一种FOUP射频读写台制造技术

本实用新型专利技术提供一种FOUP射频读写台，包括读写机台、定位开关、传感器、显示屏、RFID读写主板、上位机；读写机台1的上表面安装有定位开关和显示屏，定位开关和显示屏均电连接在上位机上，显示屏设置在靠近人工操作的一侧，传感器位于定位开关的下方并连接在上位机上；读写机台内安装有RFID读写主板，RFID读写主板通过上位机触发读取标签或信息写入标签的动作并将信息通过串口反馈给上位机；本实用新型专利技术能够自动解析FOUP类型，进行RF标签的锁定，提供详细的操作信息和异常报警，进行数据追溯和异常问题处理，设备端不会主动发送信息，提高设备端电子的寿命，支持输出标准的接口协议信息，便于第三方系统获取信息。便于第三方系统获取信息。便于第三方系统获取信息。

【技术实现步骤摘要】
一种FOUP射频读写台


[0001]本技术主要涉及射频读写台领域，尤其涉及一种FOUP射频读写台。

技术介绍

[0002]开式晶圆传送盒，也叫FOUP，是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，它在半导体生产过程中至关重要。每个FOUP都有各种连接板，销和孔，以便FOUP位于装载端口上，并由自动物料搬运系统操纵。FOUP也包含RF标签，允许作业人员通过各种工具识别它们。而FOUP中RF标签的初始化信息写入则需要专业的设备进行操作，其要求也非常严格，需要信息读取具有非常高的准确性，设备工业等级高，长持续运行的稳定性和用户交互界面的简洁性。
[0003]常见的RF设备读写台通常只能满足对RF标签的读写，不能满足智能工厂建设过程中日益增长的工业化和信息化要求：
[0004]1、无法自动解析FOUP类型，需要人为判断，可能造成误判；
[0005]2、无法进行RF标签的锁定，会被篡改标签信息；
[0006]3、没有详细的操作信息和异常报警，异常发生后无法快速判定异常原因；
[0007]4、设备机台持续发送心跳信号，读写软件进行检测，容易操作设备异常后，软件无法有效监控和处理问题；
[0008]5、上位机报警和下位机报警不同步，容易增加人员判断问题的难度；
[0009]6、无法输出标准的接口协议信息，第三方系统无法获取。

