本发明专利技术涉及晶硅加工技术领域，且公开了一种金刚线切割单硅棒用冷却装置，包括支撑壳体，所述支撑壳体的内侧中部固定安装有承液筒，所述承液筒的内腔中部活动安装有转轴，所述转轴的外部固定安装有搅叶。本发明专利技术通过设置输液管，利用输液管和传动板叶相配合，使冷却液有效且针对性的对金刚线进行降温冷却，通过设置活动板，使其带动阀门板进行上下移动，使承液筒的内部冷却液可及时补充，且补充容量适当，通过利用冷却液对活动板造成上压力，使活动板带动牵引绳向上运动，促使耐磨板的表面产生大量热能，利用第一气腔内腔中的气体受热，使晶硅棒体的两端受压加强，增大吸盘抓取件对晶硅棒体两端的摩擦程度，有效加强支撑壳体的抓取效果。抓取效果。抓取效果。
【技术实现步骤摘要】
一种金刚线切割单硅棒用冷却装置
[0001]本专利技术涉及晶硅加工
，具体为一种金刚线切割单硅棒用冷却装置。
技术介绍
[0002]硅是一种极为常见的化学元素，其中，单晶硅是一种半导体材料，被广泛应用在电子产业，现有单晶硅多被制造成硅片，通过在硅片上集成数万个晶体管，从而制成电子芯片，现有芯片的生产过程，是通过熔炉装置将单晶硅或者多晶硅进行融化，再将种子晶体埋入硅熔体内，使其长成单个的晶硅棒，成型的单硅棒通过切削装置，将圆柱形的晶硅棒体切削成方形的晶硅棒体，再通过抓取装置，提起晶硅棒体，利用金刚线对晶硅棒进行均匀切割，使其分离成单独的晶硅片，被切割后，再由打磨抛光装置，对其进行全面的磨抛操作，从而完成芯片的雏形制作。
[0003]现有晶硅棒在进行切割时，因金刚线与棒体之间的摩擦滑动，其需要进行及时的冷却降温，以避免线体或者棒体产生损裂，而现有冷却装置，多采用喷头喷射冷却液的方式，对切割装置进行冷却，但因金刚线线体极小，切割缝隙较小，冷却装置单方向的固定喷洒，存在冷却液不易流入切割部位，无法有效且及时的对金刚线进行降温冷却，长期之下，金刚线极易存在断线的问题，若金刚线断裂，则会导致晶硅棒切割失败，且对切割装置造成部件上的严重损坏。
技术实现思路
[0004]针对
技术介绍
中提出的现有金刚线切割装置在使用过程中存在的不足，本专利技术提供了一种金刚线切割单硅棒用冷却装置，具备使冷却液充分流入切割部位处，及时对线体进行冷却，且有效加强对晶硅棒的端头抓取的优点，解决了上述
技术介绍
中提出的技术问题。<br/>[0005]本专利技术提供如下技术方案：一种金刚线切割单硅棒用冷却装置，包括支撑壳体，所述支撑壳体的内侧中部固定安装有承液筒，所述承液筒的内腔中部活动安装有转轴，所述转轴的外部固定安装有搅叶，所述转轴的一端固定安装有位于支撑壳体的外侧的电机，所述承液筒的一端固定安装有液泵，所述支撑壳体的上部活动安装有活动板，所述支撑壳体的下部固定安装有支撑板，所述支撑板的底端固定安装有晶硅棒体，所述承液筒的外部活动安装有位于电机的一端的传动板叶，所述传动板叶的一侧表面固定安装有位于承液筒的表面的输液管，所述活动板的底端一侧固定连接有传动杆，所述传动杆的底端固定安装有位于液泵的一端的阀门板，所述活动板的底端两侧分别固定安装有四个牵引绳，四个所述牵引绳的中部活动套接有旋转磨头，所述旋转磨头的一端活动安装有位于支撑壳体的外侧的扭簧，所述旋转磨头的另一端固定安装有导热支撑板，所述导热支撑板的上部固定安装有耐磨板，所述导热支撑板的下部内腔开设有第一气腔，所述第一气腔的一侧内部活动安装有活塞，所述第一气腔的一侧固定安装有位于活塞的一侧的第二气腔，所述支撑壳体的底端固定安装有位于晶硅棒体的两端中部的吸盘抓取件。
[0006]优选的，所述承液筒的形状呈圆柱形，其内部装有冷却液，且其内腔中的冷却液含量少于液泵的一端管体内部冷却液的含量，所述液泵与承液筒相连接的一端管体内部冷却液的含量，与其管体内部容量相等，所述阀门板活动安装在位于承液筒的一端管口和液泵的一端管口相互连接的位置。
[0007]优选的，所述传动板叶的形状呈圆形片状，其片体的厚度值小于所生产硅片的厚度，且传动板叶的片体与输液管相接触的一侧表面为粗糙面，每一片所述传动板叶的上下两端通过柱状体，相邻彼此固定连接在一起，并均匀排列在承液筒的外部，且传动板叶的一端延伸有直角形支柱与电机的一端固定套接。
[0008]优选的，所述输液管的形状呈长方形，其内部为中空管腔，每两个所述输液管构成一组，固定安装在承液筒的表面，且位于传动板叶的一侧表面，所述输液管的一端与承液筒的表面相连通，其另一端开设有小孔，孔口正对朝向传动板叶的表面，在一组所述输液管中，其中一个所述输液管，其不与承液筒相连接的一端所在位置，是在传动板叶的圆形边缘上的一点，此点位置所具备的前提条件是，此点所对应的切线，其端点正对应在晶硅棒体的一侧表面的中部位置，而另一个所述输液管，其所在位置是以承液筒的圆心为中心，并与另一个输液管呈一百八十度旋转的相反位置处。
[0009]优选的，所述牵引绳呈螺旋状均匀缠绕在旋转磨头的表面，其一端固定安装在活动板的一侧底端，其另一端固定安装在支撑板的一侧顶端，所述旋转磨头的形状呈子弹形状，其表面开设有与牵引绳相适配的线槽。
