过滤显示器制程的蚀刻液的滤芯及包括该滤芯的过滤器制造技术

本实用新型专利技术涉及过滤显示器制程的蚀刻液的滤芯，其包括中心杆、外壳、填充于二者间的滤膜及密封于两端的第一端盖和第二端盖，滤膜为PTFE滤膜，其泡点为10

【技术实现步骤摘要】
过滤显示器制程的蚀刻液的滤芯及包括该滤芯的过滤器


[0001]本技术涉及过滤
，特别是过滤显示器制程的蚀刻液的滤芯及包括该滤芯的过滤器。

技术介绍

[0002]平板显示器制程中，蚀刻液用于蚀刻玻璃基板表面的金属膜，从而得到各种金属膜图形。近年来，随着高世代线的投产，蚀刻过程对于蚀刻液中污染物尺寸的控制要求、蚀刻速率的大小和稳定性都提出了更高的要求。
[0003]当蚀刻速率过慢时，导致光致抗蚀剂长时间浸泡于蚀刻液中，将会使部分光致抗蚀剂脱落，导致部分金属走线蚀刻效果不佳，不需要进行蚀刻的抗蚀涂层与铬金属膜界面上也形成因蚀刻液渗入所致的蚀刻痕，导致不需蚀刻部分的铬金属膜表面粗糙。而蚀刻速率不稳定，则会导致玻璃基板各部厚薄不一，尤其是用于较大面积的玻璃基材蚀刻时，会造成玻璃板体的机械强度锐减，容易遭受损害，亦会产生表面粗糙的情况，影响到液晶显示组件的影像品质。
[0004]蚀刻液首先经过滤，去除杂质，且满足相应制程的污染物控制要求后，才会被供应至蚀刻工段。因此，蚀刻速率的大小和稳定性由洁净蚀刻液的供应速率的大小和稳定性决定。
[0005]现有的滤芯，由于滤膜本身选型不合理、不适用于蚀刻液的过滤，对蚀刻液中的污染物的去除达不到蚀刻工段对于污染物的控制要求，且过滤速率过低，洁净蚀刻液的供应速率慢；并且由于滤芯存在结构上的缺陷、导致滤膜应有的性能得不到充分的发挥和实现，滤芯无法同时兼顾过滤速率的大小和稳定性。当洁净蚀刻液的供应速率提高时，其供应速率的稳定性下降，而当洁净滤液供应速率的稳定性提高时，供应速率下降。
[0006]因此，需要找到合适的滤膜，并改进滤芯的结构，优化滤芯的综合性能，以同时提高洁净蚀刻液的供应速率的大小和稳定性。

