挂片机构及镀膜遮蔽治具制造技术

技术编号:32750200 阅读:18 留言:0更新日期:2022-03-20 08:57
本实用新型专利技术提供一种挂片机构及镀膜遮蔽治具,所述挂片机构包括支撑部、抵接部以及弹力部;所述支撑部连接于所述抵接部,所述支撑部用于支撑待镀膜工件的端口边缘,所述抵接部用于抵接遮蔽机构的一端面;所述抵接部连接于所述弹力部,所述弹力部用于带动所述支撑部撑紧所述待镀膜工件,所述弹力部用于固定于固定机构上。镀膜遮蔽治具包括固定机构、上述挂片机构、遮蔽机构以及挂设机构;所述固定机构与所述挂片机构、所述挂设机构相连,用于固定所述挂片机构和所述挂设机构,所述挂设机构用于实现所述固定机构挂设于蒸镀工位处。挂片机构提供的压紧力较为稳定,能够减少对待镀膜工件的损伤,并保持稳定不易掉落,结构简单,易于加工,通用性强。通用性强。通用性强。

【技术实现步骤摘要】
挂片机构及镀膜遮蔽治具


[0001]本技术涉及镀膜
,特别是涉及一种挂片机构及镀膜遮蔽治具。

技术介绍

[0002]真空镀膜技术是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于工件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。真空镀膜技术一般分为两大类,即物理气相沉积(PVD)技术和化学气相沉积(CVD)技术。
[0003]其中,PVD真空镀膜技术是指在真空条件下,采用电弧放电技术,利用气体放电时蒸镀材料蒸发并电离,在电场的作用下,将被蒸发的材料及其反应物沉积在待镀膜产品上形成镀膜层的方法。
[0004]工件在镀膜时需要对非镀膜区域进行遮蔽,通常采用镀膜遮蔽治具实现遮蔽的目的,然而传统的镀膜遮蔽治具结构复杂,而且压紧工件时压紧力不稳定存在工件被损坏的风险。

