一种FOUP射频读写台制造技术

技术编号:32673104 阅读:112 留言:0更新日期:2022-03-17 11:28
本实用新型专利技术提供一种FOUP射频读写台,包括读写机台、定位开关、传感器、显示屏、RFID读写主板、上位机;读写机台1的上表面安装有定位开关和显示屏,定位开关和显示屏均电连接在上位机上,显示屏设置在靠近人工操作的一侧,传感器位于定位开关的下方并连接在上位机上;读写机台内安装有RFID读写主板,RFID读写主板通过上位机触发读取标签或信息写入标签的动作并将信息通过串口反馈给上位机;本实用新型专利技术能够自动解析FOUP类型,进行RF标签的锁定,提供详细的操作信息和异常报警,进行数据追溯和异常问题处理,设备端不会主动发送信息,提高设备端电子的寿命,支持输出标准的接口协议信息,便于第三方系统获取信息。便于第三方系统获取信息。便于第三方系统获取信息。

【技术实现步骤摘要】
一种FOUP射频读写台


[0001]本技术主要涉及射频读写台领域,尤其涉及一种FOUP射频读写台。

技术介绍

[0002]开式晶圆传送盒,也叫FOUP,是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器,它在半导体生产过程中至关重要。每个FOUP都有各种连接板,销和孔,以便FOUP位于装载端口上,并由自动物料搬运系统操纵。FOUP也包含RF标签,允许作业人员通过各种工具识别它们。而FOUP中RF标签的初始化信息写入则需要专业的设备进行操作,其要求也非常严格,需要信息读取具有非常高的准确性,设备工业等级高,长持续运行的稳定性和用户交互界面的简洁性。
[0003]常见的RF设备读写台通常只能满足对RF标签的读写,不能满足智能工厂建设过程中日益增长的工业化和信息化要求:
[0004]1、无法自动解析FOUP类型,需要人为判断,可能造成误判;
[0005]2、无法进行RF标签的锁定,会被篡改标签信息;
[0006]3、没有详细的操作信息和异常报警,异常发生后无法快速判定异常原因;
[0007]4、设备机台持续本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种FOUP射频读写台,其特征在于,包括读写机台(1)、定位开关(2)、传感器、显示屏(3)、RFID读写主板、上位机;所述读写机台(1)的上表面安装有定位开关(2)和显示屏(3),所述定位开关(2)和显示屏(3)均电连接在上位机上,所述显示屏(3)设置在靠近人工操作的一侧,所述传感器位于定位开关(2)的下方并连接在上位机上;所述读写机台(1)内安装有RFID读写主板,所述RFID读写主板通过上位机触发读取标签或信息写入标签的动作并将信息通过串口反馈给上位机。2.根据权利要求1所述的FOUP射频读写台,其特征在于:所述RFID读写主板上包括单片机和TI芯片,所述TI芯片对RF标签的固定地址位进行锁定操作。3.根据权利要求2所述的FOUP射频读写台,其特征在于:所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:金星勋丁亮亮高超王飞田格
申请(专利权)人:无锡芯享信息科技有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1