本发明专利技术涉及一种具备薄片矫正单元的层叠装置，能够不使对准台上的薄片损伤，而防止薄片的变形。本发明专利技术的解决单元将多片薄片进行层叠的层叠装置，具备：对准台；薄片移动单元，使薄片对于对准台相对地移动；及对准单元，进行对准台上所载置的薄片的对位；薄片移动单元包含薄片矫正单元，矫正单元具有在与对准台之间夹持薄片的薄片矫正板，在将薄片矫正板的荷重负荷于薄片的状态下，使薄片矫正板追随对准台的移动。据此，由于通过薄片矫正板的荷重从上方将推压力负荷于薄片，所以能够矫正薄片的变形。形。形。
【技术实现步骤摘要】
层叠装置
[0001]本专利技术特别是关于一种在与对准台之间夹持薄片的具备薄片矫正单元的层叠装置。
技术介绍
[0002]层叠装置将构成电子零件的多片薄片进行层叠，具有对准(alignment)单元及层叠单元。此对准单元在通过层叠单元将薄片进行层叠之前，通过进行各薄片的对准(也称为”对齐”)而能够抑制要形成的层叠体的各薄片彼此的偏移。
[0003]例如，于专利文献1记载有：于对准单元中，将薄片载置于对准台(alignment stage)上后，根据薄片的对准标记(alignment mark)的位置信息，使对准台移动，进行薄片的对准而形成层叠体的内容。
[0004][现有技术文献][0005][专利文献][0006]专利文献1：日本特开2000
‑
173859号公报。
技术实现思路
[0007][专利技术所欲解决的技术问题][0008]近年来，由于对于上述的方式所形成的层叠体要求小型化及低矮化，故进行所层叠的薄片本身的薄化。由于此经薄化后的薄片的刚性较低，所以如专利文献1那般，若仅是将薄片载置于对准台上，就有会在薄片产生沿着外周缘的垂直方向的翘曲、中央部的垂直方向的松垮，或对准台面内的扭曲等变形之忧。
[0009]另外，于此状态下，将薄片吸附于对准台时，会有薄片因产生不可逆的皱折，不仅对薄片损伤，并且变得难以将薄片整面密接于对准台之忧。结果，由于无法正确地辨识已设于薄片上的对准标记的位置，所以产生了在薄片的对位上精度明显降低，无法抑制在层叠体的各薄片彼此产生偏移等问题。
[0010]本专利技术鉴于上述的技术问题而完成的专利技术，目的在于提供一种具备薄片矫正单元的层叠装置，不会使对准台上的薄片损伤，且能够防止薄片的变形。
[0011][用以解决技术问题的手段][0012]解决上述技术问题的本专利技术的一方案，为一种层叠装置，也就是将多片薄片进行层叠的层叠装置，具备：对准台；薄片移动单元，使前述薄片对前述对准台相对地移动；及对准单元，进行前述对准台上所载置的前述薄片的对位；前述薄片移动单元包含薄片矫正单元，该矫正单元具有在与前述对准台之间夹持前述薄片的薄片矫正板，在将前述薄片矫正板的荷重负荷于前述薄片的状态下，使前述薄片矫正板追随前述对准台的移动。
[0013]另外，上述层叠装置中，也可建构成前述薄片矫正单元具有弹推构件，不仅前述薄片矫正板的荷重，而且将前述弹推构件的弹推力负荷于薄片。
[0014]另外，上述层叠装置中，也可建构成前述薄片矫正单元更具备浮动机构，前述薄片
矫正板与前述浮动机构一体地连接。
[0015]另外，上述层叠装置中，也可建构成前述薄片矫正单元更具备：浮动机构；及矫正板锁固机构，以可自由装拆的方式将前述薄片矫正板与前述浮动机构连接。
[0016]另外，上述层叠装置中，也可建构成前述薄片矫正单元具备：浮动锁固机构，使前述浮动机构呈固定状态及解除状态。
[0017]另外，上述层叠装置中，也可建构成前述薄片移动机构作为将回收对象薄片从对准台上回收的薄片回收单元。
[0018]另外，上述层叠装置中，也可建构成前述薄片移动机构作为将薄片供给至对准台上的薄片供给单元。
[0019][专利技术效果][0020]依据本专利技术，提供一种具备薄片矫正单元的层叠装置，不会使对准台上的薄片损伤，且能够防止薄片的变形。
附图说明
[0021]图1是显示本专利技术的第一实施方式的层叠装置的俯视示意图。
[0022]图2是显示图1所示的对准单元及薄片矫正单元的俯视示意图，分别为图2的(a)部分表示待机状态，图2的(b)部分表示对准状态，图2的(c)部分表示回收状态。
[0023]图3是显示图2所示的薄片矫正手机构的剖视示意图，分别为图3的(a)部分表示往对准台上的移动状态，图3的(b)部分表示矫正时的推压状态。
[0024]图4(a)是显示图2所示的薄片矫正手机构在对准动作时的推压状态下的剖视示意图。
[0025]图4(b)是显示图2所示的薄片矫正手机构在往待机位置或回收箱上的移动状态下的剖视示意图。
[0026]图5是显示图2所示的薄片矫正手机构的剖视示意图，分别为图5的(a)部分表示往对准台上的移动状态，图5的(b)部分表示薄片矫正板的载置状态。
[0027]图6是显示图5所示的薄片矫正手机构的剖视示意图，分别为图6的(a)部分表示对位动作时的推压状态，图6的(b)部分表示薄片矫正板的即将开始回收的状态。
[0028]图7是显示图5所示的薄片矫正手机构的剖视示意图，分别为图7的(a)部分表示薄片矫正板的回收状态，图7的(b)部分表示薄片矫正板的刚回收后的状态。
[0029]附图标记说明
[0030]10
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对准单元
[0031]11
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对准台
[0032]12
