一种集成电路所需化学品的供应柜制造技术

一种集成电路所需化学品的供应柜，包括供应柜本体、保护罩和夹持机构，于所述供应柜本体的面罩上设置保护罩，于所述面罩上设置和取样接头的位置与数量相对应的第一通孔，于所述保护罩上至少设置一个第二通孔和夹持机构，所述第二通孔的位置和至少部分所述第一通孔的位置相对应，所述夹持机构和所述第二通孔的数量相对应，所述夹持机构包括因夹持需要而相向移动并相邻的两个所述夹持板，且两个所述夹持板相对的一侧设置对应的缺口，一个所述夹持机构中的两个所述缺口拼合成一个夹持口。该供应柜利用夹持机构对取样管进行防脱落夹持，避免出现因取样管脱落导致人员受伤的情况。出现因取样管脱落导致人员受伤的情况。出现因取样管脱落导致人员受伤的情况。

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路所需化学品的供应柜


[0001]本技术涉及集成电路中的化学品供应柜，尤其涉及一种可对取样管进行防脱落保护的化学品供应柜。

技术介绍

[0002]集成电路半导体芯片厂的建设规模越来越大，对制程所用的高纯度化学品的需求也水涨船高。为了保证化学品品质，每种化学品在更换管路系统中的滤芯后或做季度检时，会对化学品中的Particle(微颗粒)做测试。
[0003]半导体芯片厂所用的化学品大概有三十多种，基本每天都会有化学品的取样操作，在取样过程中，需要将取样管接入化学品供应柜的接头处，并将螺母拧紧，如果取样点的螺母没有固定牢靠，就会有取样管脱落的风险，导致人员受伤，事实上也已经发生过因取样管脱落导致人员受伤的事故。
[0004]因此，针对以上缺陷，需要对集成电路所需化学品的供应柜进行有效创新。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种集成电路所需化学品的供应柜，该供应柜利用夹持机构对取样管进行防脱落夹持，避免出现因取样管脱落导致人员受伤的情况。
[0006]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0007]一种集成电路所需化学品的供应柜，包括供应柜本体、保护罩和夹持机构，于所述供应柜本体的面罩上设置保护罩，于所述面罩上设置和取样接头的位置与数量相对应的第一通孔，于所述保护罩上至少设置一个第二通孔和夹持机构，所述第二通孔的位置和至少部分所述第一通孔的位置相对应，所述夹持机构和所述第二通孔的数量相对应，以便在取样管通过第二通孔和第一通孔连接取样接头以便取样时，夹持机构可以同时对取样管进行夹持，所述夹持机构包括因夹持需要而相向移动并相邻的两个所述夹持板，且两个所述夹持板相对的一侧设置对应的缺口，一个所述夹持机构中的两个所述缺口拼合成一个夹持口；
[0008]相应的，所述保护罩通过设置于所述保护罩两端的支撑板架设于所述面罩上，为夹持机构预留设置空间；
[0009]相应的，于所述保护罩上设置一个第二通孔，所述第二通孔的位置和其中一个所述第一通孔的位置相对应；
[0010]相应的，于所述保护罩上设置位置和数量与所述第一通孔相对应的第二通孔；
[0011]相应的，所述第一通孔和所述第二通孔为圆形孔；
[0012]相应的，所述夹持口的尺寸小于所述第一通孔和所述第二通孔的尺寸；
[0013]相应的，所述缺口为半圆形，两个所述缺口拼合成圆形的夹持口；
[0014]相应的，所述夹持板通过滑块滑动设置于条形孔中，所述条形孔设置于所述保护罩上；
[0015]相应的，一个所述夹持机构中的两个所述夹持板设置于同一个所述条形孔中，所述条形孔在其长度方向上的中轴线和所述第二通孔其中一条中轴线相平行，且所述条形孔和所述第二通孔的中心存在垂直距离；
[0016]相应的，一个所述夹持机构中的两个所述夹持板设置于两个不同的所述条形孔中，两个所述条形孔在各自长度方向上的中轴线和所述第二通孔中的同一条中轴线平行或重叠。
[0017]本技术的有益效果为：该供应柜利用夹持机构对取样管进行防脱落夹持，避免出现因取样管脱落导致人员受伤的情况。
附图说明
[0018]图1是本技术一实施例所述的集成电路所需化学品的供应柜上保护罩的结构示意图；
[0019]图2是将图1所示的保护罩安装于供应柜本体上的侧面结构示意图；
[0020]图3是一个实施例中取样接头、第一通孔、保护罩以及夹持机构的结构对应示意图；
