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一种用于微电子器件加工的传送装置制造方法及图纸

技术编号:32654022 阅读:51 留言:0更新日期:2022-03-17 11:00
本实用新型专利技术涉及微电子加工技术领域,具体地说,涉及一种用于微电子器件加工的传送装置,包括传动器,传动器包括运输体,运输体包括传送架,传送架开设有旋转槽,旋转槽连接有滚筒,滚筒套接有传送带,传送架开设有固定口,固定口固定有伺服电机,传送带设有固定体,固定体包括外部框,外部框设有多个一号弹簧,一号弹簧连接有内部框,内部框设有固定架,固定架设有多个放置槽。本实用新型专利技术的优点是可抵消震动产生的冲击力从而确保微电子器件传送时不受损伤。受损伤。受损伤。

【技术实现步骤摘要】
一种用于微电子器件加工的传送装置


[0001]本技术涉及微电子加工
,具体地说,涉及一种用于微电子器件加工的传送装置。

技术介绍

[0002]随着微电子技术的发展其集成化程度得到提高,集成规模不断扩大,工艺尺寸的缩小,然而其接触电阻、迁移率退化及可靠性等方面问题也将随之而来,微电子器件作为精密电子器件其抗震性能弱,然而现有加工方式在加工时容易因为震动而导致为电子器件的损坏,因此需要一种用于微电子器件的加工传送装置。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于微电子器件加工的传送装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的,本技术提供一种用于微电子器件加工的传送装置,包括传动器,所述传动器包括运输体,所述运输体包括传送架,所述传送架开设有贯穿其表面的旋转槽,所述旋转槽内转动连接有滚筒,所述滚筒表面套接有传送带,所述传送架一侧设有立方体,所述传送架立方体顶部开设有固定口,所述固定口内通过螺栓固定有伺服电机,所述伺服电机与所述滚筒传动连接,所述传送带表面设有固定体,所述固定体包括位于所述传送带表面的外部框,所述外部框内底部和侧表面设有多个一号弹簧,所述一号弹簧连接有内部框,所述内部框内设有固定架,所述固定架内设有多个放置槽。
[0005]作为本技术方案的进一步改进,所述伺服电机设有驱动轴,所述滚筒内相应开设有驱动槽,所述驱动轴与所述驱动槽卡接配合。
[0006]作为本技术方案的进一步改进,所述滚筒两端边缘设有外沿环。
[0007]作为本技术方案的进一步改进,所述传送带表面开设有多个插接槽,所述插接槽为圆形穿口,所述外部框底部相应设有插接体,所述插接体为圆柱体,所述插接体与所述插接槽插接配合。
[0008]作为本技术方案的进一步改进,所述放置槽内设有放置板。
[0009]作为本技术方案的进一步改进,所述放置板与微电子器件相接触部位表面设有橡胶层。
[0010]作为本技术方案的进一步改进,所述放置槽与所述放置板之间通过二号弹簧相连接。
[0011]与现有技术相比,本技术的有益效果:
[0012]1、该用于微电子器件加工的传送装置中,通过设有外沿环可避免传送带从滚筒表面的滑落,通过插接配合的插接槽、插接体可确保固定体与传送带的相对固定,避免由于摩擦力不足而导致固定体在传送带表面的滑动。
[0013]2、该用于微电子器件加工的传送装置中,通过设有放置板可更好的对微电子器件
进行固定以避免微电子器件在放置槽内的晃动,通过设有橡胶层既可增大摩擦力避免微电子器件的脱落也可起到缓冲的作用避免微电子器件碰撞损坏。
附图说明
[0014]图1为本技术的整体结构示意图;
[0015]图2为本技术的传动器结构示意图;
[0016]图3为本技术的运输体结构示意图;
[0017]图4为本技术的固定体结构示意图。
[0018]图中各个标号意义为:
[0019]100、传动器;
[0020]110、运输体;
[0021]111、传送架;112、旋转槽;113、滚筒;1131、驱动槽;114、传送带;115、固定口;116、伺服电机;117、驱动轴;118、插接槽;119、外沿环;
[0022]120、固定体;
[0023]121、外部框;122、一号弹簧;123、内部框;124、固定架;125、放置槽;126、插接体;127、放置板;128、二号弹簧。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0025]在本技术的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。
[0026]实施例1
[0027]请参阅图1

