一种针对存在相邻边均相互垂直的多边形的GDSII版图数据的处理方法技术

本发明专利技术提出了一种针对存在相邻边均相互垂直的多边形的GDSII版图数据的处理方法，所述处理方法包括集成电路版图数据的压缩方法和解压方法，所述压缩方法包括：建立直角坐标系，将集成电路版图中的特殊多边形置于所述直角坐标系；取所述特殊多边形上任一拐点为初始点开始遍历，并获取遍历过的结点的坐标；从所述结点中保存拐点的坐标，并依次给所述拐点进行标号；当重新遍历至所述初始点时停止遍历，并输出初始两条边的走向与满足输出条件的拐点的坐标。与现有技术相比，本发明专利技术能够针对特殊多边形的版图数据进行压缩，且具有较高的压缩比和很强的针对性。缩比和很强的针对性。缩比和很强的针对性。

【技术实现步骤摘要】
一种针对存在相邻边均相互垂直的多边形的GDSII版图数据的处理方法


[0001]本专利技术涉及集成电路版图领域，特别是一种针对存在相邻边均相互垂直的多边形的GDSII版图数据的处理方法。

技术介绍

[0002]光学邻近效应修正(Optical Proximity Correction,OPC)是通过一定的计算方法，对光刻掩膜版上的图形形状和尺寸做不同程度上的修正，比如在光刻掩膜板上，改变某透光区域图形的拓扑结构或者添加相对应的细微辅助图形，从而使得投射到光刻胶上的实际图形与设计图形尽可能保持一致。
[0003]在半导体制造工艺器件的过程中，光学临近修正起到了至关重要的作用。现有的主流版图数据存储文件格式是GDSII和OASIS，通过对版图数据进行光学临近修正，可以使得投影到光刻胶上的图形与光刻掩膜版上的原有图形相比能够尽可能保持不失真的状态，从而使得集成电路设计的成品率得到提升。然而OPC是基于版图的每个图层进行修正的，丢失了图层之间的相互引用的关系，因此会额外存储很多的冗余版图数据进而占据更大的内部存储空间。
[0004]有研究表明，到制造工艺的版图数据经过OPC之后，数据量变得极为庞大，高达几个GB甚至几百个GB。然而过于庞大数据量的版图对于制造光刻掩膜版过程有着极其不利的影响。具体表现为，过大版图数据在数据传输过程中需要耗费大量时间，需要光刻掩膜制造厂的相关部门花费大量时间对其进行操作处理，需要占据大量的内部存储空间对其进行存储。由于多边形是GDSII格式版图文件中七大核心图素头之一，因此，采用一定的方法对其可能存在的相邻边均相互垂直情况的多边形的版图数据进行压缩处理，使得其压缩比得以提高就显得尤为重要。
[0005]因此，如何设计一种针对存在相邻边均相互垂直的多边形的GDSII版图数据的处理方法，能够对可能存在的相邻边均相互垂直的多边形的版图数据进行压缩处理是业界亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0006]针对现有技术中版图数据大，占用空间多的问题，本专利技术提出了一种针对存在相邻边均相互垂直的多边形的GDSII版图数据的处理方法。
[0007]本专利技术的技术方案为，提出了一种针对存在相邻边均相互垂直的多边形的GDSII版图数据的处理方法，包括集成电路版图数据的压缩方法和解压方法，所述压缩方法包括：建立直角坐标系，将集成电路版图中的特殊多边形置于所述直角坐标系；取所述特殊多边形上任一拐点为初始点开始遍历，并获取遍历过的结点的坐标；从所述结点中保存拐点的坐标，并依次给所述拐点进行标号；当重新遍历至所述初始点时停止遍历，并输出初始两条边的走向与满足输出条件
的拐点的坐标。
[0008]进一步，所述解压方法包括：根据所述初始两条边的走向、满足输出条件的拐点的坐标，获取所述特殊多边形全部的拐点的坐标；连接全部的拐点还原得出所述特殊多边形。
[0009]进一步，在选取初始点进行遍历之前，还需要判断所述集成电路版图中的多边形是否为特殊多边形，若是，则以所述初始点为起点开始遍历，若否，则直接输出所述多边形的全部结点、多边形的标志。
[0010]进一步，所述特殊多边形为相邻边均相互垂直的多边形。
[0011]进一步，从所述结点中保存拐点的坐标，包括：将正在被遍历的结点的横坐标、纵坐标与参考点的横坐标、纵坐标对比，获取两次对比结果均不相同的第一个结点，所述第一个结点的上一个结点为拐点，保存所述拐点的坐标，并更新参考点为所述拐点；其中，在开始遍历时，参考点被设置为所述初始点。
[0012]进一步，在压缩、遍历特殊多边形结点坐标数据的过程中，不断获取到新的拐点，所述参考点不断更新为最后获取的拐点。
[0013]进一步，依次给所述拐点进行标号，包括：每个拐点的标号为上一个保存的拐点的标号加1，所述初始点的标号为1。
[0014]进一步，所述多边形标志用于存储所述特殊多边形是否为特殊多边形、多边形为特殊多边形时其初始两条边的走向；当所述多边形为特殊多边形且其初始两条边的走向为顺时针时，所述多边形的标志的输出结果为1；当所述多边形为特殊多边形且其初始两条边的走向为逆时针时，所述多边形的标志的输出结果为2；当所述多边形不是特殊多边形时，所述多边形的标志的输出结果为0。
