测量装置和测量方法制造方法及图纸

一种测量装置100，包括:激光装置110，其输出调频激光束；分支部件120，其将调频激光束分离为参考光和测量光；差拍信号生成部件150，其通过混合参考光和将测量光照射到待测对象10上而反射的反射光来生成差拍信号；频率分析部件160，其对差拍信号进行频率分析；存储部件190，其存储参考频率信号，该参考频率信号是通过转换在没有待测对象10的状态下由差拍信号生成部件150输出的参考信号而获得的频率信号；以及计算部件170，其计算参考光和测量光的传播距离之间的差。传播距离之间的差。传播距离之间的差。

【技术实现步骤摘要】
测量装置和测量方法


[0001]本公开涉及测量装置和测量方法。

技术介绍

[0002]已知一种在腔(谐振器)中设有频移器、并且输出多个其振荡频率随时间线性变化的纵模(longitudinal
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mode)激光的频移反馈激光器(frequency
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shifted feedback laser，FSFL)。此外，已知一种使用这种FSFL的光学测距仪(例如，参见专利文献1:日本专利第3583906号的说明书，以及非专利文献1:“Distance Sensing by FSF Laser and Its Application”，Takefumi HARA，Optonews，第7卷，第3期，2012年，第25
‑
31页)。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的问题
[0004]光学测距仪将频移反馈激光器分成参考光和测量光，并通过混合该参考光和通过将该测量光照射到待测对象上而反射的反射光来生成差拍信号。然后，光学测距仪通过指定差拍信号的频率来测量从光学测距仪到待测对象本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测量装置，包括：激光装置，其输出调频激光束；分支部件，其分离由所述激光装置输出的所述调频激光束，使得所述调频激光束的一部分是参考光，并且所述调频激光束的剩余部分的至少一些是测量光；差拍信号生成部件，其通过混合所述参考光和通过将所述测量光照射到待测对象上而反射的反射光来生成差拍信号；频率分析部件，其对所述差拍信号执行频率分析；存储部件，其存储参考频率信号，所述参考频率信号是在没有所述待测对象的状态下由所述差拍信号生成部件输出并被转换成频率信号的参考信号；以及计算部件，其基于所述频率分析部件对所述差拍信号执行的所述频率分析的结果来计算所述参考光和所述测量光的传播距离之间的差，其中所述频率分析部件针对每个频率从由所述差拍信号转换的频率信号的信号水平中减去所述参考频率信号的信号水平，然后指定所述差拍信号的频率。2.根据权利要求1所述的测量装置，其中所述差拍信号生成部件输出包括参考差拍信号的信号作为参考信号，所述参考差拍信号是通过混合所述参考光和从发射所述测量光的出射端面反射的端面反射光而生成的。3.根据权利要求2所述的测量装置，其中所述差拍信号生成部件生成两个差拍信号，所述两个差拍信号是(i)由于所述测量光的所述反射光和所述参考光而导致的第一差拍信号，以及(ii)由于所述端面反射光和所述参考光而导致的第二差拍信号，所述频率分析部件输出作为距离测量信号的信号，其是通过将其中由所述差拍信号生成部件生成的所述两个差拍信号叠加的信号转换成频域信号而获得的，并且所述频率分析部件通过针对每个频率从所述距离测量信号的信号水平中减去所述参考频率信号的信号水平，来从所述距离测量信号的频谱中减去基于所述端面反射光的参考差拍信号的频谱。4.根据权利要求2所述的测量装置，进一步包括:快门部件，其设置在所述出射端面和所述待测对象之间，并且能够切断从所述出射端面到所述待测对象的所述测量光的照射；以及控制部件，当计算所述参考光和所述测量光的传播距离之间的差时，所述控制部件通过打开所述快门部件来控制所述快门部件以将所述测量光照射到所述待测对象上，并且当获得所述参考频率信号时，所述控制部件通过关闭所述快门部件来切断所述测量光。5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：小松崎晋路，铃木义将，高桥知隆，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：