蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法制造方法及图纸

金属制的蒸镀掩模具备以与蒸镀源对置的方式构成的表面和分别包含具有倒锥台状的孔部的多个掩模孔。各掩模孔的孔部具备小开口和大开口，从与蒸镀掩模的表面对置的视点观察，上述小开口具有包含多个角部和分别位于邻接的角部间的多个线状部在内的多边形状的边缘，从与表面对置的视点观察，上述大开口具有由小开口的边缘中的角部相对于小开口的边缘朝向外侧伸出而成的形状的边缘，上述大开口位于表面。从与表面对置的视点观察时，大开口将小开口包围。口包围。口包围。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法


[0001]本专利技术涉及蒸镀掩模、蒸镀掩模的制造方法及显示装置的制造方法。

技术介绍

[0002]有机EL显示器具备的显示元件通过使用了蒸镀掩模的蒸镀法形成。蒸镀掩模具备表面、背面以及将表面与背面之间贯通的多个掩模孔。各掩模孔在表面及背面开口。掩模孔的大开口位于表面，掩模孔的小开口位于背面。蒸镀掩模在被用于针对蒸镀对象的蒸镀时，蒸镀掩模的表面与蒸镀源对置，并且蒸镀掩模的背面与蒸镀对象对置(例如，参照专利文献1)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2015－55007号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的技术问题
[0007]另外，蒸镀掩模的掩模孔在沿着与蒸镀掩模的表面正交的平面的截面中，具有倒锥台状。掩模孔的小开口具有与显示元件所要求的形状相应的形状。为了形成具有四边形状等的多边形状的显示元件，掩模孔的小开口通常在与蒸镀掩模的表面对置的俯视中，具有包含角部的形状。r/>[0008]另本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种蒸镀掩模，是金属制的蒸镀掩模，其特征在于，具备：以与蒸镀源对置的方式构成的表面；以及多个掩模孔，分别包含具有倒锥台状的孔部，各掩模孔的上述孔部具备：小开口，从与上述蒸镀掩模的上述表面对置的视点观察时，上述小开口具有包含多个角部和分别位于邻接的上述角部间的多个线状部在内的多边形状的边缘；以及大开口，位于上述表面，从与上述表面对置的视点观察时，上述大开口具有由上述小开口的上述边缘中的上述角部相对于上述小开口的上述边缘向外侧伸出而成的形状的边缘，从与上述表面对置的视点观察时，上述大开口将上述小开口包围。2.如权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于，在与上述表面正交且沿着上述小开口的对角方向的截面中，将上述小开口的上述角部与上述大开口的对应的上述角部连结的虚拟直线是第1虚拟直线，上述表面与上述第1虚拟直线形成的角度是第1角度，在与上述表面正交且沿着与上述小开口的1个上述线状部正交的方向的截面中，将上述小开口的上述边缘与上述大开口的上述边缘连结的虚拟直线是第2虚拟直线，上述表面与上述第2虚拟直线形成的角度是第2角度，上述第2角度比上述第1角度大，从与上述表面对置的视点观察时，上述小开口的上述角部与上述大开口的对应的上述角部之间的距离，为上述表面与包含上述小开口的上述边缘在内的平面之间的距离的1倍以上1.5倍以下，上述小开口的上述角部的曲率半径为4.5μm以下。3.如权利要求1或2所述的蒸镀掩模，其特征在于，上述蒸镀掩模还具备作为与上述表面相反侧的面的背面，上述多个小开口位于上述背面。4.如权利要求1～3中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，上述蒸镀掩模具有1μm以上20μm以下的厚度。5.如权利要求1～4中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，形成上述蒸镀掩模的材料是铁镍类合金或铁镍钴类合金。6.一种蒸镀掩...

【专利技术属性】
技术研发人员：森田贵之，
申请(专利权)人：凸版印刷株式会社，
类型：发明
国别省市：