
升降机构以及承接装置


[0001]本技术实施例涉及半导体设备领域，尤其涉及一种升降机构以及承接装置。

技术介绍

[0002]在半导体制造过程中，涉及多种制程工艺，包括：光刻工艺、干法刻蚀工艺、物理气相沉积工艺、化学气相沉积工艺，不同的制程工艺运行于不同的操作台。
[0003]相应地，通常利用传送装置，实现待承接部件(例如：晶圆)在不同操作台之间的运转，并且利用卡盘实现对待承接部件的固定。
[0004]但是，目前卡盘对待承接部件的支撑稳定性有待提高。

技术实现思路

[0005]本技术实施例解决的问题是提供一种升降机构以及承接装置，有利于提高对待承接部件支撑的稳固性。
[0006]为解决上述问题，本技术实施例提供一种升降机构，用于承接待承接部件，且还用于将所述待承接部件放置于卡盘上，所述卡盘上设置有卡孔；所述升降机构包括：驱动器，包括固定端和可动端，所述可动端能够相对于所述固定端沿垂直于所述待承接部件表面的方向移动；安装板，位于所述可动端上且与所述可动端相连；至少两个支撑板，与所述安装板相连，且所述至少两个支撑板的顶面位于同一平面内；所述支撑板包括与所述安装板相接触的第一部分以及沿支撑板延伸方向与所述第一部分相背的第二部分，沿垂直于待承接部件表面的方向，所述第二部分的宽度小于所述第一部分的宽度；多个支撑杆，分立于所述支撑板上，且在所述可动端沿垂直于所述待承接部件的方向且朝向远离所述固定端的方向移动时，多个所述支撑杆能够穿过所述卡孔并凸出于所述卡盘且用于承接所述待承接部件；在所述可动端沿垂直于所述待承接部件的方向且朝向靠近所述固定端的方向移动时，多个所述支撑杆的顶面能够低于所述卡盘的顶面。
[0007]可选的，所述固定端为气缸；所述可动端为活塞杆，所述活塞杆套设于所述气缸内，所述活塞杆能够在所述气缸内沿垂直于待承接部件表面的方向移动。
[0008]可选的，所述支撑板与所述安装板垂直相连。
[0009]可选的，所述升降机构还包括：固定板，所述固定板与所述固定端固定连接；所述固定板上设置有沿垂直于待承接部件方向延伸的导轨；所述安装板上设置有沿垂直于待承接部件方向的滑块；所述滑块能够在所述导轨内滑动。
[0010]可选的，所述滑块的数量为一个或多个，一个或多个所述滑块沿所述安装板的中心对称布置。
[0011]可选的，所述支撑杆在所述支撑板上呈阵列式排布。
[0012]可选的，所述支撑杆的直径为8mm至16mm。
[0013]可选的，所述支撑杆的数量为3或4。
[0014]可选的，所述支撑杆包括支撑部和位于所述支撑部顶部的支撑销，所述支撑销用
于承接所述待承接部件。
[0015]可选的，所述支撑销的材料包括：聚醚醚酮或橡胶。
[0016]可选的，所述待承接部件包括：晶圆、液晶面板或掩膜版。
[0017]为解决上述问题，本技术实施例还提供一种承接装置，包括：卡盘，所述卡盘用于支撑和固定待承接部件；所述卡盘中设置有多个卡孔；本技术实施例提供的升降机构，设置于所述卡盘下方；所述支撑杆与所述卡孔对应设置，在所述可动端沿垂直于所述待承接部件且朝向靠近卡盘的方向移动时，所述支撑杆能够穿过所述卡孔承接所述待承接部件；在所述可动端沿垂直于所述待承接部件的方向且朝向靠近所述固定端的方向移动时，多个所述支撑杆的顶面能够低于所述卡盘的顶面。
[0018]可选的，所述卡盘包括：包括底盘和凸出于下方的凸起部；所述支撑板避开所述凸起部设置。
[0019]可选的，所述承接装置还包括：运动台，位于所述凸起部的下方且与所述凸起部之间固定连接，用于移动所述卡盘和所述待承接部件。
[0020]可选的，所述卡盘的底面设置有沟槽，与所述支撑杆的位置相对应；所述卡孔位于所述沟槽内。
[0021]可选的，所述待承接部件包括：晶圆、液晶面板或掩膜版。
[0022]与现有技术相比，本技术实施例的技术方案具有以下优点：
[0023]本技术实施例提供的升降机构中，设置有多个支撑杆，分立于所述支撑板上，且在所述可动端沿垂直于所述待承接部件的方向且朝向远离所述固定端的方向移动时，多个所述支撑杆能够穿过所述卡孔并凸出于所述卡盘且用于支撑所述待承接部件；在所述可动端沿垂直于所述待承接部件的方向且朝向靠近所述固定端的方向移动时，多个所述支撑杆的顶面能够低于所述卡盘的顶面，从而将所述待承接部件放置在所述卡盘上；通过所述升降机构，从而所述卡盘上仅需设置与所述支撑杆对应的卡孔，有利于保证卡盘的有效面积，相应有利于保障卡盘与待承接部件之间的吸附区域的面积，进而提高对所述待承接部件支撑的稳固性。
