一种用于压阻式压力传感器的测试结构制造技术

本实用新型专利技术涉及压力传感器技术领域，特别涉及一种用于压阻式压力传感器的测试结构，包括安置板，安置板的上方从内向外依次密封设置有内壳和外壳；外壳与内壳之间形成压力腔；外壳的中心设置有进气口，进气口与所述压力腔相通；内壳的侧壁上设置有若干个均布的通气孔；外壳和内壳均为中心对称结构；安置板设置有若干个均布的输气口，输气口用于安置待测传感器。通过流体动力学，气体在进入中心对称形状的容器中时，到达内壁的压力分布更均匀，因此，通过通气孔的调节使得输气口输出的压力相同。通过通气孔的调节使得输气口输出的压力相同。通过通气孔的调节使得输气口输出的压力相同。

【技术实现步骤摘要】
一种用于压阻式压力传感器的测试结构


[0001]本技术涉及压力传感器
，特别涉及一种用于压阻式压力传感器的测试结构。

技术介绍

[0002]压阻式压力传感器内部含有硅杯式芯片，通过一层薄膜感受外界气体压力，薄膜四周覆盖惠斯通电桥，薄膜感受不同压力，使电阻阻值发生变化，产生不同电信号，是一类将压力信号转换成电信号的器件。
[0003]目前压阻式压力传感器的测试方法一般采用的是单个产品测试夹具。采用单个测试的方式测试低效率，高成本，无法实现多个压阻式压力传感器同时加压测试，不利于规模测试；批量测试的夹具往往因压力控制不够准确，不能保证每个输出口压力都相同，而使测试结果出现偏差。因此，迫切需要既能批量生产、又能保证每个输出口压力相同的批量测试结构。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服现有技术中存在的缺陷与不足，为此本技术提供了一种用于压阻式压力传感器的测试结构，能够实现批量测试压力传感器。
[0005]为了实现上述目的，本技术提供了一种用于压阻式压力传感器的测试结构，包括安置板，所述安置板的上方从内向外依次密封设置有内壳和外壳；所述外壳与内壳之间形成压力腔；所述外壳的中心设置有进气口，所述进气口与所述压力腔相通；所述内壳的侧壁上设置有若干个均布的通气孔；所述外壳和内壳均为中心对称结构；所述安置板设置有若干个均布的输气口，所述输气口用于安置待测传感器。
[0006]进一步地，所述外壳为正方体结构。
[0007]进一步地，所述内壳为正方体结构。
[0008]进一步地，所述外壳与所述内壳的侧壁相互平行且等间距设置。
[0009]进一步地，所述内壳的中心密封设置有向下凹陷的凹壳，所述凹壳为中心对称结构，所述凹壳的侧壁上设置有若干个均布的气流调节孔。
[0010]进一步地，若干个所述气流调节孔与所述安置板的底端距离均为H1，若干个所述通气孔与所述安置板的底端距离均为H2，H1＝H2。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012](1)本技术采用压力腔结构，在保证整体气密性的同时，可实现压阻式压力传感器批量化测试；
[0013](2)能够充分地分散进气口的气压，保证输气口压力的均一性，使每个测试产品上受到的压力相同。
[0014](3)本技术的外形简单，使用方便，结构稳定，抗冲击。
附图说明
[0015]图1为本技术的一种结构示意图。
[0016]图2为本技术的另一种结构示意图。
[0017]图3为图2的气流导向图。
[0018]图4为图1和图2的外部示意图。
[0019]图5为图2的轴侧示意图。
[0020]其中：1、外壳；2、内壳；3、凹壳；4、进气口；5压力腔；6、安置板；21、通气孔；31、气流调节孔；61、输气口。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0023]实施例1
[0024]请参阅图1和图4，本技术提供了一种用于压阻式压力传感器的测试结构，包括安置板6，安置板6的上方从内向外依次密封设置有内壳2和外壳1；外壳1与内壳2之间形成压力腔5；外壳1的中心设置有进气口4，进气口4与压力腔5相通；内壳2的侧壁上设置有若干个均布的通气孔21；外壳1和内壳2均为中心对称结构；安置板6设置有若干个均布的输气口61，该输气口61用于安置待测传感器。也就是说输气口61需要与待测传感器的尺寸相匹配。
[0025]优选地，外壳1为正方体结构。
[0026]优选地，内壳2为正方体结构。
[0027]优选地，外壳1与内壳2的侧壁相互平行且等间距设置。
[0028]实施例2
[0029]请参阅图2至图5，本实施例与上述实施例1的不同之处在于，内壳2的中心密封设置有向下凹陷的凹壳3，该凹壳3为中心对称结构，凹壳3的侧壁上设置有若干个均布的气流调节孔31。
[0030]优选地，若干个气流调节孔31与安置板6的底端距离均为H1，若干个通气孔21与安置板6的底端距离均为H2，H1＝H2。
[0031]本技术的原理：
[0032]根据流体动力学，气体在进入中心对称形状的容器中时，到达内壁的压力分布更均匀。因此，圆柱形结构和方形结构均可以用于本技术。这里以方形结构为例，气流通过压力腔5的通气孔21和/或气流调节孔31使得单一流向的气体在压力腔5中得到充分地分
散，同时安置板6上的输气口61采用等距排列，进一步提升了气压输出的稳定性、均一性。
[0033]本技术在使用时，把进气管插入进气口5中并密封好，气体通过进气口4进入压力腔5中，气体在压力腔5中经过内壳2外部的通气孔21和/或内部的气流调节孔31得到均匀分散，使其在到达安置板6上的各个输气口61处的气压相同，在批量测试过程中，确保每个产品输入的气压值相同。
[0034]本技术可用其他的不违背本技术的精神或主要特征的具体形式来概述。因此，无论从哪一点来看，本技术的上述实施方案都只能认为是对本技术的说明而不能限制本技术，权利要求书指出了本技术的范围，而上述的说明并未指出本技术的范围，因此，在与本技术的权利要求书相当的含义和范围内的任何改变，都应认为是包括在本技术的权利要求书的范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于压阻式压力传感器的测试结构，其特征在于，包括安置板(6)，所述安置板(6)的上方从内向外依次密封设置有内壳(2)和外壳(1)；所述外壳(1)与内壳(2)之间形成压力腔(5)；所述外壳(1)的中心设置有进气口(4)，所述进气口(4)与所述压力腔(5)相通；所述内壳(2)的侧壁上设置有若干个均布的通气孔(21)；所述外壳(1)和内壳(2)均为中心对称结构；所述安置板(6)设置有若干个均布的输气口(61)，所述输气口(61)用于安置待测传感器。2.根据权利要求1所述的测试结构，其特征在于，所述外壳(1)为正方体结构。3.根据权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张赟，刘怀超，程洪新，宫立国，李成林，栾新雨，于广大，杨杰，
申请(专利权)人：明石创新烟台微纳传感技术研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：