一种谐振芯片及其制作方法技术

本申请提供了一种谐振芯片及其制作方法，涉及半导体领域。该谐振芯片包括衬底；位于衬底一侧的导电层；位于导电层一侧的附着层；位于附着层一侧的介电层，其中，介电层上设置有谐振狭缝，谐振狭缝贯通介电层。本申请通过设置谐振狭缝，在进行生物分子荧光测试时，在谐振狭缝中可以实现更高能量的光场局域，大大地提高了狭缝内生物分子的荧光增强效果，从而有效地提高荧光测序的准确率以及荧光信号的信噪比。噪比。噪比。

【技术实现步骤摘要】
一种谐振芯片及其制作方法


[0001]本专利技术涉及半导体领域，具体而言，涉及一种谐振芯片及其制作方法。

技术介绍

[0002]目前，固态电子学技术与生物研究应用的结合取得了很多重要进展，包括分子阵列技术、微流控芯片技术、化学敏感场效应晶体管以及零模式波导等有价值的传感技术。
[0003]但是现有的阵列芯片在进行生物化学荧光分析时，往往存在荧光测序的准确率低且荧光信号的信噪比较低的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供了一种谐振芯片及其制作方法，其能够有效地提高荧光测序的准确率以及荧光信号的信噪比。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术实施例采用的技术方案如下：
[0006]本申请提供了一种谐振芯片，所述谐振芯片包括：
[0007]衬底；
[0008]位于所述衬底一侧的导电层；
[0009]位于所述导电层一侧的附着层；
[0010]位于所述附着层一侧的介电层，其中，所述介电层上设置有谐振狭缝，所述谐振狭缝贯通所述介电层。
[0011]可选的，所述介电层包括谐振器与过渡介电层；
[0012]所述过渡介电层位于所述附着层的一侧，所述谐振器位于所述过渡介电层的一侧；
[0013]所述谐振狭缝依次贯通所述谐振器与所述过渡介电层。
[0014]可选的，所述谐振器为圆形，所述谐振狭缝的形状为条状矩形，所述谐振狭缝设置于所述谐振器的中心。
[0015]可选的，制作所述谐振器与所述过渡介电层的材料包括磷化镓。
[0016]可选的，所述介电层还包括介电波导，所述介电波导位于所述过渡介电层上。
[0017]可选的，所述介电波导发射的光束水平入射所述谐振器。
[0018]可选的，所述介电波导发射的光束与所述谐振器平行。
[0019]可选的，所述导电层与所述衬底上还设置有渗水孔，所述渗水孔的位置与所述谐振狭缝对应。
[0020]本申请还提供了一种谐振芯片的制作方法，所述方法包括：
[0021]提供一衬底；
[0022]沿所述衬底的一侧生成导电层；
[0023]沿所述导电层的一侧生成附着层；
[0024]沿所述附着层的一侧制作介电层，其中，所述介电层上设置有谐振狭缝，所述谐振
狭缝贯通所述介电层。
[0025]相对于现有技术，本专利技术具有以下有益效果：
[0026]本申请提供了一种谐振芯片及其制作方法，该谐振芯片包括衬底；位于衬底一侧的导电层；位于导电层一侧的附着层；位于附着层一侧的介电层，其中，介电层上设置有谐振狭缝，谐振狭缝贯通介电层。本申请通过设置谐振狭缝，在进行生物分子荧光测试时，在谐振狭缝中可以实现更高能量的光场局域，大大地提高了狭缝内生物分子的荧光增强效果，从而有效地提高荧光测序的准确率以及荧光信号的信噪比。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0028]图1为本申请实施例提供的谐振芯片的剖面示意图之一；
[0029]图2为本申请实施例提供的谐振芯片的剖面示意图之二；
[0030]图3为本申请实施例提供的谐振芯片的结构示意图之一；
[0031]图4为本申请实施例提供的谐振芯片的剖面示意图之三；
[0032]图5为本申请实施例提供的谐振芯片的透视图；
[0033]图6为本申请实施例提供的谐振芯片的结构示意图之二；
[0034]图7为本申请实施例提供的谐振芯片的结构示意图之三；
[0035]图8为本申请实施例提供的谐振芯片的制作方法流程图。
[0036]图标：101
‑
介电层；102
‑
附着层；103
‑
导电层；104
‑
衬底；1011
‑
谐振器；1012
‑
过渡介电层；1013
‑
介电波导。
具体实施方式
[0037]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0038]因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0039]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0040]在本专利技术的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0041]此外，若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0042]术语“包括”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
[0043]下面结合附图，对本专利技术的一些实施方式作详细说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术的实施例中的特征可以相互结合。
[0044]正如
技术介绍
中所记载的，目前，固态电子学技术与生物研究应用的结合取得了很多重要进展，包括分子阵列技术、微流控芯片技术、化学敏感场效应晶体管以及零模式波导等有价值的传感技术。
[0045]但是现有的阵列芯片在进行生物化学荧光分析时，往往存在荧光测序的准确率低且荧光信号的信噪比较低的问题。
[0046]针对现有技术所存在的问题，均是专利技术人在经过实践并仔细研究后得出的结果，因此，上述问题的发现过程以及下文中本专利技术实施例针对上述问题所提出的解决方案，都应该是专利技术人在专利技术过程中做出的贡献。
[0047]有鉴于此，为了解决上述问题，本申请提供了一种谐振芯片，通过设置谐振狭缝，大大地提高了狭缝内生物分子的荧光增强效果，从而有效地提高荧光测序的准确率以及荧光信号的信噪比。
[0048]下面对本实施例提供的谐振芯片进行示例性说明。
[0049]请结合参阅图1，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种谐振芯片，其特征在于，所述谐振芯片包括：衬底；位于所述衬底一侧的导电层；位于所述导电层一侧的附着层；位于所述附着层一侧的介电层，其中，所述介电层上设置有谐振狭缝，所述谐振狭缝贯通所述介电层。2.根据权利要求1所述的谐振芯片，其特征在于，所述介电层包括谐振器与过渡介电层；所述过渡介电层位于所述附着层的一侧，所述谐振器位于所述过渡介电层的一侧；所述谐振狭缝依次贯通所述谐振器与所述过渡介电层。3.根据权利要求2所述的谐振芯片，其特征在于，所述谐振器为圆形，所述谐振狭缝的形状为条状矩形，所述谐振狭缝设置于所述谐振器的中心。4.根据权利要求2所述的谐振芯片，其特征在于，制作所述谐振器与所述过渡介电层的材料包括磷化镓。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：李毅，杨亚涛，
申请(专利权)人：南方科技大学，
类型：发明
国别省市：