[0024]此外，所述升降机构中，所述支撑板包括所述第一部分和所述第二部分，且沿垂直于待承接部件表面的方向，所述第二部分的宽度小于所述第一部分的宽度，从而一方面，较宽的第一部分有利于提高支撑板与所述安装板之间的连接稳固性，另一方面，较窄的第二部分有利于减小所述升降机构所占用的空间。
[0025]本技术实施例提供的承接装置中，所述承接装置包括本技术实施例提供的升降机构；所述升降机构设置有多个支撑杆，分立于所述支撑板上，且在所述可动端沿垂直于所述待承接部件的方向且朝向远离所述固定端的方向移动时，多个所述支撑杆能够穿过所述卡孔并凸出于所述卡盘且用于支撑所述待承接部件；在所述可动端沿垂直于所述待承接部件的方向且朝向靠近所述固定端的方向移动时，多个所述支撑杆的顶面能够低于所述卡盘的顶面，从而将所述待承接部件放置在所述卡盘上；通过所述升降机构，从而所述卡盘上仅需设置与所述支撑杆对应的卡孔，有利于保证卡盘的有效面积，相应有利于增大卡盘与待承接部件之间的吸附区域的面积，进而提高对所述待承接部件支撑的稳固性。
[0026]此外，本技术实施例提供的所述升降机构中，所述支撑板包括所述第一部分和所述第二部分，且沿垂直于待承接部件表面的方向，所述第二部分的宽度小于所述第一
部分的宽度，从而一方面，较宽的第一部分有利于提高支撑板与所述安装板之间的连接稳固性，另一方面，较窄的第二部分有利于减小所述升降机构所占用的空间。
[0027]可选方案中，卡盘，包括底盘和凸出于下方的凸起部；所述支撑板避开所述凸起部设置。所述凸起部用于抬高所述底盘高度，为所述运动台和所述卡盘之间预留容纳空间，以便放置所述第二部分；所述第二部分的宽度小于所述第一部分的宽度，缩小了所述运动台和卡盘之间的预留空间，减小了所述承接装置的体积。
附图说明
[0028]图1是一种承接装置的结构示意图；
[0029]图2是本技术升降机构一实施例的立体结构示意图；
[0030]图3是图2的A向视图；
[0031]图4是图2的B向视图；
[0032]图5是图2的俯视图；
[0033]图6是本技术承接装置一实施例的立体结构示意图。
具体实施方式
[0034]由
技术介绍
可知，目前卡本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种升降机构，用于承接待承接部件，且还用于将所述待承接部件放置于卡盘上，所述卡盘上设置有卡孔，其特征在于，所述升降机构包括：驱动器，包括固定端和可动端，所述可动端能够相对于所述固定端沿垂直于所述待承接部件表面的方向移动；安装板，位于所述可动端上且与所述可动端相连；至少两个支撑板，与所述安装板相连，且所述至少两个支撑板的顶面位于同一平面内；所述支撑板包括与所述安装板相接触的第一部分以及沿支撑板延伸方向与所述第一部分相背的第二部分，沿垂直于待承接部件表面的方向，所述第二部分的宽度小于所述第一部分的宽度；多个支撑杆，分立于所述支撑板上，且在所述可动端沿垂直于所述待承接部件的方向且朝向远离所述固定端的方向移动时，多个所述支撑杆能够穿过所述卡孔并凸出于所述卡盘且用于承接所述待承接部件；在所述可动端沿垂直于所述待承接部件的方向且朝向靠近所述固定端的方向移动时，多个所述支撑杆的顶面能够低于所述卡盘的顶面。2.如权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述固定端为气缸；所述可动端为活塞杆，所述活塞杆套设于所述气缸内，所述活塞杆能够在所述气缸内沿垂直于待承接部件表面的方向移动。3.如权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述支撑板与所述安装板垂直相连。4.如权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述升降机构还包括：固定板，所述固定板与所述固定端固定连接；所述固定板上设置有沿垂直于待承接部件方向延伸的导轨；所述安装板上设置有沿垂直于待承接部件方向的滑块；所述滑块能够在所述导轨内滑动。5.如权利要求4所述的升降机构，其特征在于，所述滑块的数量为一个或多个，一个或多个所述滑块沿所述安装板的中心对称布置。6.如权利要求1所述的升降机构，其特征在于，所述支撑杆在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：温任华，
申请(专利权)人：魅杰光电科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：