一种超薄均热板空间分布式复合微纳吸液芯制造技术

本实用新型专利技术公开了一种超薄均热板空间分布式复合微纳吸液芯，涉及热管技术领域。包括均热板下盖板；均热板下盖板上均匀蚀刻有多条凹腔，凹腔之间形成凸台；凸台的上表面均匀蚀刻有多条纵向主槽道和横向主槽道；凹腔的表面均匀蚀刻有多条纵向次槽道和横向次槽道；纵向主槽道、横向主槽道、纵向次槽道和横向次槽道的表面均设置有三级亚微米槽道。本实用新型专利技术制备的空间分布式复合微纳吸液芯，无论是凸台上分布的多级微纳主槽道，还是凹腔表面的多级微纳次槽道，均密集分布激光烧蚀诱导产生的微纳复合结构，能够形成强大的毛细力，保证吸液芯足够的吸液能力。足够的吸液能力。足够的吸液能力。

【技术实现步骤摘要】
一种超薄均热板空间分布式复合微纳吸液芯


[0001]本技术涉及热管
，特别涉及一种超薄均热板空间分布式复合微纳吸液芯。

技术介绍

[0002]近年来，消费电子不断朝着高性能、智能化和超薄化发展，集成电路芯片和电子元器件体积不断缩小，导致其功率密度快速增加。同时，电子设备的封装密度也越来越高、机身越来越薄，散热问题已经成为电子设备亟需解决的问题。特别是随着5G的大规模应用，对电子设备的热管理技术提出了更高要求。因此，如何发展针对高热流密度的散热方案已经成为5G时代电子设备的难点和重点之一。
[0003]均热板(VC)和热管(为方便，下文仅述均热板，但均包含热管)作为一种高效的被动相变传热工具，其导热系数相对金属和石墨材料有10倍以上提升，导热效率优势突出，同时其启动温度低，使用寿命长，逐渐成为狭小空间高热流密度散热的首选解决方案。
[0004]均热板内部结构精细多变，且相变传热机理十分复杂，影响到传热性能的因素众多，需要综合考虑多方面设计难题。均热板的不断超薄化要求吸液芯和蒸汽腔的厚度不断降低。研究表明，当蒸汽腔厚度低于临界本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超薄均热板空间分布式复合微纳吸液芯，其特征在于，包括均热板下盖板；所述均热板下盖板上均匀蚀刻有多条凹腔，凹腔之间形成凸台，凸台与凹腔面积比为3:1
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1:1；所述均热板下盖板长度为L，宽度为W，厚度为H；所述凹腔的宽度1/14
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1/8W，深度为3/10
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6/10H；所述凸台数量为3
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6个；所述凸台的宽度为1/12
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2/9W，所述凸台高度等于凹腔的深度；所述凸台的上表面均匀蚀刻有多条纵向主槽道和横向主槽道，所述纵向主槽道和横向主槽道的深度为3/10
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8/10H，宽深比为1:1.5
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1:5；所述纵向主槽道与横向主槽道的周期比为1:1.5
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1:3；所述凹...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：绍兴镭纳激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：