【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及等离子体电源,特别是涉及一种快速侦测arc的电路及方法。
技术介绍
1、在光伏电池片生产中有用到pecvd(等离子体增强化学气相沉积)技术,其中,在等离子体放电过程中,腔体内反应气体被施加高频的能量电离成带电粒子(离子和电子)状态。若带电粒子不均匀分布则会在放电期间形成电弧,而电弧的产生则会对电池片镀膜产生极大的影响(例如卡点烧焦及电池片膜厚均匀性等),所以在放电过程中的电弧侦测与抑制极为重要。
2、目前,现有技术通常是将采集到的电压电流信号送入adc(模数转换器)转换芯片,经过转换后的数据传送至mcu(微控制器单元)进行峰值计算与比较,但是存在检测时间长、响应慢的问题。而检测时间也会直接影响到灭弧时间,并且在起弧时容易出现在极短的时间内电流上升幅度较大,若侦测时间过长会导致因电流过大引起电池片在生产中产生不可逆转的伤害。
3、例如,现有技术中的一种侦测arc(电弧)的控制方法,是将采样电路中采集到的电压电流值送入adc进行数据换算,mcu将adc中采集到的电压电流数据进行计算,并与上位机设置值进行
...【技术保护点】
1.一种快速侦测ARC的电路,其特征在于,包括:频压转换模块、运放放大模块和比较器模块;
2.如权利要求1所述的快速侦测ARC的电路,其特征在于,所述频压转换模块包括频压转换芯片、第一运放芯片、第一电阻、第二电阻、第三电阻、第四电阻、第五电阻、第六电阻、第七电阻、第八电阻、第一电容、第二电容、第三电容、第四电容和第五电容;
3.如权利要求2所述的快速侦测ARC的电路,其特征在于,所述运放放大模块包括第二运放芯片、第九电阻和第十电阻;
4.如权利要求3所述的快速侦测ARC的电路,其特征在于,所述比较器模块包括比较器、第十一电阻、第十二
...【技术特征摘要】
1.一种快速侦测arc的电路,其特征在于,包括:频压转换模块、运放放大模块和比较器模块;
2.如权利要求1所述的快速侦测arc的电路,其特征在于,所述频压转换模块包括频压转换芯片、第一运放芯片、第一电阻、第二电阻、第三电阻、第四电阻、第五电阻、第六电阻、第七电阻、第八电阻、第一电容、第二电容、第三电容、第四电容和第五电容;
3.如权利要求2所述的快速侦测arc的电路,其特征在于,所述运放放大模块包括第二运放芯片、第九电阻和第十电阻;
4.如权利要求3所述的快速侦测arc的电路,其特征在于,所述比较器模块包括比较器、第十一电阻、第十二电阻、第十三电阻、第十四电阻和第十五电阻;
5.一种快速侦测arc的方法,使用如权利要求1-4中任一项所述的快速侦测arc的电路,其特征在于,具体包括如下:
6.如权利要求5所述的快速侦测arc的方法,其特征在于,所述在mcu上设置参考频率,再通过频压转换模块和运放放大电路处理,得到对应的参考电压信号,具体包括:
7.如权利要求6所述的快速侦测arc的方法,其特征在于,所述频压转换模块将所述参考频率转换成电压信号,具体包括:通过如下转换公式进行转换:vin表示将参考频率转换后的电压信号,fin表示参考频率。
8.如权利要求7所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:巴方振,张然,王洪敏,
申请(专利权)人:亿隅半导体科技上海有限公司,
类型:发明
国别省市:
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