挂片机构及镀膜遮蔽治具制造技术

本实用新型专利技术提供一种挂片机构及镀膜遮蔽治具，所述挂片机构包括支撑部、抵接部以及弹力部；所述支撑部连接于所述抵接部，所述支撑部用于支撑待镀膜工件的端口边缘，所述抵接部用于抵接遮蔽机构的一端面；所述抵接部连接于所述弹力部，所述弹力部用于带动所述支撑部撑紧所述待镀膜工件，所述弹力部用于固定于固定机构上。镀膜遮蔽治具包括固定机构、上述挂片机构、遮蔽机构以及挂设机构；所述固定机构与所述挂片机构、所述挂设机构相连，用于固定所述挂片机构和所述挂设机构，所述挂设机构用于实现所述固定机构挂设于蒸镀工位处。挂片机构提供的压紧力较为稳定，能够减少对待镀膜工件的损伤，并保持稳定不易掉落，结构简单，易于加工，通用性强。通用性强。通用性强。

【技术实现步骤摘要】
挂片机构及镀膜遮蔽治具


[0001]本技术涉及镀膜
，特别是涉及一种挂片机构及镀膜遮蔽治具。

技术介绍

[0002]真空镀膜技术是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于工件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。真空镀膜技术一般分为两大类，即物理气相沉积(PVD)技术和化学气相沉积(CVD)技术。
[0003]其中，PVD真空镀膜技术是指在真空条件下，采用电弧放电技术，利用气体放电时蒸镀材料蒸发并电离，在电场的作用下，将被蒸发的材料及其反应物沉积在待镀膜产品上形成镀膜层的方法。
[0004]工件在镀膜时需要对非镀膜区域进行遮蔽，通常采用镀膜遮蔽治具实现遮蔽的目的，然而传统的镀膜遮蔽治具结构复杂，而且压紧工件时压紧力不稳定存在工件被损坏的风险。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要提供一种能够减少工件损伤并能增强遮蔽稳定性的、结构简单的挂片机构及镀膜遮蔽治具。
[0006]本技术提供一种挂片机构，包括支撑部、抵接部以及弹力部；所述支撑部连接于所述抵接部，所述支撑部用于支撑待本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种挂片机构，其特征在于，包括支撑部、抵接部以及弹力部；所述支撑部连接于所述抵接部，所述支撑部用于支撑待镀膜工件的端口边缘，所述抵接部用于抵接遮蔽机构的一端面；所述抵接部连接于所述弹力部，所述弹力部用于带动所述支撑部撑紧所述待镀膜工件，所述弹力部用于固定于固定机构上。2.根据权利要求1所述的挂片机构，其特征在于，还包括连接部，所述弹力部通过所述连接部固定于所述固定机构。3.根据权利要求2所述的挂片机构，其特征在于，所述支撑部与所述抵接部构成一组，每个所述弹力部上连接有至少一组所述支撑部与所述抵接部。4.根据权利要求3所述的挂片机构，其特征在于，每个弹力部上设置有两组所述支撑部与所述抵接部，两个所述弹力部位于所述连接部的两侧并对称分布。5.根据权利要求2～4任意一项所述的挂片机构，其特征在于，所述弹力部与所述连接部的连接处呈弯曲过渡。6.根据权利要求1～4任意一项所述的挂片...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟佩想，何好珍，郑远川，熊汤华，
申请(专利权)人：维达力实业深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：