【技术实现步骤摘要】
信息处理装置
[0001]本申请为下述申请的分案申请：
[0002]原申请的申请日：2018年03月13日
[0003]原申请的申请号：201880004933.4
[0004]原申请的专利技术名称：信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法、基板处理装置
[0005]相关申请
[0006]本申请主张2017年3月17日在日本申请的专利申请编号2017
‑
52189、2017年5月18日在日本申请的专利申请编号2017
‑
98691、2017年5月18在日本申请的专利申请编号2017
‑
98899、2017年9月15日在日本申请的专利申请编号2017
‑
177611、以及2018年2月2日在日本申请的专利申请编号2018
‑
16875的利益，将该申请的内容援引于此。
[0007]本技术关于信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法、程序、基板处理装置、基准数据决定装置及基准数据决定方法。
技术介绍
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种信息处理装置，检测有无由对象真空泵内生成的生成物所造成的真空泵异常，该信息处理装置的特征在于，具备：决定部，该决定部至少使用一个所述对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量与所述正常变动范围或所述正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果，所述决定部使用对象真空泵的过去的对象状态量或其他真空泵的过去的对象状态量，而按每个工序决定该对象状态量的正常变动范围，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量，所述比较部按每个工序对运转中的对象真空泵的对象状态量与所述正常变动范围进行比较，检测从所述正常变动范围脱离的异常数据，该信息处理装置进一步具备：判定基准决定部，该判定基准决定部按真空泵有无故障，分别使用与对象工序或全部工序的异常发生数相关的对象参数的统计值，来决定用于判定故障可能性或继续运转可能性的泵状态判定基准或者用于判断是否输出警报的警报判断基准；及区分部，该区分部按每个工序分割所述对象真空泵的过去的对象状态量或所述其他真空泵的过去的对象状态量，所述决定部按每个经分割的所述工序决定所述对象状态量的正常变动范围，所述区分部将从除害装置输入的开始成膜信号中所包含的开始成膜时间点作为起点，按每个工序分割所述对象真空泵的过去的对象状态量或所述其他真空泵的过去的对象状态量。2.一种信息处理装置，检测有无由对象真空泵内生成的生成物所造成的真空泵异常，该信息处理装置的特征在于，具备：决定部，该决定部至少使用一个所述对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量，决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量；及比较部，该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量与所述正常变动范围或所述正常时间变动行为进行比较，并输出比较结果，所述决定部使用对象真空泵的过去的对象状态量或其他真空泵的过去的对象状态量，而按每个工序决定该对象状态量的正常变动范围，所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量，所述比较部按每个工序对运转中的对象真空泵的对象状态量与所述正常变动范围进行比较，检测从所述正常变动范围脱离的异常数据，该信息处理装置进一步具备：判定基准决定部，该判定基准决定部按真空...
【专利技术属性】
技术研发人员：舞鴫惠治，杉浦哲郎，臼井克明，畠山雅规，本间知佳子，大须贺透，岩崎弘一，林介元，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。