【技术实现步骤摘要】
一种高效可控射频电源稳定工作的逻辑系统控制装置
[0001]本技术涉及控制装置，尤其涉及一种高效可控射频电源稳定工作的逻辑系统控制装置。
技术介绍
[0002]目前普遍使用的射频电源输出频率为13.56Mhz，频率高，辐射面积大其发热量大损耗更大，同时目前射频电源工作时的放电稳定性差，放电稳定性就能决定半导体器件刻蚀及沉积的效率。现在很多射频电源应用于光伏基片刻蚀和沉积。根据现场情况可总结出现在很多射频电源所产生的放电等离子不稳，导致下极生产少量的等离子体，上极射频源极产生高密度等离子体，导致基片表面均匀性差，这是目前考量到的应用过程射频电源存在的不足之处。因此，研发一种高效可控射频电源稳定工作的逻辑系统控制装置，成为本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
[0003]本技术是为了解决上述不足，提供了一种高效可控射频电源稳定工作的逻辑系统控制装置。本技术可以有效提高射频工作的稳定性，且不单只适用于光伏基片刻蚀沉积，还适用于中束离子注入机部分的半导体芯片刻蚀和沉积。所以本技术装置可以适用于光伏领域及半导体...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高效可控射频电源稳定工作的逻辑系统控制装置，其特征在于：包括XCSSFP主芯片可编程门阵列XC3S1200E模块，所述XCSSFP主芯片可编程门阵列XC3S1200E模块连接有MUI多功能可兼容的逻辑接口、EPRROM高速存储模块、HFOC高频晶振处理电路、HFSC高频干扰源信号处理电路、PODC相位输出检测电路、FLSC反馈环自检电路、AOCC自动匹配控制电路、CAS兼容自适应系统，所述EPRROM高速存储模块MUI多功能可兼容的逻辑接口连接。2.根据权利要求1所述的一种高效可控射频电源稳定工作的逻辑系统控制装置，其特征在于：所述XCSSFP主芯片可编程门阵列XC3S1200E模块进行逻辑控制信号处理，对整个外围电路数字、模拟信号进行整体性处理和控制、反馈；首先由MUI多功能可兼容的逻辑接口连接外机对应接口，进行读取外机相应信号，进行传达相应信号F1给XCSSFP主芯片可编程门阵列XC3S1200E模块处理。3.根据权利要求1所述的一种高效可控射频电源稳定工作的逻辑系统控制装置，其特征在于：所述EPRROM高速存储模块对MUI多功能可兼容的逻辑接口也进行读取，获取外机储存信号反馈F2信号给XCSSFP 主芯片可编程门阵列XC3S1200E模块处理。4.根据权利要求1所述的一种高效可控射频电源稳定工作的逻辑系统控制装置，其特征在于：所述HFSC高频干扰源信号处理电路对“PA功率放大器板进行对信号源放大时会产生相应的干扰信号”进行处理和吸收。5.根据权利要求1所述的一种高效可控射频电源稳定工作的逻辑系统控制装置，其特征在于：所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐进围，
申请(专利权)人：亿隅半导体科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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