图4所示,本实施例提供一种用于微电子器件加工的传送装置,包括传动器100,传动器100包括运输体110,运输体110包括传送架111,传送架111开设有贯穿其表面的旋转槽112,旋转槽112为圆形穿口,旋转槽112内转动连接有滚筒113,滚筒113两侧设有位于旋转槽112内的圆柱凸起,滚筒113表面套接有传送带114,传送架111一侧设有立方体,传送架111立方体顶部开设有固定口115,固定口115为内有螺纹的圆柱结构凹槽,固定口115内通过螺栓固定有伺服电机116,伺服电机116与滚筒113传动连接,传送带114表面设有固定体120,固定体120包括位于传送带114表面的外部框121,外部框121顶部开设有立方体结构凹槽,外部框121内底部和侧表面设有多个一号弹簧122,一号弹簧122连接有内部框123,内部框123内设有固定架124,固定架124内设有多个放置槽125。
[0028]进一步的为了避免空转,伺服电机116设有驱动轴117,驱动轴117为“十”字体结构,滚筒113内相应开设有驱动槽1131,驱动槽1131为“十”字体结构凹槽,驱动轴117与驱动
槽1131卡接配合,通过设有卡接配合的驱动槽1131、驱动轴117可确保伺服电机116带动滚筒113的同步转动,避免滚筒113的空转。
[0029]进一步的为了避免滑落,滚筒113两端边缘设有外沿环119,通过设有外沿环119可避免传送带114从滚筒113表面的滑落。
[0030]再进一步的为了避免滑动,传送带114表面开设有多个插接槽118,插接槽118为圆形穿口,外部框121底部相应设有插接体126,插接体126为圆柱体,插接体126与插接槽118插接配合,通过插接配合的插接槽118、插接体126可确保固定体120与传送带114的相对固定,避免由于摩擦力不足而导致固定体120在传送带114表面的滑动。
[0031]更进一步的为了避免微电子器件的晃动,放置槽125内设有放置板127,放置板127为“U”型结构,通过设有放置板127可更好的对微电子器件进行固定以避免微电子器件在放置槽125内的晃动。
[0032]此外为了避免碰撞损坏,放置板127与微电子器件相接触部位表面设有橡胶层,通过设有橡胶层既可增大摩擦力避免微电子器件的脱落也可起到缓冲的作用避免微电子器件碰撞损坏。
[0033]具体的为了保护微电子器件,放置槽125与放本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于微电子器件加工的传送装置,其特征在于:包括传动器(100),所述传动器(100)包括运输体(110),所述运输体(110)包括传送架(111),所述传送架(111)开设有贯穿其表面的旋转槽(112),所述旋转槽(112)内转动连接有滚筒(113),所述滚筒(113)表面套接有传送带(114),所述传送架(111)一侧设有立方体,所述传送架(111)立方体顶部开设有固定口(115),所述固定口(115)内通过螺栓固定有伺服电机(116),所述伺服电机(116)与所述滚筒(113)传动连接,所述传送带(114)表面设有固定体(120),所述固定体(120)包括位于所述传送带(114)表面的外部框(121),所述外部框(121)内底部和侧表面设有多个一号弹簧(122),所述一号弹簧(122)连接有内部框(123),所述内部框(123)内设有固定架(124),所述固定架(124)内设有多个放置槽(125)。2.根据权利要求1所述的用于微电子器件加工的传送装置,其特征在于:所述伺服电机(116)...

【专利技术属性】
技术研发人员:荆昊
申请(专利权)人:荆昊
类型:新型
国别省市:

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