用于石英部件的表面处理方法技术

该发明专利技术公开了一种用于石英部件的表面处理方法，包括：对所述石英部件进行喷砂；对喷砂后的石英部件进行超声波震荡处理，以去除所述石英部件表面形成的尖角；对所述石英部件进行侵洗；对侵洗后的所述石英部件进行干燥。所述用于石英部件的表面处理方法能够增加石英部件表面粗糙度，增强石英部件的附着力，还能够去除石英部件喷砂后形成的尖角，以避免石英部件在制成过程中表面形成线状膜，提高晶圆的良率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
用于石英部件的表面处理方法


[0001]本专利技术涉及半导体
，具体涉及一种用于石英部件的表面处理方法。

技术介绍

[0002]现有半导体制备设备例如TF CVD机台TEL HP
–
Ti反应室，在制成中钛薄膜因制程会持续累积在反应室内，导致机台内放置晶圆的石英部件表面累计的膜会越来越厚，在晶圆制备过程中，累积在晶圆表面的膜容易掉落在晶圆表面，造成晶圆表面薄膜生长异常，目前针对石英部件表面附着力不好的问题，没办法提前预防，只能在测机以及后站晶圆电性异常时才能发现。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种用于石英部件的表面处理方法，能够增加石英部件表面粗糙度，增强石英部件的附着力，还能够去除石英部件喷砂后形成尖角，以避免石英部件在制成过程中表面形成线状膜，提高晶圆的良率。
[0004]根据本专利技术实施例的用于石英部件的表面处理方法，包括：对所述石英部件进行喷砂；对喷砂后的石英部件进行超声波震荡处理，以去除所述石英部件表面形成的尖角；对所述石英部件进行侵洗；对侵洗后的所述石英部件进行干本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于石英部件的表面处理方法，其特征在于，包括：对所述石英部件进行喷砂；对喷砂后的石英部件进行超声波震荡处理，以去除所述石英部件表面形成的尖角；对所述石英部件进行侵洗；对侵洗后的所述石英部件进行干燥。2.根据权利要求1所述的用于石英部件的表面处理方法，其特征在于，在对所述石英部件进行喷砂之前还包括以下步骤：对所述石英部件进行药剂清洗；对清洗后的所述石英部件进行水洗震荡；对所述水洗震荡后的石英部件进行干燥。3.根据权利要求1所述的用于石英部件的表面处理方法，其特征在于，在对喷砂后的石英部件进行超声波震荡处理，以去除所述石英部件表面形成的尖角的步骤中，超声波震荡处理后的所述石英部件的粗糙度Ra2与喷砂后所述石英部件的粗糙度Ra1满足：95％Ra1≤Ra2≤105％Ra1。4.根据权利要求3所述的用于石英部件的表面处理方法，其特征在于，在对所述喷砂后的石英部件进行超声波震荡处理步骤中，所述超声波震荡的频率为100KHZ～150KHZ。5.根据权利要求3所述的用于石英部件的表面处理方法，其特征在于，在对所述喷砂后的石英部件进行超声波震荡处理的步骤中，采用超声波震荡的时间为10min～20min。6.根据权利要求1所述的用于石英部件的表面处理方法，其特征在于，在对侵洗后的所述石...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁家周，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：