照明设备制造技术

本发明专利技术公开一种照明设备，用以对照明区提供照明，照明设备包括至少两个照明装置。至少两个照明装置被设置在照明区周围，且相面对。至少两个照明装置的每一个用以将水平排列的多个准直光束垂直汇聚成平行光后再以水平聚焦成照明光来照射照明区。焦成照明光来照射照明区。焦成照明光来照射照明区。

【技术实现步骤摘要】
照明设备


[0001]本专利技术涉及视觉检查或扫描系统，特别是指视觉检查或扫描系统的照明设备。

技术介绍

[0002]随着半导体技术提升，半导体材料(例如晶圆)的结构、尺寸或线路愈来愈精细，各阶段制程的检查也变得愈来愈重要，检查不仅是对半导体材料检查，还包括制程中所使用的材料或装置，例如光罩。
[0003]目前已知的暗区检查技术是将照明光照(投)射在半导体材料或光罩上，再通过取像设备拍摄已获得对应的影像，这种技术让半导体材料或光罩上的粉尘或异物在影像上是明亮，而被发现。
[0004]目前照明光通常采用一个高强度光源来对光罩提供照明，光罩上由导电路径所构成的图案的反射率是比粉尘或异物的反射率更好，目前，照明光照射光罩被检查区域时，被检查区域范围内的微小地粉尘或异物及图案都会被照亮，但由于图案的反射率高于微小地粉尘或异物的反射率，因此，将使得图案的反射光强度大于微小地粉尘或异物的反射光强度，而不利于取像及检查作业。
[0005]为了避免上述单一光源所产生的问题，目前照明光也有通过环状排列的激光束组成的照明光，如图6所示，图6本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种照明设备，用以对一照明区提供照明，其特征在于，包括：至少二个照明装置，被设置在该照明区周围，且相面对，每一个所述照明装置将水平排列的多个准直光束垂直汇聚成一平行光后再以水平聚焦成一照明光来照射该照明区。2.根据权利要求1所述的照明设备，其特征在于，该平行光是线光源，该照明光是一点光源。3.根据权利要求1所述的照明设备，其特征在于，每一个所述照明装置包括一发光单元、一微透镜阵列、一第一透镜及一第二透镜，该发光单元包括多个发光元件，以产生多个发散光，该微透镜阵列位在该发光单元及该第一透镜之间，且包括多个微透镜，该多个发散光一对一通过该多个微透镜以输出该多个准直光束，该多个准直光束通过该第一透镜以垂直汇聚输出该平行光，该第二透镜面对该第一透镜，且供该平行光通过而水平聚焦输出该照明光。4.根据权利要求3所述的照明设备，其特征在于，该多个发光元件及该多个微透镜的排列是平行排列。5.根据权利要求1所述的照明设备，其特征在于，该至少二...

【专利技术属性】
技术研发人员：萧贤德，王宣復，
申请(专利权)人：华洋精机股份有限公司，
类型：发明
国别省市：