技术实现思路

[0010]针对现有技术的上述缺陷，本技术提供一种FOUP射频读写台，包括读写机台1、定位开关2、传感器、显示屏3、RFID读写主板、上位机；
[0011]所述读写机台1的上表面安装有定位开关2和显示屏3，所述定位开关2和显示屏3均电连接在上位机上，所述显示屏3设置在靠近人工操作的一侧，所述传感器位于定位开关2的下方并连接在上位机上；
[0012]所述读写机台1内安装有RFID读写主板，所述RFID读写主板通过上位机触发读取标签或信息写入标签的动作并将信息通过串口反馈给上位机。
[0013]优选的，RFID读写主板上包括单片机和TI芯片，所述TI芯片对RF标签的固定地址位进行锁定操作。
[0014]优选的，读写机台1上表面靠近定位开关2的周围设置有通孔4，所述通孔4设置有多个，所述通孔4的位置与待检的FOUP底部的孔位对应。
[0015]优选的，定位开关2的俯视状态下呈圆形，所述定位开关2的顶部设置有圆角。
[0016]优选的，读写机台1上靠近人工操作的一侧安装有三色灯5，所述三色灯5电连接在上位机上。
[0017]优选的，读写机台1上表面的四周设置有限位条6。
[0018]优选的，读写机台1的底部四周安装有脚垫7，所述脚垫7通过螺栓调节上下位置。
[0019]本技术的有益效果：
[0020]1、自动解析FOUP类型，无需人为判断，避免误判；
[0021]2、能够进行RF标签的锁定，无法篡改标签信息，避免标签更改后信息的丢失和错乱；
[0022]3、提供详细的操作信息和异常报警，能够快速的进行数据追溯和异常问题处理；
[0023]4、上位机和设备同步显示关键信息，可以降低人员对于异常问题的判断难度，无论软件或者硬件出现单个信息异常后，也不影响人员进行异常分析和判断；
[0024]5、设备端不会主动发送信息，提高设备端电子的寿命，上位机的主动访问方式，能有限监控设备并判断设备异常，便于处理问题；6、支持输出标准的接口协议信息，便于第三方系统获取信息。
附图说明
[0025]图1为本技术的结构图；
[0026]图2为本技术的主视图；
[0027]图3为本技术的使用流程图；
[0028]图中，
[0029]1、读写机台；2、定位开关；3、显示屏；4、通孔；5、三色灯；6、限位条；7、脚垫。
具体实施方式
[0030]为了使本
人员更好地理解本专利技术的技术方案，并使本专利技术的上述特征、目的以及优点更加清晰易懂，下面结合实施例对本专利技术做进一步的说明。实施例仅用于说明本专利技术而不用于限制本专利技术的范围。
[0031]如图1
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3所示可知，本技术包括有：读写机台1、定位开关2、传感器、显示屏3、RFID读写主板、上位机；
[0032]所述读写机台1的上表面安装有定位开关2和显示屏3，所述定位开关2和显示屏3均电连接在上位机上，所述显示屏3设置在靠近人工操作的一侧，所述传感器位于定位开关2的下方并连接在上位机上；
[0033]所述读写机台1内安装有RFID读写主板，所述RFID读写主板通过上位机触发读取标签或信息写入标签的动作并将信息通过串口反馈给上位机。
[0034]在本实施中优选的，RFID读写主板上包括单片机和TI芯片，所述TI芯片对RF标签的固定地址位进行锁定操作。
[0035]设置上述结构，通过逻辑判断模块控制RF读写天线对RF标签中数据进行读锁定。读写的RF标签为RI
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TRP
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DR2B系列，标签信号控制芯片采用TI的TMS3705型号。逻辑判断模块通过串口将上位机传入的RF标签锁定串口命令转换为TI芯片可识别的数字信号，从而驱动TI芯片对RF标签的固定地址位进行锁定操作。
[0036]在本实施中优选的，读写机台1上表面靠近定位开关2的周围设置有通孔4，所述通孔4设置有多个，所述通孔4的位置与待检的FOUP底部的孔位对应。
[0037]设置上述结构，通过自动判断FOUP类型来降低人员判断的要求和杜绝可能引起判
断错误，具体是指：通过传感器识别FOUP底部的孔位导通情况，将传感器信号接入逻辑判断模块，逻辑判断模块将传感器中的高低电平信号转换为0,1数字信息，通过串口方式传给上位机，上位机将接收到的传感器信息进行自动判断，解析出FOUP类型。上位机解析方式则通过预设的FOUP类型表进行检索获取。
[0038]所述的逻辑判断模块则是一块PCB电路板，其中核心元器件为单片机，在单片机中负责信号的接收，转换和传递。
[0039]在本实施中优选的，定位开关2的俯视状态下呈圆形，所述定位开关2的顶部设置有圆角。
[0040]设置上述结构，利用定位开关是为了准确的在读写机台上放置FOUP，达到精准检测的目的，同时为了保证产品外观的完整性，因而将定位用的定位开关顶部设置成半球型。
[0041]在本实施中优选的，读写机台1上靠近人工操作的一侧安装有三色灯5，所述三色灯5电连接在上位机上。
[0042]设置上述结构，利用三色灯可以很清晰的分辨整体装置的使用实时状态，其中绿灯代表通电状态；黄灯代表读写数据时，闪烁或红灯代表故障状态。
[0043]在本实施中优选的，读写机台1上表面的四周设置有限位条6。
[0044]在本实施中优选的，读写机台1的底部四周安装有脚垫7，所述脚垫7通过螺栓调节上下位置。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种FOUP射频读写台，其特征在于，包括读写机台(1)、定位开关(2)、传感器、显示屏(3)、RFID读写主板、上位机；所述读写机台(1)的上表面安装有定位开关(2)和显示屏(3)，所述定位开关(2)和显示屏(3)均电连接在上位机上，所述显示屏(3)设置在靠近人工操作的一侧，所述传感器位于定位开关(2)的下方并连接在上位机上；所述读写机台(1)内安装有RFID读写主板，所述RFID读写主板通过上位机触发读取标签或信息写入标签的动作并将信息通过串口反馈给上位机。2.根据权利要求1所述的FOUP射频读写台，其特征在于：所述RFID读写主板上包括单片机和TI芯片，所述TI芯片对RF标签的固定地址位进行锁定操作。3.根据权利要求2所述的FOUP射频读写台，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：金星勋，丁亮亮，高超，王飞，田格，
申请(专利权)人：无锡芯享信息科技有限公司，
类型：新型
国别省市：