[0010]优选的，所述导热支撑板共有四个，每两个分为一组，分别固定安装在支撑壳体的两侧外部，所述导热支撑板具有导热性，所述第一气腔和第二气腔的内腔充满气体。
[0011]本专利技术具备以下有益效果：
[0012]1、本专利技术通过设置输液管，利用转轴带动搅叶进行转动时所产生的离心运动，使承液筒内腔中所存留的冷却液间歇且连续性的向承液筒的内壁流动，进而流入输液管的内腔，通过输液管一端所设小孔，冷却液向传动板叶的表面流去，因传动板叶的表面粗糙，且呈高速旋转状态，则液流通过传动板叶向外射出，且其射出轨迹是沿切线方向射出，即朝向晶硅棒体的一侧表面射去，又因传动板叶位于硅片所在位置上方，且其片状厚度小于硅片厚度，则冷却液喷射方位正对金刚线所切割的位置，从而飞溅的液流可有效且针对性的对金刚线进行降温冷却，且冷却液可轻易流入切割处，对金刚线线体以及切割面进行有效润滑，并提高冷却效率。
[0013]2、本专利技术通过设置活动板，当冷却液从输液管的内腔流出时，飞射的冷却液使活动板做间接性上下运动，通过活动板带动阀门板进行上下移动，当阀门板向上移动时，液泵和承液筒相互连接的管口处开始贯通，因管体内的冷却液量差，液泵内部冷却液向承液筒内部流入，对承液筒的内部冷却液进行及时补充，同时，液泵可补充的液量与承液筒内部所流失的液量呈正比关系，则可达到承液筒内部冷却液补充及时，且补充容量适当的效果，避免现有冷却装置冷却液流失过多，造成冷却液大量浪费的问题。
[0014]3、本专利技术通过利用冷却液射出，对活动板造成上压力，使活动板带动牵引绳向上运动，则牵引绳被拉动时，旋转磨头自身发生快速转动，旋转磨头的一端与耐磨板的表面产生摩擦，促使耐磨板的表面产生大量热能，利用导热支撑板对耐磨板所产生的热能进行传导，则第一气腔内腔中的气体受热，而发生膨胀现象，进而向下运动挤压活塞向前运动，当
活塞向前运动时，其不断挤压第二气腔内部气体，使气体受压，当气体不断压缩时，气体对晶硅棒体的表面施加一个压力，使晶硅棒体的两端受压加强，增大吸盘抓取件对晶硅棒体两端的摩擦程度，有效加强支撑壳体的底端对晶硅棒体两端的抓取效果，避免现有吸盘抓取件对晶硅棒体的两端抓取不牢固，而存在棒体滑落的问题。
附图说明
[0015]图1为本专利技术结构剖面正视示意图；
[0016]图2为本专利技术旋转磨头正视示意图；
[0017]图3为本专利技术传动板叶剖面侧视示意图；
[0018]图4为本专利技术结构侧视示意图。
[0019]图中：1、支撑壳体；2、承液筒；3、转轴；4、搅叶；5、电机；6、液泵；7、活动板；8、支撑板；9、晶硅棒体；10、传动板叶；11、输液管；12、传动杆；13、阀门板；本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种金刚线切割单硅棒用冷却装置，包括支撑壳体(1)，其特征在于：所述支撑壳体(1)的内侧中部固定安装有承液筒(2)，所述承液筒(2)的内腔中部活动安装有转轴(3)，所述转轴(3)的外部固定安装有搅叶(4)，所述转轴(3)的一端固定安装有位于支撑壳体(1)的外侧的电机(5)，所述承液筒(2)的一端固定安装有液泵(6)，所述支撑壳体(1)的上部活动安装有活动板(7)，所述支撑壳体(1)的下部固定安装有支撑板(8)，所述支撑板(8)的底端固定安装有晶硅棒体(9)，所述承液筒(2)的外部活动安装有位于电机(5)的一端的传动板叶(10)，所述传动板叶(10)的一侧表面固定安装有位于承液筒(2)的表面的输液管(11)，所述活动板(7)的底端一侧固定连接有传动杆(12)，所述传动杆(12)的底端固定安装有位于液泵(6)的一端的阀门板(13)，所述活动板(7)的底端两侧分别固定安装有四个牵引绳(14)，四个所述牵引绳(14)的中部活动套接有旋转磨头(15)，所述旋转磨头(15)的一端活动安装有位于支撑壳体(1)的外侧的扭簧(16)，所述旋转磨头(15)的另一端固定安装有导热支撑板(17)，所述导热支撑板(17)的上部固定安装有耐磨板(18)，所述导热支撑板(17)的下部内腔开设有第一气腔(19)，所述第一气腔(19)的一侧内部活动安装有活塞(20)，所述第一气腔(19)的一侧固定安装有位于活塞(20)的一侧的第二气腔(21)，所述支撑壳体(1)的底端固定安装有位于晶硅棒体(9)的两端中部的吸盘抓取件(22)。2.根据权利要求1所述的一种金刚线切割单硅棒用冷却装置，其特征在于：所述承液筒(2)的形状呈圆柱形，其内部装有冷却液，且其内腔中的冷却液含量少于液泵(6)的一端管体内部冷却液的含量，所述液泵(6)与承液筒(2)相连接的一端管体内部冷却液的含量，与其管体内部容量相等，所述阀门板(13)活动安装在位于承液筒(2)的一端管口和液泵(6...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭焕秀，
申请(专利权)人：郭焕秀，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。