一种柔性线性压力传感器制造技术

本发明专利技术一实施方式提供了一种柔性线性压力传感器，包括压力敏感层，在所述压力敏感层的表面设置有多个凸起结构，所述多个凸起结构包括半球体、棱锥、拱形体中的一种或多种，或者，所述凸起结构呈高斯分布。本发明专利技术一实施方式的柔性压力传感器，具有工艺简单、线性灵敏度高、数据处理简单等特点。数据处理简单等特点。数据处理简单等特点。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性线性压力传感器


[0001]本专利技术涉及压力传感器，具体为一种柔性、线性压力传感器。

技术介绍

[0002]柔性压力传感器因其在健康监测及人机交互等领域的应用受到越来越多的关注。整个压力范围内的线性灵敏度是衡量柔性压力传感器性能的一个重要指标。对于大部分柔性压力传感器，在较低压力下传感信号快速饱和，当压力进一步增加时，信号增加缓慢，灵敏度降低，偏离原来的线性。若实现这些压力的检测，需要进行非线性补偿或者复杂的分析计算，为压力传感器的设计、标定和数据处理带来了极大的不便。另一方面，市场上目前存在的柔性压力传感器大多是将压力敏感纳米材料、导电银浆等电子涂料印制在薄膜基材(如聚酯薄膜PET、聚酰亚胺薄膜PI等)上，制备得到的柔性传感器存在灵敏度低、在150℃下容易发生变形以及受温度影响性能飘移严重等缺点，严重限制了柔性传感器的应用场景。
[0003]因此，开发超宽传感范围与高线性灵敏度的能承受150℃高温的柔性压力传感器显得尤为重要。

技术实现思路

[0004]本专利技术的一个主要目的在于提供一种柔性线性压力传感器，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性线性压力传感器，包括压力敏感层，在所述压力敏感层的表面设置有多个凸起结构，所述多个凸起结构包括半球体、棱锥、拱形体中的一种或多种，或者，所述凸起结构呈高斯分布。2.根据权利要求1所述的柔性线性压力传感器，其中，所述凸起结构通过底部连接于所述压力敏感层的表面；所述半球体为3/20～1/2球体中的一种或多种，所述半球体的底部为圆形；和/或，所述棱锥为正棱锥，所述正棱锥的底部为正多边形；和/或，所述拱形体是沿与圆柱体的轴线相平行的平面切割所述圆柱体得到的结构，所述拱形体的底部为切割平面。3.根据权利要求2所述的柔性线性压力传感器，其中，所述多个凸起结构呈阵列排布。4.根据权利要求3所述的柔性线性压力传感器，其中，所述多个凸起结构形成方形阵列，所述多个凸起结构包括所述半球体、正三棱锥、正四棱锥、具有正方形所述切割平面的所述拱形体中的一种或多种，所述凸起结构底部的边长或直径与相邻两个所述凸起结构的间距之比为(0.9～1.1):1；或者，所述凸起结构包括正棱锥，其底部多边形的边数n≥5，所述正棱锥底部的最大尺寸与相邻两个所述凸起结构的...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏迪，钟梦娟，张丽娟，柳絮，周亚宁，王杨俭，
申请(专利权)人：北京石墨烯研究院，
类型：发明
国别省市：