一种精密蚀刻模组及精密蚀刻装置及其装置的蚀刻工艺制造方法及图纸

本发明专利技术涉及蚀刻处理技术领域，公开了一种精密蚀刻模组及精密蚀刻装置及其装置的蚀刻工艺，包括模组框架、线性驱动组件、蚀刻喷射装置、蚀刻水槽、夹持装置；精密蚀刻模组实现对蚀刻基板如:PCB板竖直蚀刻，避免了水膜的产生，保证蚀刻的均匀性。本申请的喷管可近距离对基板进行喷射蚀刻,其蚀刻效果效率提高；竖直放置的方式最大的优势在于，可大大减少占地面积；而且同一个精密蚀刻装置内可以对不同蚀刻要求的基板进行蚀刻处理，使得蚀刻加工更加灵活。在实际生产中，某个基板蚀刻生产线的蚀刻处理出现问题，只需要对对应位置的精密蚀刻模组进行调整维修即可，并不会对其他的精密蚀刻模组造成影响，故可以保证其生产效率不会大受影响。影响。影响。

【技术实现步骤摘要】
一种精密蚀刻模组及精密蚀刻装置及其装置的蚀刻工艺


[0001]本专利技术涉及蚀刻处理领域，尤指一种精密蚀刻模组及精密蚀刻装置及其装置的蚀刻工艺。

技术介绍

[0002]PCB，中文名称为印制线路板，简称印制板，是电子工业的重要部件之一。几乎每种电子设备，小到电子手表、计算器，大到计算机，通讯电子设备，军用武器系统，只要有集成电路等电子元器件，为了它们之间的电气互连，都要使用印制板。在较大型的电子产品研究过程中，最基板的成功因素是该产品的印制板的设计、文件编制和制造。印制板的设计和制造质量直接影响到整个产品的质量和成本，甚至导致商业竞争的成败。
[0003]其中基板的蚀刻工艺是影响基板质量的重要一环，随着基板的质量要求不断提高，对基板蚀刻时的精度也越发的具有更高要求，现有的喷淋处理设备通常通过朝下喷淋处理液对水平移动的材料进行化学反应或清洗，处理液因重力作用在水平移动的基材上面形成一层水膜，阻碍新的处理液与材料接触而造成上表面存在"水池效应"，从而使得喷淋的液体不能直接喷洒到水平移动基材上，造成蚀刻的不均匀，并且在蚀刻结束后未能将基板表面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种精密蚀刻模组，其特征在于，包括：模组框架，模组框架内设置有用于竖直放置基板的配装槽位；线性驱动组件，线性驱动设置在所述模组框架上；蚀刻喷射装置，蚀刻喷射装置位于基板的正面以及背面，所述线性驱动组件与蚀刻喷射装置驱动连接，并带动蚀刻喷射装置对所述基板正面以及背面进行喷射蚀刻处理。2.根据权利要求1所述的一种精密蚀刻模组，其特征在于：所述蚀刻喷射装置包括泵体、夹具组件以及若干条水平横置的喷管，所述泵体与喷管相连通，所述夹具组件与喷管连接，且线性驱动组件与夹具组件驱动连接并带动喷管沿竖直方向作往返移动。3.根据权利要求2所述的一种精密蚀刻模组，其特征在于：每一条喷管的外侧壁均匀开设有若干个朝向基板的喷射孔每一条喷管的外侧壁均匀开设有若干个朝向基板的喷射孔或若干条朝向基板的喷射条。4.根据权利要求3所述的一种精密蚀刻模组，其特征在于：所述夹具组件包括夹具基座以及喷管夹具，所述线性驱动组件与夹具基座驱动连接，所述喷管夹具包括左轴承固定块、右轴承固定块、左喷管滑块、右喷管滑块、左右牙调节螺杆，其中左轴承固定块、右轴承固定块分别设置在夹具基座的两端，且左喷管滑块、右喷管滑块位于左轴承固定块、右轴承固定块之间，其中左右牙调节螺杆的一端穿过左喷管滑块并与左轴承固定块活动连接，左右牙调节螺杆的另一端穿过右喷管滑块并与右轴承固定块活动连接，其中左右牙调节螺杆的任意一末端还连接有调节装置，所述喷管活动安装在所述左喷管滑块、右喷管滑块上。5.一种精密蚀刻装置，其特征在于，包括：蚀刻水槽，用于放置若干个精密蚀刻模组；如权利要求2或3所述的精密蚀刻模组，其中若干个精密蚀刻模组并排设置在蚀刻水槽内，且每个精密蚀刻模组呈...

【专利技术属性】
技术研发人员：江德馨，刘鹏，
申请(专利权)人：东莞市琢器机械设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：