技术实现思路

[0005]基于此,有必要提供一种能够减少工件损伤并能增强遮蔽稳定性的、结构简单的挂片机构及镀膜遮蔽治具。
[0006]本技术提供一种挂片机构,包括支撑部、抵接部以及弹力部;所述支撑部连接于所述抵接部,所述支撑部用于支撑待镀膜工件的端口边缘,所述抵接部用于抵接遮蔽机构的一端面;所述抵接部连接于所述弹力部,所述弹力部用于带动所述支撑部撑紧所述待镀膜工件,所述弹力部用于固定于固定机构上。
[0007]在其中一个实施例中,还包括连接部,所述弹力部通过所述连接部固定于所述固定机构。
[0008]在其中一个实施例中,所述支撑部与所述抵接部构成一组,每个所述弹力部上连接有至少一组所述支撑部与所述抵接部。
[0009]在其中一个实施例中,每个弹力部上设置有两组所述支撑部与所述抵接部,两个所述弹力部位于所述连接部的两侧并对称分布。
[0010]在其中一个实施例中,所述弹力部与所述连接部的连接处呈弯曲过渡。
[0011]在其中一个实施例中,所述支撑部朝外的表面弯曲呈弧面以使得其配合于所述待镀膜工件的端口边缘。
[0012]本技术还提供一种镀膜遮蔽治具,包括固定机构、上述任一项实施例中所述的挂片机构、遮蔽机构以及挂设机构;所述固定机构与所述挂片机构、所述挂设机构相连,用于固定所述挂片机构和所述挂设机构,所述挂设机构用于实现所述固定机构挂设于蒸镀工位处。
[0013]在其中一个实施例中,所述固定机构呈长条状,所述挂片机构有多个,多个所述挂片机构在所述固定机构上间隔分布。
[0014]在其中一个实施例中,所述挂设机构呈L型,所述挂设机构的一边沿所述固定机构的长度方向与所述固定机构相连,所述挂设机构的另一边与所述固定机构的长度方向垂直,用于对所述固定机构进行挂设。
[0015]在其中一个实施例中,所述遮蔽机构为圆环状。
[0016]上述挂片机构具有支撑部、抵接部和弹力部,支撑部能够支撑待镀膜工件的端口边缘,抵接部能够抵接遮蔽机构的一端面,弹力部能够带动所述支撑部撑紧所述待镀膜工件,在支撑部、抵接部和弹力部的配合下,能够使待镀膜工件和遮蔽机构紧挂在挂片机构上,而且挂片机构提供的压紧力较为稳定,能够减少对待镀膜工件的损伤。
[0017]进一步地,将上述挂片机构固定于固定机构上,与遮蔽机构配合形成镀膜遮蔽治具,上述镀膜遮蔽治具在蒸镀时能够使待镀膜工件保持稳定不易掉落,结构简单,易于加工,通用性强。
附图说明
[0018]图1为一实施例的镀膜遮蔽治具组装后的结构示意图。
[0019]图2为图1的镀膜遮蔽治具组装前的结构示意图。
[0020]图3为图1的挂片机构的结构示意图。
[0021]图4为图4的挂片机构的局部放大图。
[0022]图5为图1的镀膜遮蔽治具组装后的局部剖视图。
[0023]图6为图1的镀膜遮蔽治具挂设在挂具上的局部示意图。
[0024]图7为图1的遮蔽机构和待镀膜工件组装后的结构示意图。
[0025]附图标记:
[0026]10:镀膜遮蔽治具;110:固定机构;120:挂片机构;121:支撑部;122:抵接部;123:弹力部;124:连接部;130:挂设机构;20:遮蔽机构;30:待镀膜工件。
具体实施方式
[0027]为了便于理解本技术,下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的较佳实施例。但是,本技术可以以许多不同的形式来实现,并不限于本文所描述的实施例。相反地,提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容的理解更加透彻全面。
[0028]在本技术中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0029]需要说明的是,当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
[0030]除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为
了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0031]本实施例提供了一种挂片机构以及镀膜遮蔽治具10。以下实施例采用镀膜遮蔽治具10进行整体说明。
[0032]如图1~图2所示,本技术一实施例提供一种镀膜遮蔽治具10,包括固定机构110、挂片机构120、遮蔽机构20以及挂设机构130。
[0033]固定机构110与挂片机构120、挂设机构130相连,用于固定挂片机构120和挂设机构130,挂设机构130用于实现固定机构110挂设于蒸镀工位处。
[0034]可以理解地,固定机构110与挂片机构120、挂设机构130的连接方式采用固定连接,具体的连接方式可以是焊接,也可以是其他连接方式。进一步地,当采用焊接方式时,例如可以采用包括但不限于电弧焊、高频焊、手弧焊、激光焊中的任意一种方式。
[0035]在一个具体的示例中,固定机构110呈长条状,挂片机构120有多个,多个挂片机构120在固定机构110上间隔分布。每个挂片机构120间的距离可以根据遮蔽机构20和待镀膜工件30的尺寸进行设计,至少保证每个遮蔽机构20和待镀膜工件30夹紧在挂片机构130上之后,每个挂片机构130之间不会被挤压或遮挡。每个挂片机构120在固定机构110上的分布可以的等距的,也可以是不等距的。例如若是遮蔽机构20和待镀膜工件30的尺寸都是统一的,每个挂片机构120可以在固定机构110上本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种挂片机构,其特征在于,包括支撑部、抵接部以及弹力部;所述支撑部连接于所述抵接部,所述支撑部用于支撑待镀膜工件的端口边缘,所述抵接部用于抵接遮蔽机构的一端面;所述抵接部连接于所述弹力部,所述弹力部用于带动所述支撑部撑紧所述待镀膜工件,所述弹力部用于固定于固定机构上。2.根据权利要求1所述的挂片机构,其特征在于,还包括连接部,所述弹力部通过所述连接部固定于所述固定机构。3.根据权利要求2所述的挂片机构,其特征在于,所述支撑部与所述抵接部构成一组,每个所述弹力部上连接有至少一组所述支撑部与所述抵接部。4.根据权利要求3所述的挂片机构,其特征在于,每个弹力部上设置有两组所述支撑部与所述抵接部,两个所述弹力部位于所述连接部的两侧并对称分布。5.根据权利要求2~4任意一项所述的挂片机构,其特征在于,所述弹力部与所述连接部的连接处呈弯曲过渡。6.根据权利要求1~4任意一项所述的挂片...

【专利技术属性】
技术研发人员:钟佩想何好珍郑远川熊汤华
申请(专利权)人:维达力实业深圳有限公司
类型:新型
国别省市:

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