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XYθ轴电动致动器
[0033]15
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对准摄像单元
[0034]20
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薄片矫正单元
[0035]21
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薄片矫正机构
[0036]22
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薄片矫正板
[0037]23
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浮动机构
[0038]23a
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保持构件
[0039]23ao
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开口
[0040]23b
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浮动构件
[0041]23bb
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本体部
[0042]23bf
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凸缘部
[0043]23bm
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安装部
[0044]23c
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推力轴承
[0045]23d
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球塞
[0046]24
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浮动锁固机构
[0047]24a
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突起部
[0048]24ap
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凸部
[0049]24b
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定心锁
[0050]24br
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凹部
[0051]24c
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固定用气缸
[0052]29
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弹推构件
[0053]30
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薄片回收单元(薄片移动单元)
[0054]31
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回收箱
[0055]32
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横臂
[0056]34
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滑动机构
[0057]34ao
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开口
[0058]34o
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开口...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种层叠装置，将多片薄片进行层叠的层叠装置，具备：对准台；薄片移动单元，使前述薄片对前述对准台相对地移动；及对准单元，进行前述对准台上所载置的前述薄片的对位；前述薄片移动单元包含薄片矫正单元，该矫正单元具有在与前述对准台之间夹持前述薄片的薄片矫正板，在将前述薄片矫正板的荷重负荷于前述薄片的状态下，使前述薄片矫正板追随前述对准台的移动。2.根据权利要求1所述的层叠装置，其中，前述薄片矫正板具有弹推构件，不仅前述薄片矫正板的荷重，而且将前述弹推构件的弹推力负荷于前述薄片。3.根据权利要求1所述的层叠装置，其中，前述薄片矫正板更具备浮动机构，前述薄片矫正板与前述浮动机构一体地连接。4.根据权利要求2所述的层叠装置，其中，前述薄片矫正板更具备浮动机构，前述薄片矫正板与前述浮动机构一体地连接。5.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：川合祐亮，那须庆太，樱井诚志，
申请(专利权)人：日机装株式会社，
类型：发明
国别省市：
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