技术实现思路

[0007]本技术所要达到的目的是提供过滤显示器制程的蚀刻液的滤芯，其选用了适用于蚀刻液过滤的滤膜，并通过改进滤膜的存在形式、中心杆和外壳的孔结构及滤膜与中心杆和外壳之间的配合关系，以实现对污染物的高效截留，满足蚀刻工段对于蚀刻液的污染物控制要求，并提供高且稳定的洁净蚀刻液的供应流量。还提供包括该过滤显示器制程的蚀刻液的滤芯的过滤器。
[0008]为了达到上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0009]过滤显示器制程的蚀刻液的滤芯，包括中心杆、外壳、填充于二者间的滤膜及密封于两端的第一端盖和第二端盖，所述第一端盖具有接口，所述接口与中心杆的内部连通，所述滤膜为PTFE滤膜，其泡点为10
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280kPa，在压力为30kPa，温度为20℃的条件下，50ml水通过直径为47mm滤膜所需要的时间为2
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40s，所述滤膜的膜面积为1.8
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4.6m2，所述滤膜的厚
度为10
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60μm，并折叠形成褶，所述中心杆和外壳之间径向间距与褶高的差值不大于3mm，所述外壳和中心杆分别具有多个第一孔和多个第二孔，所述第一孔和所述第二孔的周向长度与轴向高度的比值均在10以上，且所述第一孔的轴向高度为第二孔的轴向高度的1.8
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3.5倍。
[0010]蚀刻液通常为强酸强碱性溶液，腐蚀性强，本申请提供的滤芯采用PTFE滤膜，耐受性好，不会被料液腐蚀，避免污染蚀刻液，并将其泡点设在10
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280kPa之间，对于0.1
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10μm的颗粒污染物可达到99％以上的截留率。同时，为了使得滤芯能够提供70L/min以上的流量，进一步的，选择使用在压力为30kPa、温度为20℃的条件下，50ml水通过直径为47mm的滤膜所需要的时间在2
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40s之间的滤膜，并将厚度为10
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60μm、膜面积为1.8
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4.6m2的上述滤膜折叠形成褶状，填充于中心杆和外壳之间。其中，滤膜的厚度设在10
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60μm之间是为了能够在中心杆和外壳之间填充足够多的褶，以提供所需的膜面积，以便能够提供所需的过滤速率，也保证滤膜具有足够的强度，同时，中心杆和外壳之间径向间距与褶高的差值不大于3mm，从而在将褶状滤膜安装于中心杆和外壳之间后及过滤过程中，能够始终维持褶的稳定的形状，以便滤膜的所有区域能够得到充分利用，并发挥其应有的作用，实现其最大的污染物截留效率和过滤速率及稳定的过滤速率。另外，外壳和中心杆的第一孔和第二孔的周向长度与轴向高度的比值均在10以上，即第一孔和第二孔均为宽扁状，其中，流体通过宽扁状的第一孔和第二孔的流动近似一元层流流动，层流流动的流动状态比较均匀，混乱程度较低，即滤芯外周原本流动状态还比较混乱的原料蚀刻液在通过第一孔后，流动状态的混乱程度降低，有序性提高，同样地，滤膜下游侧的洁净蚀刻液在通过第二孔后，流动状态的混乱程度也降低，有序性提高，换句话说，第一孔和第二孔可对流体的流动起到调节和缓冲作用，从而流体进入滤芯和从滤芯流出的速率的稳定性均得到提高；且第一孔的轴向高度为第二孔的轴向高度的1.8
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3.5倍，可提高中心杆的强度，保证滤芯整体结构的稳定性，延长了流体从第一孔流向第二孔的流动路径，也对流体的流动起到进一步的调节和缓冲作用。即本申请提供的滤芯，一方面，通过滤膜自身的特性，及将滤膜折叠形成褶状装配于中心杆和外壳之间、褶与中心杆和外壳间配合以维持褶和滤芯整体的结构稳定性，以便实现滤膜的充分利用，提供稳定的过滤效果，另一方面，还需配合结构共同作用、以提高过滤速率的稳定性，如通过中心杆和外壳的孔结构来调节和缓冲料液的流动，改善料液流动状态的稳定性，即两方面作用共同配合，促进滤膜的高截留效率和高过滤速率的实现，并提高过滤速率的稳定性，以提供流量大且稳定的洁净滤液的供应速率。
[0011]进一步的，所述第一孔在外壳的周向上均匀分布，相邻轴向高度的第一孔具有相互错开的区域，所述第二孔在中心杆的周向和轴向方向上均匀分布。
[0012]流体的流动路径是原料液首先通过外壳的第一孔，透过褶状滤膜，污染物被截留，得到的洁净滤液流经中心杆的第二孔，进入中心杆内部。本申请提供的滤芯，在外壳的周向方向上，第一孔均匀分布，以便进料流体在周向上均匀分散于外壳的整个周向方向，而在轴向方向上，相邻轴向高度的第一孔存在相互间错开的区域，因此，滤芯外周对应于外壳的实体部分的原料液分布至相邻轴向高度的第一孔的过程中，首先需要经历一个流动方向调整的过程，流动方向调整后，再形成流向相邻轴向高度的第一孔的2个流股，上述流动方向调整的过程中，会对原料液的流动起到一个额外的缓冲作用，使得蚀刻液通过滤芯的过程中的流动状态的稳定性得到进一步的改善；经滤膜过滤后得到的洁净蚀刻液，到达中心杆的
外周，再通过第二孔流入中心杆内部，由于第二孔在中心杆的轴向和周向都均匀分布的，因此，洁净蚀刻液能够以比较稳定的流速、均匀地流入中心杆内部。
[0013]进一步的，所述中心杆外周的曲率和外壳内壁的曲率的差值不大于中心杆外周的曲率的20％，所述褶的褶高为中心杆的外径的6
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.过滤显示器制程的蚀刻液的滤芯，包括中心杆、外壳、填充于二者间的滤膜及密封于两端的第一端盖和第二端盖，所述第一端盖具有接口，所述接口与中心杆的内部连通，其特征在于：所述滤膜为PTFE滤膜，其泡点为10
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280kPa，在压力为30kPa，温度为20℃的条件下，50ml水通过直径为47mm滤膜所需要的时间为2
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40s，所述滤膜的膜面积为1.8
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4.6m2，所述滤膜的厚度为10
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60um，并折叠形成褶，所述中心杆和外壳之间径向间距与褶高的差值不大于3mm，所述外壳和中心杆分别具有多个第一孔和多个第二孔，所述第一孔和所述第二孔的周向长度与轴向高度的比值均在10以上，且所述第一孔的轴向高度为第二孔的轴向高度的1.8
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3.5倍。2.根据权利要求1所述的过滤显示器制程的蚀刻液的滤芯，其特征在于，所述第一孔在外壳的周向上均匀分布，相邻轴向高度的第一孔具有相互错开的区域，所述第二孔在中心杆的周向和轴向方向上均匀分布。3.根据权利要求1或2所述的过滤显示器制程的蚀刻液的滤芯，其特征在于，所述中心杆外周的曲率和外壳内壁的曲率的差值不大于中心杆外周的曲率的20％，所述褶的褶高为中心杆的外径的6
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12％。4.根据权利要求3所述的过滤显示器制程的蚀刻液的滤芯，其特征在于，所述褶的褶高为12<...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ五一IntClB零一D六一零零，
申请(专利权)人：杭州芯承科技有限公司，
类型：新型
国别省市：