【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】制造薄膜光伏产品的方法
[0001]本专利技术涉及一种制造薄膜光伏产品的方法。
技术介绍
[0002]薄膜光伏产品通常包括具有第一电极层、光伏层和第二电极层的叠层。叠层可以沉积在衬底上，或者电极层中的一个电极层，例如第一电极层，可以用作衬底。该叠层可以包括另外的层，例如设置在这些互邻层中的两层之间的层，或者设置在叠层的顶部或下方的层。本文所述的层可以包括子层。
[0003]薄膜光伏产品可以通过在衬底上连续沉积上述层来制造，或者例如使用第一电极层作为衬底。通常，该方法包括分割步骤，以提供具有多个光伏电池的薄膜光伏产品，所述多个光伏电池通常单片串联连接。在每个分割步骤中，在一个或多个层中形成沟槽。分割步骤例如可以包括第一分割步骤P1、第二分割步骤P2和第三分割步骤P3，其中分别形成第一、第二和第三沟槽。
[0004]第一沟槽至少分割第一电极层。第二沟槽主要用于分割光伏层，而第三沟槽至少分割第二电极层。第一沟槽、第二沟槽和第三沟槽彼此交错，使得相互邻接的电池之间的边界随后包括第一沟槽、第二沟槽和第三沟槽。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于制造具有多个光伏电池(1A、
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、1F)的光伏产品(1)的方法，所述方法包括：沉积具有第一电极层(12)、第二电极层(16)和设置在所述第一电极层和所述第二电极层之间的光伏层(14)的叠层；和将所述叠层分割成相应的侧向部分，所述分割至少包括形成(S4)贯穿所述第二电极层(16)和所述光伏层(14)的沟槽(20)以暴露出第一电极层(12)，其特征在于，所述形成沟槽至少包括第一辐照阶段和第二辐照阶段，所述第一辐照阶段(S4A)使用第一激光束(B1)，所述第一激光束(B1)在横向于待形成的所述沟槽(20)的方向上具有第一斑点尺寸(d1)，并且具有第一波长(λ1)，对于所述第一波长，相较于所述第二电极层(16)的吸收系数，所述光伏层(14)具有相对高的吸收系数，所述第一激光束(B1)撞击所述光伏层的一区域，导致该区域的光伏材料局部蒸发和该区域的附近区域的光伏材料熔化，进一步导致所述第二电极层对所述光伏层的粘附性降低，蒸发的光伏材料的压力有助于在不去除所述第二电极层的情况下使所述第二电极层与其中的所述光伏层分离，所述第二辐照阶段(S4B)使用第二激光束(B2，B2
’
)去除所述附近区域中的所述第二电极层的材料和光伏层的材料，所述第二激光束(B2，B2
’
)在所述横向方向上具有大于所述第一斑点尺寸的第二斑点尺寸(d2)，并且具有第二波长(λ2)，对于所述第二波长，相较于所述第二电极层(16)的吸收系数，所述光伏层(14)具有相对低的吸收系数。2.根据权利要求1所述的方法，还包括将光伏元件(1B，1C)串行互连(S5)。3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述第二辐照阶段(S4B)包括第一辐照步骤(S4B1)和第二辐照步骤(S4B2)，其中在所述第一辐照步骤(S4B1)中，从所述第二电极层(16)去除材料以暴露出所述光伏层(14)，并且其中在所述第二辐照步骤(S4B2)中，从所述光伏层的暴露部分去除材料以形成贯穿所述第二电极层和所述光伏层的沟槽(20)。4.根据权利要求3所述的方法，其中，在第二辐照阶段(S4B)的第二步骤(S4B2)中，所述第二激光束(B2
’
)基本上透射通过所述光伏层(14)，并被所述第一电极层(12)和所述光伏层(14)之间的界面层(13)吸收，从而使所述光伏层(14)的暴露部分下方的所述界面层(13)的材料蒸发，从而驱离所述光伏层(14)的暴露部分，以形成所述沟槽(20)。5.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述第二辐照阶段(S4B)在单个步骤中进行，其中，所述第二激光束(B2)的辐照随后导致所述第二电极层(16)的材料蒸发，从而使得透射通过所述光伏层(14)的所述第二激光束(B2)被所述第一电极层(12)和所述光伏层(14)之间的界面层(13)吸收，从而使所述光伏层(14)的暴露部分下方的所述界面层(13)的材料...
【专利技术属性】
技术研发人员：维罗尼克，
申请(专利权)人：荷兰应用自然科学研究组织TNO，
类型：发明
国别省市：
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