[0015]进一步，当重新遍历至所述初始点时停止遍历，包括：将正在遍历的结点的坐标与所述初始点的坐标对比，若该结点的横坐标、纵坐标与所述初始点的横坐标、纵坐标均相同，则停止遍历。
[0016]进一步，所述满足输出条件的拐点为标号为奇数的拐点。
[0017]进一步，根据所述初始两条边的走向、满足输出条件的拐点的坐标，获取所述特殊多边形全部的拐点的坐标，包括：从所述初始点开始，依次根据相邻两个标号为奇数的拐点推理出位于这两个拐点之间标号为偶数的拐点的两个可能坐标点；将两个可能坐标点与上一个标号为偶数的拐点的坐标进行对比，获取一个坐标点，其横坐标、纵坐标与上一个标号为偶数的拐点的横坐标、纵坐标均不相同，所述坐标点即为相邻两个标号为奇数的拐点之间的标号为偶数的拐点；其中，标号为2的拐点的坐标根据所述初始点的坐标、标号为3的拐点的坐标、初始两条边的走向确定。
[0018]进一步，当所述多边形的标志的输出结果为0时，所述解压方法还包括：依次连接保存的全部结点，还原得出原始的多边形。
[0019]与现有技术相比，本专利技术至少具有如下有益效果：提出了一种GDSII格式的集成电路版图数据的处理方法，其能对存在相邻边均相互垂直的多边形的版图进行数据处理，并压缩版图中至少一半的特殊多边形坐标数据，便
于大版图数据的传输，节省了数据占用的内部存储空间。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为特殊多边形初始两条边顺时针走向、逆时针走向的示意图；图2为本专利技术版图中特殊多边形图形的示意图；图3为特殊多边形经本专利技术压缩方法处理后的效果图；图4为特殊多边形坐标数据的压缩、解压的总体流程图；图5为特殊多边形坐标数据的压缩流程图；图6为特殊多边形坐标数据的解压流程图。
具体实施方式
[0022]为了使本专利技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0023]由此，本说明书中所指出的一个特征将用于说明本专利技术的一个实施方式的其中一个特征，而不是暗示本专利技术的每个实施方式必须具有所说明的特征。此外，应当注意的是本说明书描述了许多特征。尽管某些特征可以组合在一起以示出可能的系统设计，但是这些特征也可用于其他的未明确说明的组合。由此，除非另有说明，所说明的组合并非旨在限制。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种针对存在相邻边均相互垂直的多边形的GDSII版图数据的处理方法，其特征在于，包括集成电路版图数据的压缩方法和解压方法，所述压缩方法包括：建立直角坐标系，将集成电路版图中的特殊多边形置于所述直角坐标系；取所述特殊多边形上任一拐点为初始点开始遍历，并获取遍历过的结点的坐标；从所述结点中保存拐点的坐标，并依次给所述拐点进行标号；当重新遍历至所述初始点时停止遍历，并输出初始两条边的走向与满足输出条件的拐点的坐标。2.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述解压方法包括：根据所述初始两条边的走向、满足输出条件的拐点的坐标，获取所述特殊多边形全部的拐点的坐标；连接全部的拐点还原得出所述特殊多边形。3.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，在选取初始点进行遍历之前，还需要判断所述集成电路版图中的多边形是否为特殊多边形，若是，则以所述初始点为起点开始遍历，若否，则直接输出所述多边形的全部结点、多边形的标志。4.根据权利要求3所述的处理方法，其特征在于，所述特殊多边形为相邻边均相互垂直的多边形。5.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，从所述结点中保存拐点的坐标，包括：将正在被遍历的结点的横坐标、纵坐标与参考点的横坐标、纵坐标对比，获取两次对比结果均不相同的第一个结点，所述第一个结点的上一个结点为拐点，保存所述拐点的坐标，并更新参考点为所述拐点；其中，在开始遍历时，参考点被设置为所述初始点。6.根据权利要求5所述的处理方法，其特征在于，在压缩、遍历特殊多边形结点坐标数据的过程中，不断获取到新的拐点，所述参考点不断更新为最后获取的拐点。7.根据权利要求5所述的处理方法，其特征在于，依次给所述拐点进行标号，包括：每个拐点的标...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯宽，刘美华，张岩，黄国勇，金玉丰，
申请(专利权)人：国微集团深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：