【技术实现步骤摘要】
一种晶圆快速烘干装置
[0001]本技术涉及烘干设备
，尤其涉及一种晶圆快速烘干装置。
技术介绍
[0002]在芯片的制造过程中，需要图形转移工艺，其中包括光刻工艺。光刻工艺是一种图形复印技术，是芯片制造工艺中一项关键的技术。简单来说，光刻受到照相技术的启发，利用光刻胶感光特性，将光刻掩膜板的图形精确地复印到涂在晶圆上的光刻胶上。在将光刻胶旋涂到晶圆之前，因为晶圆表面容易吸附潮气，从而会影响光刻胶的粘附性，所以需要对晶圆表面进行烘干。
[0003]然而，现有技术人们一般采用热鼓风机人工逐一烘干，烘干效率低，同时热能利用效果差，并且人工操作不能把控晶圆的是否烘干均匀，在实际的使用过程中造成了一定的不良影响，因此，我们提出了快速均匀的晶圆烘干装置。
技术实现思路
[0004]技术目的：为了解决
技术介绍
中存在的不足，所以本技术公开了一种晶圆快速烘干装置。
[0005]技术方案：一种晶圆快速烘干装置，包括通过铰链连接有箱门的烘干箱本体、热风机和数个晶圆放置网板，所述烘干箱本体的内部设置有数个出风腔，...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆快速烘干装置，其特征在于，包括通过铰链连接有箱门的烘干箱本体、热风机和数个晶圆放置网板，所述烘干箱本体的内部设置有数个出风腔，所述热风机设于烘干箱本体的外部，且所述热风机的出风口通过分歧管路与数个出风腔连接，每个所述出风腔的下表面均剖设有数个出风孔，每个所述出风腔的下部所对应的烘干箱本体两侧表壁均成型有进出槽，且每个所述晶圆放置网板均可插进进出槽设置。2.根据权利要求1所述的一种晶圆快速烘干装置，其特征在于，所述箱门的表面设置有玻璃材质的观察窗。3.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：周志刚，王静强，徐福兴，黄锡钦，陈亮，
申请(专利权)人：昆山基侑电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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