【技术实现步骤摘要】
一种适用于WLO光学产品的模具及其制造方法
[0001]本专利技术属于WLO晶圆级光学领域,涉及一种适用于WLO光学产品的模具及其制造方法。
技术介绍
[0002]随着现代光学加工行业的发展,WLO晶圆级光学加工备受青睐;WLO晶圆级光学元件,是指晶元级镜头制造技术和工艺。与传统光学元件的加工技术不同,WLO工艺在整片玻璃晶元上,用半导体工艺批量复制加工镜头,多个镜头晶元压合在一起,然后切割成单颗镜头,具有尺寸小、高度低、一致性好等特点。传统透镜是由光学冷加工制造而成,工艺复杂良率低。然而现代工业为晶圆级光学加工,加工精度高,且一次可以制作上千颗lens,为以后批量生产提供了基础。晶圆级光学加工涉及到模具,产品需要经模具翻模
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压印而成。所以模具又是晶圆级光学加工中的重中之重。传统模具为钢镀镍材料,其面型经CNC加工车床,容易形成明显的车刀纹,表面粗糙度很难降下来,这样严重降低了光束的透过率,对于成像镜头,显而易见这是不允许的。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的在于克服上述现有技术 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种适用于WLO光学产品的模具,其特征在于,包括玻璃基底(1)和平凸透镜(2);玻璃基底(1)的顶面为平面,玻璃基底(1)的顶面上设置有若干个与玻璃基底(1)顶面垂直的安装孔(4),平凸透镜(2)包括顶部和底部,平凸透镜(2)的底部位于安装孔(4)中,平凸透镜(2)的顶部从玻璃基底(1)顶面伸出,平凸透镜(2)的顶部形状与待生产的产品形状相同。2.根据权利要求1所述的适用于WLO光学产品的模具,其特征在于,玻璃基底(1)的顶面上设置有多个安装孔(4),多个安装孔(4)阵列排布或交错排列。3.根据权利要求1所述的适用于WLO光学产品的模具,其特征在于,相邻安装孔(4)之间的间距至少为0.2mm。4.根据权利要求1所述的适用于WLO光学产品的模具,其特征在于,玻璃基底(1)厚度为2~3mm。5.根据权利要求1所述的适用于WLO光学产品的模具,其特征在于,玻璃基底(1)顶部设置有用于基台识别的标记。6....
【专利技术属性】
技术研发人员:闫祥龙,冯晓甜,王林,陈金珠,
申请(专利权)人:华天慧创科技西安有限公司,
类型:发明
国别省市:
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