一种基于激光干涉仪底座的光线校准方法技术

本发明专利技术公开了一种基于激光干涉仪底座的光线校准方法，属于光学技术领域，其特征在于，包括以下步骤：a、把激光干涉仪吸附在干涉仪放置平台上；b、连接激光干涉仪的电路，激光干涉仪的激光器发出发射光，通过电机调节X轴升降杆，使得干激光涉仪发出的光线与固定反射镜及可动反射镜处于同一高度；c、通过电机调节Y轴移动杆，调节干涉仪放置平台位置，使发射光经过可动反射镜形成反射光；d、通过调节激光干涉仪绕着X轴升降杆旋转，进行微调光路，完成光线校准。本发明专利技术通过多方向的调整，快速实现激光干涉仪测量过程中的光线校准，耗时短，能够快速高效的完成光线校准，提高校准效率。提高校准效率。提高校准效率。

【技术实现步骤摘要】
一种基于激光干涉仪底座的光线校准方法


[0001]本专利技术涉及到光学
，尤其涉及一种基于激光干涉仪底座的光线校准方法。

技术介绍

[0002]随着国内数字化技术运用的日趋成熟，数字化设备在安装、调试阶段都需要精度高的测量设备进行测试，目前在线性位置、直线度、角度、平行度及垂直度要求进行检测时，大量使用激光干涉仪。
[0003]为了完成相关的测量任务，干涉仪在测量之前需要光线校准，使得入射光线与反射光线平行从而顺利接受光信号。目前校准方式都是通过工程师利用三脚架进行激光干涉仪位置的微调，过度依赖工程经验、准确率低；若测量环境复杂，开敞性差的测量场地，会大幅增加光线校准的难度,延长测量周期，耗时费力。
[0004]公开号为CN 110455180A，公开日为2019年11月15日的中国专利文献公开了一种针对多自由度二维调节机构的全路径精度校准方法，其特征在于，所述方法包括：S1、设定质检路径及位置点，设定被校调节机构执行的质检路径以及被校调节机构运行质检路径的位置点，并获得相邻位置点间的物理移动长度Lpi；所述质检路径设定至少一段特征路段；S2、被校调节机构根据预设质检路径移动；S3、对被校调节机构执行质检路径上全路径设定的所有位置点进行精度校准。
[0005]该专利文献公开的针对多自由度二维调节机构的全路径精度校准方法，通过激光干涉仪和视觉系统的联合工作，在实现全路径高精度校准的同时克服自动化机台安装空间的限制，可在对调节机构无干扰情况下对执行路径设定的每个位置点精度做出校准，从而对调节机构实时工作时整个路径的某一段的精度给出可量化的评估。但是，耗时较长，校准效率较低。

