一种低温吸附精制高纯、超纯气体的方法技术

本发明专利技术公开了一种低温吸附精制高纯、超纯气体的方法，该方法在低温下吸附脱除原料气中的杂质气体，制取纯度高于99.99％的高纯、超纯产品气，再生时，使用真空泵对吸附器进行抽空，在抽空的同时，向吸附器内引入少量的杂质组分含量低的气体，对吸附剂进行再生，再生时吸附器的温度不会明显上升。本发明专利技术的低温吸附方法，再生过程中无需刻意对吸附器进行升温，避免了吸附器频繁升温降温带来的大量能量和物料消耗，具有操作简单，能耗低，装置适于长时间连续运行的优点。连续运行的优点。连续运行的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种低温吸附精制高纯、超纯气体的方法


[0001]本专利技术属于气体分离领域，具体为一种低温吸附精制高纯、超纯气体的方法。

技术介绍

[0002]高纯、超纯气体广泛用于电子工业、石油化工、金属冶炼、国防尖端和科学研究等部门，仅以高纯电子气体为例，2019年的市场规模就达到92亿元。高纯、超纯气体的生产技术壁垒高，欧美国家对部分关键产品实施技术封锁，因此，一直以来我国市场需求极度依赖进口。
[0003]目前，国内生产高纯、超纯气体的方法主要为精馏法，精馏法工艺成熟，但是能耗较高，不适于分离沸点相近的气体组分。吸附分离法作为已广泛应用的气体分离方法，具有能耗低、自动化程度高的优点，在低温状态下，吸附剂对杂质气体的吸附能力显著增强，特别是在生产高纯、超纯气体时，能有效吸附微量的杂质气体，有利于获得高纯度的气体产品。但是，由于低温状态下，吸附剂对杂质气体的吸附能力极强，吸附剂吸附饱和后，再生就变得非常困难，常用的抽空再生方法，无法将吸附剂再生干净，吸附剂上残留的杂质气体会严重影响下一次吸附时产品气体的纯度。技术人员即使通过各种技术手段，来强化抽本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低温吸附精制高纯、超纯气体的方法，其特征在于包括以下步骤：吸附：将含有杂质的原料气通入装填有吸附剂的吸附器，吸附器的温度低于0℃，使杂质气体被吸附在吸附剂上，从非吸附相获得高纯或超纯产品气；卸压：吸附步骤后，将吸附器中残留的气体放出，吸附器内压力降至常压或接近常压；再生：使用真空泵，对吸附器进行抽空，在抽空的同时，向吸附器内引入少量的杂质组分含量低的气体，对吸附剂进行再生，再生时吸附器的温度与吸附时吸附器的温度差值小于20℃；充压：将吸附器的压力升至吸附压力。2.根据权利要求1所述低温吸附精制高纯、超纯气体的方法，其特征在于：再生时向吸附器内引入的少量的杂质组分含量低的气体为产品气或卸压气。3.根据权利要求1或2所述低温吸附精制高纯、超纯气体的方法，其特征在于：再生时向吸附器内引入的杂质组分含量低的气体的体积量，与产品气体积量的比例小于20％。4.根据权利要求1
‑
3中任意一项所述低温吸附精制高纯、超纯气体的方法，其特征在于：再生时向吸附器内引入的少量的杂质组分含量低的气体，其温度低于0℃。5.根据权利要求1所述低温吸附精制高纯、超纯气体的方法，其特征在于：再生步骤所需时间...

【专利技术属性】
技术研发人员：李旭，陶宇鹏，王键，张宏宇，张剑锋，杨云，伍毅，鲁德华，潘锋，姚中华，刘照利，
申请(专利权)人：西南化工研究设计院有限公司，
类型：发明
国别省市：