一种分液器以及利用此的注射器内残留液量的精密计算法制造技术

本发明专利技术涉及一种分液器以及利用此的注射器内残留液量的精密计算法，其包括：第一比例控制阀门，与压缩气体源相连接，用于将注射器内填充的液体进行排液；排液阀门，其一侧与所述第一比例控制阀门相连接，其另一侧与所述注射器相连接，通过所述第一比例控制阀门决定是否将调节了压力的气体供给至所述注射器内；第一压力传感器和第二压力传感器，感知通过设置点位的气体压力；以及控制模块，根据由所述第一压力传感器以及第二压力传感器感知的时间别压力值而得到的第一压力积分值和第二压力积分值为基础，对排液次数别所述注射器内液体残量预测值进行补正计算，根据计算出的液体残量预测值控制所述排液阀门的开闭状态。量预测值控制所述排液阀门的开闭状态。量预测值控制所述排液阀门的开闭状态。

【技术实现步骤摘要】
一种分液器以及利用此的注射器内残留液量的精密计算法


[0001]本专利技术是涉及一种具备注射器内残留液量的精密计算功能的分液器，以及利用上述分液器的注射器内残留液量的精密计算法。

技术介绍

[0002]包括半导体各种电子器械零部件制造工艺中所使用的空压式分液器(Dispenser)，是定量排出极小量液体的超精密分液装置。
[0003]利用如上所述分液器而排出的作业对象是基板，其结构随着技术的发展，变得越来越集成化和精密化，对排出液体容量的要求也越来越细微化；同时，更细微水平的极小量液体的提供能达到多大精度，能反复多少次，这决定着分液器的性能好坏。
[0004]因此，最近随着分液要求变成更小量，应对这种需求的同时，具备可以准确控制精密分液功能的分液器，正在被广大研发人员研究和开发之中。
[0005]在和分液器的细微定量排液相关的多种技术中，随着排液作业的发展，注射器内填充液体逐渐减少，随着液体残留量发生变化，在同一压力和时间下进行排液作业时，排出量会发生变化，因此随着注射器内液体残留量，用于对应排液作业的条件而不断变化的控本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具备注射器内液体残量精密计算功能的分液器，其特征在于，包括：第一比例控制阀门，通过第一排管与提供气体的压缩气体源相连接，用于将注射器内填充的液体进行排液；排液阀门，其一侧通过第二排管与所述第一比例控制阀门相连接，其另一侧通过第三排管与所述注射器相连接，通过所述第一比例控制阀门决定是否将调节了压力的气体供给至所述注射器内；第一压力传感器，设置于所述第一排管至所述第三排管中特定排管上的一侧，感知通过设置点位的气体压力；第二压力传感器，设置于所述第一排管至所述第三排管中所述第一压力传感器的设置点位和所述压缩气体源之间特定排管上的一侧，感知通过设置点位的气体压力；以及控制模块，根据由所述第一压力传感器以及第二压力传感器感知的时间别压力值而得到的第一压力积分值和第二压力积分值为基础，对排液次数别所述注射器内液体残量预测值进行补正计算，根据计算出的液体残量预测值控制所述排液阀门的开闭状态；所述控制模块，根据已设定的从所述压缩气体源供给的气体供应压力，通过所述第二压力传感器感知的时间别压力值而得到的第二压力积分值，计算出正常的反映出基准期待值的正常压力积分基准值，与通过所述第二压力传感器感知的时间别压力值而得到的第二压力积分值作比较，按照此差异比率对通过所述第一压力传感器感知的时间别压力值而得到的第一压力积分值进行补偿处理，以补偿处理的第一压力积分值和已设定的从所述压缩气体源供给的气体压力为基础，计算出排液次数别所述注射器内剩余液体残量预测值。2.根据权利要求1所述分液器，其特征在于，所述第一压力传感器，设置于所述第三排管上的所述排气阀门和所述注射器之间，感知流向所述注射器一侧的气体压力。3.根据权利要求2所述分液器，其特征在于，所述第二压力传感器，设置于所述第二排管上的所述第一比例控制阀门和所述排液阀门之间，感知流向所述排液阀门一侧的气体压力。4.根据权利要求2所述分液器，其特征在于，所述第二压力传感器，设置于所述第一排管上的所述压缩气体源和所述第一比例控制阀门之间，感知流向所述第一比例阀门一侧的气体压力。5.根据权利要求3所述分液器，其特征在于，所述分液器还包括：第一空气储存箱，设置于第二排管上，具有一定的足量的储存气体空间，所述第二压力传感器，设置于所述第二排管上的所述第一储存箱和所述排液阀门之间，感知流向所述排液阀门一侧的气体压力。6.根据权利要求1所述分液器，其特征在于，所述控制模块还包括：信息接收部，接收由所述第一压力传感器感知的压力值而得到第一感知信息和由所述第二压力传感器感知的压力值而得到的第二感知信息；第一压力积分值计算部，将从所述信息接收部接收的第一感知信息作为基础，计算出从所述排液阀门的打开时间点至一定时间为止感知到压力的第一压力积分值；
第二压力积分值计算部，将从所述信息接收部接收的第二感知信息作为基础，计算出从所述排液阀门的打开时间点至一定时间为止感知到压力的第二压力积分值；正常压力积分基准值计算部，根据已设定的从所述压缩气体源供给的气体供应压力，通过所述第二压力传感器感知的时间别压力值而得到的第二压力积分值，计算出正常的反映出基准期待值的正常压力积分基准值；液体残量计算部，按照由正常压力积分基准值计算部计算出的正常压力积分基准值和第二压力积分值计算部计算出的第二压力积分值之间的差异比率，对由第一压力积分值计算部算出的第一压力积分值进行补偿处理，以计算出第一压力积分补正值和设定的从所述压缩气体源供应的气体供应压力为基础，计算出所述注射器内液体残量预测值；动作控制部，控制所述第一比例控制阀门以及排液阀门的开闭状态；其中，所述动作控制部以所述液体残量计算部计算出的液体残量预测值为基础，根据已设定的条件，对所述排液阀门的开放持续时间进行调节。7.根据权利要求6所述分液器，其特征在于，所述动作控制部，按照液体残量计算部计算出的液体残量预测值逐步降低的比例，对排液阀门的打开持续时间进行增加。8.根据权利要求6所述分液器，其特征在于，所述正常压力积分基准值计算部，将已设定的从所述压缩气体源A供应的气体供应压力代入至下方公式1中，计算出正常压力积分基准值，【公式1】C＝aX+b(C：正常压力积分基准值，X：已设定的气体供应压力，1600<a<1650，21500<b<22000)。9.据权利要求8所述分液器，其特征在于，所述液体残量计算部，按照由正常压力积分基准值计算部计算出的正常压力积分基准值和第二压力积分值计算部算出的第二压力积分值之间的差异比率，对由第一压力积分值计算部算出的第一压力积分值按照如下公式2进行补偿处理，计算出第一压力积分补正值，【公式2】A
’
＝A
×
[1+(C
‑
B)/C](A
’
：第一压力积分补正值，A：第一压力积分值，B：第二压力积分值，C正常压力积分基准值)。10.据权利要求9所述分液器，其特征在于，所述液体残量计算部，将对第一压力积分值执...

【专利技术属性】
技术研发人员：白明信，
申请(专利权)人：GEO科技有限公司，
类型：发明
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