一种高纯气体分析系统技术方案

本实用新型专利技术涉及气体分析附属装置的技术领域，特别是涉及一种高纯气体分析系统，其结构简单，通过简单的旋转即可对两个过滤器的状态进行切换，操作更加方便；包括外壳，外壳设置有采样头、过滤器一、过滤器二、预处理机构、气体分析仪、控制机构和显示机构，两个过滤器并联设置，采样头固定在外壳并凸出于外壳；采样头连通有环形管，环形管另一端与预处理机构连通，环形管包括用于安装过滤器一的管道一以及用于安装过滤器二的管道二，管道一安装有两个阀门一，两个阀门一分别处于过滤器一的两侧，阀门一的主轴上固定连接有驱动杆一，驱动杆一的另一端上固定连接驱动轴一，管道二安装有两个阀门二，两个阀门二分别处于过滤器二的两侧。侧。侧。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯气体分析系统


[0001]本技术涉及气体分析附属装置的
，特别是涉及一种高纯气体分析系统。

技术介绍

[0002]大规模集成电路、化合物半导体器件、光纤等各行各业对气体纯度要求越来越高，气体的纯度严重制约着这些产业的发展。样品残留及空气的侵入、渗漏和污染是影响高纯气体中痕量杂质定量准确性的关键因素。在高纯气体分析中，整个分析过程须处于“完全密闭”状态，从取样到进样，不能有外来大气的渗入。对于杂质含量在10
‑9量级时，更有必要对进样系统采用高真空处理，充干净介质进行保护。
[0003]现有技术中，高纯气体分析系统包括采样头、预处理机构、气体分析仪、显示机构和控制机构，其中预处理机构内包含过滤器，用于将气体样本进行过滤除尘，并且过滤器多设置两组，并在过滤器的两侧均设置手阀，当过滤器需要更换时，需要各操作四个手阀，然后才可以拆掉过滤器，效率较低，非常不便。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术提供一种高纯气体分析系统，其结构简单，通过简单的旋转即可对两个过滤器的状态进行切换，操作更加方便。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯气体分析系统，包括外壳（1），外壳（1）设置有采样头（2）、过滤器一（3）、过滤器二（4）、预处理机构（5）、气体分析仪（6）、控制机构（7）和显示机构（8），两个过滤器并联设置，采样头（2）固定在外壳（1）并凸出于外壳（1）；其特征在于，采样头（2）连通有环形管（9），环形管（9）另一端与预处理机构（5）连通，环形管（9）包括用于安装过滤器一（3）的管道一（10）以及用于安装过滤器二（4）的管道二（11），管道一（10）安装有两个阀门一（12），两个阀门一（12）分别处于过滤器一（3）的两侧，阀门一（12）的主轴上固定连接有驱动杆一（13），驱动杆一（13）的另一端上固定连接驱动轴一（14），管道二（11）安装有两个阀门二（15），两个阀门二（15）分别处于过滤器二（4）的两侧，阀门二（15）的主轴上固定连接有驱动杆二（16），驱动杆二（16）的另一端上固定连接驱动轴二（17），外壳（1）内安装有基座（18），基座（18）上滑动安装有齿条一（19）和齿条二（20），齿条一（19）两端均固定连接带有长条孔一的动力环一（21），驱动轴一（14）穿过动力环一（21），齿条二（20）两端均固定连接带有长条孔二的动力环二（22），驱动轴二（17）穿过动力环二（22）；基座（18）上转动安装有支撑轴（...

【专利技术属性】
技术研发人员：梅海，王红都，蔡红军，周建伟，高文胜，
申请(专利权)人：无锡市圣马气体有限公司，
类型：新型
国别省市：