[0021]图4是另一个实施例中取样接头、第一通孔、保护罩以及夹持机构的结构对应示意图；
[0022]图5
‑
图9是条形孔的几种不同设置方式示意图；
[0023]图中：
[0024]11、柜体；12、取样接头；13、面罩；14、第一通孔；
[0025]2、保护罩；21、第二通孔；
[0026]3、夹持板；31、缺口；
[0027]4、滑块；5、条形孔。
具体实施方式
[0028]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0029]此外，术语“第一”、“第二”、“一号”、“二号”、“三号”、“四号”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“部分”具体到数量包括一个或多个，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0030]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0031]以下结合附图对本技术的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本技术，并非用于限定本技术的范围。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。
[0032]如图1和2所示，在本技术的一个实施例中，集成电路所需化学品的供应柜包括供应柜本体、保护罩2和夹持机构，供应柜本体为现有的结构，包括柜体11、设置于柜体11内的取样接头12以及盖合于柜体11上的面罩13，于面罩13上设置和取样接头12的位置与数量相对应的第一通孔14；
[0033]于面罩13上设置保护罩2。鉴于在保护罩2和面罩13之间(也即保护罩2的内侧)设置夹持机构便于操作(并不意味排除了在保护罩2外侧或其他侧设置夹持机构的方式)，因此，本实施例中，为了在保护罩2和面罩13之间预留空间用于设置夹持机构，保护罩2通过设置于保护罩2两端的支撑板架设于面罩13上，支撑板可以采用螺丝或粘贴的方式固定；
[0034]保护罩2设置有一个或多个，当一个保护罩2就能覆盖全部取样接头12所处的区域时，可以只设置一个，也可以通过多个保护罩2实现对全部取样接头12所处区域的覆盖，于保护罩2上设置第二通孔21。a、对于只设置一个保护罩2的，一个保护罩2上第二通孔21的位置和数量与第一通孔14的位置和数量相对应；b、对于设置有多个保护罩2的，例如，为两个取样接头12配置两个保护罩2，则每个保护罩2上设置一个第二通孔21和夹持机构，第二通孔21的位置和其中一个第一通孔14的位置相对应，即设置有多个保护罩2时，多个保护罩2上第二通孔21的总数和位置与第一通孔14的数量和位置相对应。本实施例中，为了简化描述，于面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成电路所需化学品的供应柜，其特征在于，包括供应柜本体、保护罩和夹持机构，于所述供应柜本体的面罩上设置保护罩，于所述面罩上设置和取样接头的位置与数量相对应的第一通孔，于所述保护罩上至少设置一个第二通孔和夹持机构，所述第二通孔的位置和至少部分所述第一通孔的位置相对应，所述夹持机构和所述第二通孔的数量相对应，所述夹持机构包括因夹持需要而相向移动并相邻的两个夹持板，且两个所述夹持板相对的一侧设置对应的缺口，一个所述夹持机构中的两个所述缺口拼合成一个夹持口。2.根据权利要求1所述的一种集成电路所需化学品的供应柜，其特征在于，所述保护罩通过设置于所述保护罩两端的支撑板架设于所述面罩上。3.根据权利要求1所述的一种集成电路所需化学品的供应柜，其特征在于，于所述保护罩上设置一个第二通孔，所述第二通孔的位置和其中一个所述第一通孔的位置相对应。4.根据权利要求1所述的一种集成电路所需化学品的供应柜，其特征在于，于所述保护罩上设置位置和数量与所述第一通孔相对应的第二通孔。5.根据权利要求1所述的一种集成电路所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张超峰，
申请(专利权)人：上海精泰机电系统工程有限公司，
类型：新型
国别省市：