技术实现思路

[0006]本专利技术为了克服上述现有技术的缺陷，提供一种基于激光干涉仪底座的光线校准方法，本专利技术通过多方向的调整，快速实现激光干涉仪测量过程中的光线校准，耗时短，能够快速高效的完成光线校准，提高校准效率。
[0007]本专利技术通过下述技术方案实现：一种基于激光干涉仪底座的光线校准方法，其特征在于，包括以下步骤：a、打开激光干涉仪底座上的脚撑，调节好不同脚撑的长度，锁紧底座上的脚撑，使激光干涉仪底座稳定放置，然后把激光干涉仪吸附在干涉仪放置平台上；b、连接激光干涉仪的电路，激光干涉仪的激光器发出发射光，通过电机调节X轴升降杆，使得干激光涉仪发出的光线与固定反射镜及可动反射镜处于同一高度；c、通过电机调节Y轴移动杆，调节干涉仪放置平台位置，使发射光经过可动反射镜形成反射光；
d、通过调节激光干涉仪绕着X轴升降杆旋转，进行微调光路，完成光线校准。
[0008]所述步骤c中，电机调节X轴升降杆包括粗调和微调。
[0009]所述电机驱动的移动方式为小螺距的齿轮，精度为
±
0.02mm，移动的量程为100
‑
400mm。
[0010]所述粗调的量程精度为0.1mm。
[0011]所述微调的量程精度为0.01mm。
[0012]所述脚撑为可伸缩式结构。
[0013]所述步骤c中，反射光包括校准光和测量光。
[0014]所述步骤d中，激光干涉仪绕着X轴升降杆旋转的旋转角度为
±
30
°
。
[0015]本专利技术的有益效果主要表现在以下方面：1、本专利技术，“a、打开激光干涉仪底座上的脚撑，调节好不同脚撑的长度，锁紧底座上的脚撑，使激光干涉仪底座稳定放置，然后把激光干涉仪吸附在干涉仪放置平台上；b、连接激光干涉仪的电路，激光干涉仪的激光器发出发射光，通过电机调节X轴升降杆，使得干激光涉仪发出的光线与固定反射镜及可动反射镜处于同一高度；c、通过电机调节Y轴移动杆，调节干涉仪放置平台位置，使发射光经过可动反射镜形成反射光；d、通过调节激光干涉仪绕着X轴升降杆旋转，进行微调光路，完成光线校准”，较现有技术而言，通过多方向的调整，快速实现激光干涉仪测量过程中的光线校准，耗时短，能够快速高效的完成光线校准，提高校准效率。
[0016]2、本专利技术，能适应工况复杂的环境，通过调节脚撑的长度来实现激光干涉仪底座的支撑，提高了激光干涉仪在复杂环境下的使用率。
[0017]3、本专利技术，通过不同纬度上的机械调整，使得实用性更强，在原有调整的基础上，避免了手动调整引起的震动，从而保证了校准的效率及精度。
[0018]4、本专利技术，使得激光干涉仪在校准时除了通过调节光路之外来快速实现校准，也可以通过调节激光干涉仪本身的位置来实现光线的快速校准。
附图说明
[0019]下面将结合说明书附图和具体实施方式对本专利技术作进一步的具体说明：图1为本专利技术激光干涉仪的光路示意图；图2为本专利技术激光干涉仪吸附在干涉仪放置平台上的结构示意图；图中标记：1、激光干涉仪，2、脚撑，3、干涉仪放置平台，4、发射光，5、X轴升降杆，6、固定反射镜，7、可动反射镜，8、Y轴移动杆，9、反射光。
具体实施方式
[0020]实施例1参见图1和图2，一种基于激光干涉仪底座的光线校准方法，包括以下步骤：a、打开激光干涉仪1底座上的脚撑2，调节好不同脚撑2的长度，锁紧底座上的脚撑2，使激光干涉仪1底座稳定放置，然后把激光干涉仪1吸附在干涉仪放置平台3上；b、连接激光干涉仪1的电路，激光干涉仪1的激光器发出发射光4，通过电机调节X轴升降杆5，使得干激光涉仪发出的光线与固定反射镜6及可动反射镜7处于同一高度；
c、通过电机调节Y轴移动杆8，调节干涉仪放置平台3位置，使发射光4经过可动反射镜7形成反射光9；d、通过调节激光干涉仪1绕着X轴升降杆5旋转，进行微调光路，完成光线校准。
[0021]通过多方向的调整，快速实现激光干涉仪1测量过程中的光线校准，耗时短，能够快速高效的完成光线校准，提高校准效率。
[0022]实施例2参见图1和图2，一种基于激光干涉仪底座的光线校准方法，包括以下步骤：a、打开激光干涉仪1底座上的脚撑2，调节好不同脚撑2的长度，锁紧底座上的脚撑2，使激光干涉仪1底座稳定放置，然后把激光干涉仪1吸附在干涉仪放置平台3上；b、连接激光干涉仪1的电路，激光干涉仪1的激光器发出发射光4，通过电机调节X轴升降杆5，使得干激光涉仪发出的光线与固定反射镜6及可动反射镜7处于同一高度；c、通过电机调节Y轴移动杆8，调节干涉仪放置平台3位置，使发射光4经过可动反射镜7形成反射光9；d、通过调节激光干涉仪1绕着X轴升降杆5旋转，进行微调光路，完成光线校准。
[0023]所述步骤c中，电机调节X轴升降杆5包括粗调和微调。
[0024]实施例3参见图1和图2，一种基于激光干涉仪底座的光线校准方法，包括以下步骤：a、打开激光干涉仪1底座上的脚撑2，调节好不同脚撑2的长度，锁紧底座上的脚撑2，使激光干涉仪1底座稳定放置，然后把激光干涉仪1吸附在干涉仪放置平台3上；b、连接激光干涉仪1的电路，激光干涉仪1的激光器发出发射光4，通过电机调节X轴升降杆5，使得干激光涉仪发出的光线与固定反射镜6及可动反本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于激光干涉仪底座的光线校准方法，其特征在于，包括以下步骤：a、打开激光干涉仪（1）底座上的脚撑（2），调节好不同脚撑（2）的长度，锁紧底座上的脚撑（2），使激光干涉仪（1）底座稳定放置，然后把激光干涉仪（1）吸附在干涉仪放置平台（3）上；b、连接激光干涉仪（1）的电路，激光干涉仪（1）的激光器发出发射光（4），通过电机调节X轴升降杆（5），使得干激光涉仪发出的光线与固定反射镜（6）及可动反射镜（7）处于同一高度；c、通过电机调节Y轴移动杆（8），调节干涉仪放置平台（3）位置，使发射光（4）经过可动反射镜（7）形成反射光（9）；d、通过调节激光干涉仪（1）绕着X轴升降杆（5）旋转，进行微调光路，完成光线校准。2.根据权利要求1所述的一种基于激光干涉仪底座的光线校准方法，其特征在于：所述步骤c中，电机调节X轴升降杆（5）包括粗调和微调。3.根据权利要求1所述的一种基于激光干涉仪底座的光线校准方法，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：高文翔，刘翔，陈宫达，许博，张立新，卢大伟，陈晓龙，周欣康，王佳鑫，刘良存，
申请(专利权)人：成都飞机工业集团有限责任公司，
类型：发明
国别省市：