一种CMP设备控制软件的测试方法、装置和电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种CMP设备控制软件的测试方法、装置和电子设备，该方法包括：对控制软件的目标模块进行功能性分析，获取目标功能；确定目标模块的测试类别中的目标测试类别，以对控制软件的上层功能逻辑或底层代码进行测试；根据目标功能生成目标测试类别的测试用例；基于测试用例对目标模块进行测试。本发明专利技术提供的技术方案，通过分析CMP控制软件的各个功能模块的功能，从而对应生成符合模块功能的黑盒测试和白盒测试的测试用例，实现了对CMP控制软件进行完备测试的功能，提高了CMP控制软件的可靠性。可靠性。可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种CMP设备控制软件的测试方法、装置和电子设备


[0001]本专利技术涉及设备控制软件的测试
，具体涉及一种CMP设备控制软件的测试方法、装置和电子设备。

技术介绍

[0002]半导体专用设备主要用于晶体硅、脆硬材料的大批量自动生产，半导体专用设备是工艺性极强的设备，半导体晶元的化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing，CMP)设备同样有着极强的工艺和效率要求。CMP设备是否能够满足工艺和效率的要求，其控制软件的可靠性和稳定性至关重要。对于CMP设备而言，由于机构复杂，模组众多，模组之间交互频繁且复杂多变，对控制软件逻辑的可靠性要求很高。由于工艺要求高，对于系统的监控功能、异常处理和故障恢复的能力也有很高的要求。在生产线上，任何一个漏洞的触发都可能造成不可估量的损失。因此，针对控制软件测试的全面性直接关系到设备的稳定性和可靠性，而目前并没有应用于CMP设备控制软件的完备测试方案。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本专利技术实施方式提供了一种CMP设备控制软件的测试方法、装置和电子设备，从而提供了CMP设备控制软件的完备测试方案。
[0004]根据第一方面，本专利技术实施例提供了一种CMP设备控制软件的测试方法，所述方法包括：对所述控制软件的目标模块进行功能性分析，获取目标功能；确定所述目标模块的测试类别中的目标测试类别，以对所述控制软件的上层功能逻辑或底层代码进行测试；根据所述目标功能生成所述目标测试类别的测试用例；基于所述测试用例对所述目标模块进行测试。
[0005]可选地，所述上层功能逻辑的测试类别包括操作逻辑、生产加工、监控功能、异常处理中的一个或多个，所述根据所述目标功能生成所述目标测试类别的测试用例，包括：获取所述目标模块的全部交互按键与所述目标功能中控制逻辑的对应关系，并基于所述对应关系生成用于检测所述目标模块的操作逻辑的第一测试用例，所述控制逻辑包括使能逻辑和非使能逻辑；获取所述目标模块响应所述目标功能时发出的预设信号类别，并基于所述预设信号类别生成用于检测所述生产加工的第二测试用例，以检测所述目标模块发出的实际信号是否与所述预设信号类别一致；获取所述目标模块的运行参数和参数阈值，并基于所述运行参数和参数阈值生成第三测试用例，以测试当所述运行参数超过所述参数阈值时，所述目标模块能否发出报警响应；获取断电操作和喷水保护动作的保护指令以及使设备重新运行的复机指令，并基于所述保护指令和复机指令生成第四测试用例，以测试所述目标模块在发出所述报警响应之后能否发出所述保护指令，以及在人工干预CMP设备后能否自动发出复机指令。
[0006]可选地，所述测试用例为用以测试系统性能的测试用例，所述基于所述测试用例对所述目标模块进行测试，包括：获取所述目标模块执行所述目标功能的执行时间；根据预
设的期望时间与所述执行时间的差异测试分析所述目标模块在当前运行设备上的系统性能。
[0007]可选地，所述测试用例为用以测试运行压力测试的测试用例，所述基于所述测试用例对所述目标模块进行测试，包括：监测所述目标模块在预设时间内执行所述目标功能的硬件资源占用情况；基于所述硬件资源占用情况与预设的系统性能标准测试分析所述控制软件的运行压力。
[0008]可选地，所述底层代码的测试类别包括决断能力测试，所述测试用例为用以测试决断能力测试的测试用例，所述基于所述测试用例对所述目标模块进行测试，包括：向所述目标模块发送决策指令，以测试所述目标模块能否在第二预设时间内将所述决策指令转化为执行所述目标功能的响应。
[0009]可选地，所述底层代码的测试类别包括代码完整性测试，所述测试用例为用以测试代码完整性的测试用例，所述基于所述测试用例对所述目标模块进行测试，包括：对所述目标模块的代码进行插桩测试，以确定所述目标模块的代码完整性和有无内存泄漏的情况出现。
[0010]可选地，所述控制软件还包括显示模块，所述方法还包括：判断所述显示模块能否正确显示其他模块反馈的显示参数。
[0011]根据第二方面，本专利技术实施例提供了一种CMP设备控制软件的测试装置，所述装置包括：功能分析模块，用于对所述控制软件的目标模块进行功能性分析，获取目标功能；类别分析模块，用于确定所述目标模块的测试类别中的目标测试类别，以对所述控制软件的上层功能逻辑或底层代码进行测试；用例生成模块，用于根据所述目标功能生成所述目标测试类别的测试用例；测试模块，用于基于所述测试用例对所述目标模块进行测试。
[0012]根据第三方面，本专利技术实施例提供了一种电子设备，包括：
[0013]存储器和处理器，所述存储器和所述处理器之间互相通信连接，所述存储器中存储有计算机指令，所述处理器通过执行所述计算机指令，从而执行第一方面，或者第一方面任意一种可选实施方式中所述的方法。
[0014]根据第四方面，本专利技术实施例提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使所述计算机从而执行第一方面，或者第一方面任意一种可选实施方式中所述的方法。
[0015]本专利技术技术方案，具有如下优点：
[0016]本专利技术实施例提供的一种CMP设备控制软件的测试方法、装置和电子设备。该方法具体包括：通过分析CMP设备控制软件目标模块的功能，从而在基于目标功能的基础上生成目标测试类别的测试用例，并使用对应的测试用例测试CMP设备的控制软件，实现在软件层面上的测试，保证CMP设备控制软件的可靠性和稳定性。本专利技术实施例从操作逻辑、生产加工、监控功能、异常处理、系统性能、运行压力测试、决断能力测试和代码测试8个类别对CMP设备控制软件各个模块进行测试，几乎涵盖了控制软件的全部功能和底层代码设计，分别从黑盒以及白盒两个角度实现了对控制软件的完备测试，解决了目前CMP设备领域没有完备测试方法和测试系统的问题。并且每次的测试用例基于目标模块的目标功能分析生成，从而在控制软件升级后，也能够自适应的生成符合最新功能的测试用例，提高了测试方法的自适应能力。
[0017]此外，针对控制软件的显示模块附加了测试环节，进一步提高本专利技术实施例提供的CMP设备控制软件的测试方法的完备性。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本专利技术实施例的一种CMP设备控制软件的测试方法的步骤示意图；
[0020]图2为本专利技术实施例的一种CMP设备控制软件的测试装置的结构示意图；
[0021]图3为本专利技术实施例的一种电子设备的结构示意图。
具体实施方式
[0022]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种CMP设备控制软件的测试方法，其特征在于，所述方法包括：对所述控制软件的目标模块进行功能性分析，获取目标功能；确定所述目标模块的测试类别中的目标测试类别，以对所述控制软件的上层功能逻辑或底层代码进行测试；根据所述目标功能生成所述目标测试类别的测试用例；基于所述测试用例对所述目标模块进行测试。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述上层功能逻辑的测试类别包括操作逻辑、生产加工、监控功能、异常处理中的一个或多个，所述根据所述目标功能生成所述目标测试类别的测试用例，包括：获取所述目标模块的全部交互按键与所述目标功能中控制逻辑的对应关系，并基于所述对应关系生成用于检测所述目标模块的操作逻辑的第一测试用例，所述控制逻辑包括使能逻辑和非使能逻辑；获取所述目标模块响应所述目标功能时发出的预设信号类别，并基于所述预设信号类别生成用于检测所述生产加工的第二测试用例，以检测所述目标模块发出的实际信号是否与所述预设信号类别一致；获取所述目标模块的运行参数和参数阈值，并基于所述运行参数和参数阈值生成第三测试用例，以测试当所述运行参数超过所述参数阈值时，所述目标模块能否发出报警响应；获取断电操作和喷水保护动作的保护指令以及使设备重新运行的复机指令，并基于所述保护指令和复机指令生成第四测试用例，以测试所述目标模块在发出所述报警响应之后能否发出所述保护指令，以及在人工干预CMP设备后能否自动发出复机指令。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述测试用例为用以测试系统性能的测试用例，所述基于所述测试用例对所述目标模块进行测试，包括：获取所述目标模块执行所述目标功能的执行时间；根据预设的期望时间与所述执行时间的差异测试分析所述目标模块在当前运行设备上的系统性能。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述测试用例为用以测试运行压力测试的测试用例，所述基于所述测试用例对所述目标模块进行测试，包括：监测所述目标模...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯为萍，周庆亚，杨元元，张文斌，孟晓云，
申请(专利权)人：北京烁科精微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：